一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法技术

本发明专利技术的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法，属于机器视觉感知技术领域，包括传输装置、分选装置和检测装置，传输装置穿过检测装置，检测装置包括外壳、触发装置和图像采集装置，外壳上设有贯穿的开口，传输装置位于开口内，图像采集装置安装在外壳的内顶部，触发装置位于传输装置的下方，传输装置上传输原料硅片，触发装置包括光电传感器、编码器、传感器支架和编码器支架，编码器通过编码器支架与传输装置连接，图像采集装置与编码器、光电传感器和分选装置电性连接，分选装置位于传输装置的上方，通过图像采集装置对原料硅片进行图像采集，进一步分析采集的信息来识别缺陷。别缺陷。别缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法


[0001]本专利技术属于机器视觉感知技于领域，更具体来说，涉及一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法。

技术介绍

[0002]太阳能电池片的生产包括表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结等过程，其中太阳能原料硅片的质量检测是电池片生产过程中来料筛选和流转质量监管的重要部分，可降低不良损耗，提高生产效率。原料硅片的主要缺陷除全崩边、缺角、缺口、破片等外部缺陷外，还包括了肉眼难以查看的隐裂、半崩边等内部缺陷，其缺陷的存在对后续电池片生产的产能、良品率等具有较大的影响，甚至造成对应电池片的整个后续生产过程的无效和浪费。同时，相对于成品电池片，由于原料硅片少子寿命较小和无栅线电极，使得可适用于其他工艺段半成品和成品电池片/硅片的光致发光和电致发光技术均较难适用于原料硅片的质量感知。目前使用较为广泛的人工目视检测，仅能适用于原料硅片上较大尺寸的外部缺陷检测，同时易受人经验、疲劳程度等影响，且由于原料硅片易碎、易污染等特性，使得人工目视检测易对原料硅片造成二次损伤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种原料硅片的内外部缺陷在线检测分选设备，其特征在于：包括传输装置(100)、分选装置(200)和检测装置(300)，所述传输装置(100)穿过检测装置(300)，所述检测装置(300)包括外壳(310)、触发装置(320)和图像采集装置(330)，所述外壳(310)上设有贯穿的开口，所述传输装置(100)位于开口内，所述图像采集装置(330)安装在外壳(310)的内顶部，所述触发装置(320)位于传输装置(100)的下方，所述传输装置(100)上传输原料硅片(400)，所述触发装置(320)包括光电传感器(321)、编码器(322)、传感器支架和编码器(322)支架，所述编码器(322)通过编码器(322)支架与传输装置(100)连接，所述图像采集装置(330)与编码器(322)、光电传感器(321)和分选装置(200)电性连接，所述分选装置(200)位于传输装置(100)的上方。2.根据权利要求1所述的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备，其特征在于：所述传输装置(100)包括电机(110)、皮带(120)和传输架(130)，所述电机(110)和皮带(120)均安装在传输架(130)上，所述电机(110)驱动皮带(120)，所述传输架(130)上设有平行的两条皮带(120)，所述两条皮带(120)之间设有间隙，所述触发装置(320)位于间隙处。3.根据权利要求1所述的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备，其特征在于：所述图像采集装置(330)包括内壁暗箱(331)、视觉支架(332)、微调云台(333)、拍摄相机(334)和激光模组(335)，所述拍摄相机(334)安装在微调云台(333)上，所述微调云台(333)安装在视觉支架(332)上，所述视觉支架(332)安装在内壁暗箱(331)内，所述内壁暗箱(331)的底部具有开孔，所述拍摄相机(334)通过开孔向下拍摄，所述激光模组(335)位于内壁暗箱(331)的下方，所述光电传感器(321)通过传感器支架安装在激光模组(335)的一侧。4.根据权利要求1所述的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备，其特征在于：所述分选装置(200)包括分选支架(210)、吸盘装置(220)和料盒(230)，所述吸盘装置(220)安装在分选支架(210)上，所述吸盘装置(220)位于传输装置(100)的上方，所述料盒(230)位于传输装置(100)的两侧。5.如权利要求1
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4任一项所描述的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测方法，其特征在于，所述检测方法包括如下步骤：S1，传输装置(100)传输原料硅片(400)；S2，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李翠华，
申请(专利权)人：镇江苏仪德科技有限公司，
类型：发明
国别省市：