【技术实现步骤摘要】
像散校正装置及激光加工系统
[0001]本技术属于像散校正领域，尤其适用于激光光束像差的校正，具体涉及一种像散校正装置及激光加工系统。
技术介绍
[0002]在现有的激光精密加工，一般使用激光器配合扩束镜将光束扩展到合适直径后，利用聚焦头配合台面运动或者振镜配合场镜的方案进行扫描加工，目前聚焦系统采用的光学元件大多采用透射式的聚焦系统，透镜的焦距越小，聚焦的焦斑越小，从而有利于提高激光功率密度的大小，但是，实际应用中的任何一台激光器，其输出光束不可能是理想的百分之百的基模高斯光束，这样激光光束的聚焦能力会受到激光光束质量的影响。精密加工技术对激光的光束质量要求很高，主要体现在激光光束衍射因子、光束圆度、像散等方面。当激光原始光束的圆度不佳或者像散控制不佳时，会导致聚焦得到的激光光斑圆度不佳、聚焦效果不佳，影响激光加工的质量。
[0003]实际上，激光光束的像散对精密加工质量的影响很明显，使用聚焦头配合运动台面加工时，由于激光光束像散的存在，无法同时将光斑在横向与纵向聚焦到最小，在实际的激光加工中只能选取一个最佳的圆度...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种像散校正装置，其特征在于，包括两两之间的距离可调的三个柱面透镜，所述三个柱面透镜依次为第一柱面镜、第二柱面镜、第三柱面镜，所述第一柱面镜正对激光光束发射方向的曲面为凸面。2.如权利要求1中所述的像散校正装置，其特征在于，所述三个柱面透镜的屈光方向相同，各柱面透镜的主平面彼此平行，各柱面透镜的中心点共线并且中心点构成的连线与所述主平面垂直。3.如权利要求2中所述的像散校正装置，其特征在于，所述第二柱面镜具有负屈光度，所述第三柱面镜具有正屈光度。4.如权利要求3所述的像散校正装置，其特征在于，所述三个柱面透镜组为三个单柱面透镜，且其沿着激光光束发射方向的曲面分别为凸平、凹平和凸平。5.如权利要求4所述的像散校正装置，其特征在于，所述第一柱面镜前表面的曲率半径为126.308mm，后表面的曲率半径为∞；所述第二柱面镜前表面的曲率半径为
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32.252mm，后表面的曲率半径为∞；所述第三柱面镜前表面的曲率半径为83.714mm，后表面的曲率半径为∞；所有所述曲率半径的允许公差均为10％，上偏差...
【专利技术属性】
技术研发人员：程晓伟，朱凡，陆红艳，
申请(专利权)人：帝尔激光科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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