一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板、内固定架和外固定架，所述置物板的顶部左端固定设有定夹板，所述定夹板的右端设有动夹板，所述推杆的右端连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置固定设于所述置物板的顶部右端，所述第一底板的顶部中间设有气缸，所述气缸的顶部连接有气压杆，所述气压杆的顶部固定设有支板，所述支板的顶部设有第一电机，所述第一电机的顶部连接有第一电机轴，所述外固定架设于所述内固定架的底部外端。该单晶硅的硅片加工多角度调试结构，便于自动化夹持单晶硅于定夹板之间，自动化控制旋转调节硅片加工角度、升降调节硅片加工高度和翻转调节其整体的前后倾斜度，适用于单晶硅加工多角度调试。工多角度调试。工多角度调试。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构


[0001]本专利技术涉及单晶硅加工
，具体为一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂
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冶金级硅
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提纯和精炼
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沉积多晶硅锭
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单晶硅
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硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。
[0003]目前，现有的单晶硅的硅片加工多角度调试结构存在如下问题：不便自动化控制稳定夹持单晶硅，无法自动化控制单晶硅的支撑角度、高度和倾斜度，难以高效高精度的进行加工，单晶硅的硅片加工调试较为不便，效率低。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，解决了不便自动化控制稳定夹持单晶硅，无法自动化控制单晶硅的支撑角度、高度和倾斜度，难以高效高精度的进行加工，单晶硅的硅片加工调试较为不便，效率低的技术问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板、内固定架和外固定架，所述置物板的顶部左端固定设有定夹板，所述定夹板的右端设有动夹板，所述动夹板的右端固定设有推杆，所述推杆的右端连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置固定设于所述置物板的顶部右端，所述内固定架设于所述置物板的下端，所述内固定架的底部固定设有第一底板，所述第一底板的顶部中间设有气缸，所述气缸的顶部连接有气压杆，所述气压杆的顶部固定设有支板，所述支板的顶部设有第一电机，所述第一电机的顶部连接有第一电机轴，所述第一电机轴的固定设于所述置物板的底部中间，所述外固定架设于所述内固定架的底部外端，所述外固定架的底部焊接有第二底板，所述外固定架的内侧上端转动连接有第二电机轴，所述第二电机轴的内侧端焊接有第三安装板，所述第三安装板通过螺栓连接于所述内固定架的外端，所述第二电机轴贯穿外固定架的外端连接有第二电机。
[0008]优选的，所述定夹板与动夹板的内侧端均为弧形结构，所述定夹板与动夹板的内侧端粘接有硅胶垫。
[0009]优选的，所述定夹板的右侧前后端均固定设有连杆，所述动夹板的左侧前后端均
固定设有液压套筒，所述连杆与液压套筒液压连接。
[0010]优选的，所述推杆的左端焊接有第一安装板，所述电动推杆装置的底部焊接有第二安装板，所述第一安装板与第二安装板均通过螺栓连接于所述动夹板的右端和所述置物板的顶部。
[0011]优选的，所述第一电机轴的顶部焊接有上安装板，所述第一电机的底部焊接有下安装板，所述上安装板与下安装板的外端一周通过螺栓分别连接于所述置物板的底部和所述支板的顶部。
[0012]优选的，所述支板的两侧固定分布有滑块，所述内固定架的内侧开设分布有滑槽，所述滑块内嵌滑动连接于滑槽的内部。
[0013]优选的，所述第二电机轴的底部固定设有EVA垫块，所述EVA垫块的底部固定设有支撑架，所述支撑架安装于外固定架的外端，所述支撑架的底部前后端焊接有加强筋。
[0014](三)有益效果
[0015]该单晶硅的硅片加工多角度调试结构，通过在动夹板右端经过推杆连接的电动推杆装置，便于自动化控制滑动夹持单晶硅于定夹板之间，稳定性能高，通过在置物板下端经过第一电机轴连接的第一电机和气压杆下端连接的气缸，方便自动化控制旋转调节硅片加工角度和升降调节硅片加工高度，并且通过在内固定架外端经过第二电机轴贯穿外固定架连接的第二电机，方便调节其整体的前后倾斜度，适用于单晶硅的硅片加工多角度调试，自动化性能高，设计合理。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的左前端俯视立体结构示意图；
[0017]图2为本专利技术的右前端俯视立体结构示意图；
[0018]图3为本专利技术的前视结构示意图；
[0019]图4为本专利技术的右前端仰视立体结构示意图；
[0020]图5为本专利技术的俯视结构示意图。
[0021]图中，置物板1、定夹板11、连杆111、硅胶垫112、动夹板12、液压套筒121、电动推杆装置13、推杆131、第一安装板132、第二安装板133、内固定架2、第一电机21、第一电机轴211、上安装板212、下安装板213、气缸22、气压杆221、第一底板23、第二电机24、第二电机轴241、EVA垫块242、支撑架243、滑块25、滑槽26、支板27、第三安装板28、外固定架3、第二底板31。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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图5，本专利技术实施例提供一种技术方案：一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板1、内固定架2和外固定架3，所述置物板1的顶部左端固定设有定夹板11，所述定夹板11的右端设有动夹板12，所述动夹板12的右端固定设有推杆131，所述推杆
131的右端连接有电动推杆装置13，所述电动推杆装置13固定设于所述置物板1的顶部右端，所述内固定架2设于所述置物板1的下端，所述内固定架2的底部固定设有第一底板23，所述第一底板23的顶部中间设有气缸22，所述气缸22的顶部连接有气压杆221，所述气压杆221的顶部固定设有支板27，所述支板27的顶部设有第一电机21，所述第一电机21的顶部连接有第一电机轴211，所述第一电机轴211的固定设于所述置物板1的底部中间，所述外固定架3设于所述内固定架2的底部外端，所述外固定架3的底部焊接有第二底板31，稳定支撑于台面，所述外固定架3的内侧上端转动连接有第二电机轴241，所述第二电机轴241的内侧端焊接有第三安装板28，所述第三安装板28通过螺栓连接于所述内固定架2的外端，所述第二电机轴241贯穿外固定架3的外端连接有第二电机24。
[0024]进一步改进地，所述定夹板11与动夹板12的内侧端均为弧形结构，所述定夹板11与动夹板12的内侧端粘接有硅胶垫112，稳定防滑的夹持单晶硅，安全有效。
[0025]进一步改进地，所述定夹板11的右侧前后端均固定设有连杆111，所述动夹板12的左侧前后端均固定设有液压套筒121，所述连杆111与液压套筒121液压连接，液压式伸缩控制，稳定可靠，避免夹持偏移位置。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板(1)、内固定架(2)和外固定架(3)，其特征在于：所述置物板(1)的顶部左端固定设有定夹板(11)，所述定夹板(11)的右端设有动夹板(12)，所述动夹板(12)的右端固定设有推杆(131)，所述推杆(131)的右端连接有电动推杆装置(13)，所述电动推杆装置(13)固定设于所述置物板(1)的顶部右端，所述内固定架(2)设于所述置物板(1)的下端，所述内固定架(2)的底部固定设有第一底板(23)，所述第一底板(23)的顶部中间设有气缸(22)，所述气缸(22)的顶部连接有气压杆(221)，所述气压杆(221)的顶部固定设有支板(27)，所述支板(27)的顶部设有第一电机(21)，所述第一电机(21)的顶部连接有第一电机轴(211)，所述第一电机轴(211)的固定设于所述置物板(1)的底部中间，所述外固定架(3)设于所述内固定架(2)的底部外端，所述外固定架(3)的底部焊接有第二底板(31)，所述外固定架(3)的内侧上端转动连接有第二电机轴(241)，所述第二电机轴(241)的内侧端焊接有第三安装板(28)，所述第三安装板(28)通过螺栓连接于所述内固定架(2)的外端，所述第二电机轴(241)贯穿外固定架(3)的外端连接有第二电机(24)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述定夹板(11)与动夹板(12)的内侧端均为弧形结构，所述定夹板(11)与动夹板(12)的内侧端粘接有硅胶垫(112)。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高虹，姚苏恒，何雨春，张涛，陈煜坚，俞晓明，
申请(专利权)人：盐城工学院，
类型：发明
国别省市：