【技术实现步骤摘要】
一种定位误差校正的方法、装置及设备
[0001]本专利技术涉及精密设备协作的
，特别涉及一种定位误差校正的方法、装置及设备。
技术介绍
[0002]现代制造业普遍采用X-Y运动工作台作为自动化装置，其X-Y平面运动的定位精度决定了自动化装置的性能和加工检测的精度。传统的保证定位精度的方法是采用旋转编码器作为定位反馈装置，但是该旋转编码器不能补偿由于丝杠导致的不均匀和反向间隙等误差。采用直线光栅反馈可以从一定程度上弥补由于丝杠导致的不均匀和反向间隙等误差导致的精度损失，但由于X-Y运动工作台或光栅受温度影响发生膨胀或收缩，或安装时X轴和Y轴的垂直度问题等都会引入定位误差，而引入的定位误差纯粹靠光栅或编码器无法进行有效补偿。
[0003]校正上述定位误差的传统方法为采用激光干涉仪进行校正。对于常见的X-Y运动工作台，至少需要测量两组线性误差，两组直线度误差、垂直度误差才能确定平面内任一点的误差值，误差测量过程比较繁琐。当设备规格较大时，工作台不能视为理想刚体，需要测量的次数就会更多，误差测量工作也就更加繁琐。当系统...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种定位误差校正的方法，其特征在于，该方法包括：从误差补偿集合中获取与工作台上的工作点之间距离最近的多个网格点的误差补偿值，所述误差补偿集合包括多个工作组处于不同的网格点的误差补偿值，所述误差补偿值通过相机拍摄的多个工作组的标志点与标准板上的网格点的位置图像确定，所述标准板位于所述工作台上且覆盖所述工作台的工作区域；根据所述多个网格点的误差补偿值对移动到所述工作点的所述多个工作组的坐标进行校正。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过如下方式确定误差补偿值：若相机以及多个工作组移动到待测网格点，且所述相机的视野中包含所述多个工作组的标志点以及待测网格点，则根据相机拍摄的多个工作组的标志点与标准板上的待测网格点的位置图像，确定所述多个工作组的标志点相对于所述待测网格点中心的误差补偿值，所述标志点位于工作组的透明物料上。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述相机以及多个工作组移动到待测网格点之前，还包括：确定多个工作组的初始坐标，其中所述初始坐标是在相机的视野中心以及多个工作组的标志点对准标准板上的中心网格点时确定的；根据所述多个工作组的初始坐标确定所述多个工作组分别移动到待测网格点的工作组标准坐标；确定所述多个工作组的标志点相对于所述待测网格点中心的误差补偿值，包括：确定所述多个工作组的标志点位于对应的工作组标准坐标时，所述多个工作组相对于所述待测网格点中心的误差补偿值。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定所述多个工作组的标志点相对于所述待测网格点中心的误差补偿值，还包括：确定所述相机的视野中心相对于所述待测网格点中心的相机误差补偿值。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述相...
【专利技术属性】
技术研发人员：王广炎，冯晓庆，吕海波，黄振东，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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