压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供用于解决有可能因在驱动时的压电体层的发热而使压电致动器损伤的问题的压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法。当将第二电极(80)的与第一方向交叉的第二方向上的两个区域中的、距第二电极(80)的端部(80b)较远的一个区域设为第一区域(S1)，且将距第二电极(80)的端部(80b)较近的一个区域设为第二区域(S2)时，第一区域(S1)的压电体层(70)进行(100)面择优取向，使第二区域(S2)的压电体层的(100)面取向率低于第一区域(S1)的压电体层(70)的(100)面取向率。区域(S1)的压电体层(70)的(100)面取向率。区域(S1)的压电体层(70)的(100)面取向率。

【技术实现步骤摘要】
压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法，所述压电器件具备振动板、和具有第一电极、压电体层以及第二电极的压电致动器。

技术介绍

[0002]作为压电器件之一即液体喷射头的代表示例，可以列举出喷射油墨滴的喷墨式记录头。作为喷墨式记录头，已知一种喷墨式记录头，其具备形成有与例如喷嘴连通的压力室的流道形成基板、和经由振动板而被设置于该流道形成基板的一个面侧的压电致动器，通过压电致动器而使压力室内的油墨产生压力变化，从而从喷嘴喷射油墨滴。
[0003]此外，作为压电致动器，已知一种压电致动器，其具备第一电极、压电体层和第二电极，所述第一电极被形成于振动板上，所述压电体层通过具有电机械转换特性的压电材料而被形成在第一电极上，所述第二电极被设置在压电体层上。在该结构的压电致动器中，有可能因压电体层的挠曲变形而在压电体层中产生裂纹或烧坏等。以抑制这样的不良现象的产生为目的，提出了压电致动器(压电元件)的各种各样的结构(例如，参照专利文献1)。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电器件，其特征在于，具备：基板，其形成有多个凹部；振动板，其被设置于所述基板的一个面侧；压电致动器，其具有在所述振动板的与所述基板相反的面侧在第一方向上层叠的第一电极、压电体层和第二电极，当将所述第二电极的与所述第一方向交叉的第二方向上的两个区域中的、距所述第二电极的端部较远的一个区域设为第一区域，且将距所述第二电极的端部较近的一个区域设为第二区域时，所述第一区域的所述压电体层进行(100)面择优取向，所述第二区域的所述压电体层的(100)面取向率低于所述第一区域的所述压电体层的(100)面取向率。2.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述第一区域位于所述振动板与凹部相接的驱动区域，所述第二区域位于所述振动板不与所述凹部相接的非驱动区域。3.如权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，在所述第一电极与所述压电体层之间，设置有包含选自LaNi
y
O
x
、SrRu
y
O
x
、(Ba，Sr)Ti
y
O
x
、(Bi，Fe)Ti
y
O
x
的至少一个在内的取向层，所述第二区域中的所述取向层的所述第一方向的长度短于所述第一区域中的所述取向层的所述第一方向的长度。4.如权利要求3所述的压电器件，其特征在于，所述取向层由LaNi
y
O
x
构成。5.如权利要求1或2所述的压电器件，其特征在于，所述压电体层在所述第一电极侧具有钛的含有率在所述第一区域和所述第二区域中不同的表层部。6.如权利要求5所述的压电器件，其特征在于，所述第二区域中的所述表层部的钛含有率高于所述第一区域中的所述表层部的钛含有率。7.如权利要求6所述的压电器件，其特征在于，所述第二区域的所述压电体层进行(110)面择优取向。8.如权利要求5所述的压电器件，其特征在于，所述第二区域中的所述表层部的钛含有率低于所述第一区域中的所述表层部的钛含有率。9.如权利要求8所述的压电器件，其特征在于，所述第二区域中的所述压电体层进行(111)面择优取向。10.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述第二区域的所述压电体层延伸至所述第二电极的端部的外侧。11.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，具有保护膜，所述保护膜覆盖距所述第二区域较近的所述第二电极的端部。12.一种液体喷射头，其特征在于，具备：...

【专利技术属性】
技术研发人员：高部本规，板山泰裕，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：