基于机器人的涂胶装置和涂胶方法制造方法及图纸

一种基于机器人的涂胶装置和涂胶方法，该涂胶装置包括工作台、机器人、喷头和光刻胶供应组件，机器人具有至少两个方向的自由度；喷头和待涂胶工件的其中一者连接在机器人上，另一者设置于工作台；光刻胶供应组件与喷头连接，机器人根据待涂胶工件的形状在至少一个方向上运动，带动喷头和待涂胶工件相对运动，以使喷头将光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到待涂胶工件上。通过设置上述结构，能适用于待涂胶工件具有多个待涂胶面，以及表面为非平面的情况，使得具有复杂多变的结构和形状的待涂胶工件可以进行涂胶，满足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。

【技术实现步骤摘要】
基于机器人的涂胶装置和涂胶方法


[0001]本专利技术涉及涂胶
，尤其涉及一种基于机器人的涂胶装置和涂胶方法。

技术介绍

[0002]现有的涂胶设备，喷头或待涂胶工件只能在一平面内移动，只适用于待涂胶工件具有一个待涂胶面，以及待涂胶面为平面的情况，对于复杂结构和外形的工件而言，难以进行涂胶。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种基于机器人的涂胶装置和涂胶方法，能适用于待涂胶工件表面为非平面的情况，能满足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。
[0004]第一方面，本专利技术提供一种基于机器人的涂胶装置，包括工作台、机器人、喷头和光刻胶供应组件，所述机器人具有至少两个方向的自由度；所述喷头和待涂胶工件的其中一者连接在所述机器人上，另一者设置于所述工作台；所述光刻胶供应组件与所述喷头连接，所述机器人根据所述待涂胶工件的形状在至少一个方向上运动，带动所述喷头和所述待涂胶工件相对运动，以使所述喷头将所述光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到所述待涂胶工件上。
[0005]一种实施方式中，所述涂胶装置还包括工装夹具，所述喷头或所述待涂胶工件通过所述工装夹具固定在所述机器人上。
[0006]一种实施方式中，所述工作台具有至少一个方向的自由度。
[0007]一种实施方式中，所述机器人带动所述喷头或所述待喷胶工件的移动路径包括曲线。
[0008]一种实施方式中，所述光刻胶供应组件包括储罐、动力件、管路和流量阀，所述管路连接所述储罐和所述喷头，所述动力件和所述流量阀设置在所述管路上，且所述流量阀设置在所述动力件远离所述储罐的一侧。
[0009]一种实施方式中，所述涂胶装置还包括外壳，所述外壳包括容纳腔，所述容纳腔为真空环境，所述工作台、所述机器人、所述喷头和所述光刻胶供应组件均容置于所述容纳腔。
[0010]第二方面，本专利技术提供一种基于机器人的涂胶方法，包括：
[0011]提供工作台、机器人、喷头和光刻胶供应组件，所述机器人具有至少两个方向的自由度，所述光刻胶供应组件与所述喷头连接；
[0012]将喷头和待涂胶工件的其中一者设置于所述机器人，另一者设置于所述工作台；
[0013]所述机器人根据所述待涂胶工件的形状在至少一个方向上运动，带动所述喷头和所述待涂胶工件相对运动，以使所述喷头将所述光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到所述待涂胶工件上。
[0014]一种实施方式中，还包括：提供工装夹具，将所述喷头或所述待涂胶工件通过所述
工装夹具固定在所述机器人上。
[0015]一种实施方式中，所述工作台具有至少一个方向的自由度。
[0016]一种实施方式中，所述机器人带动所述喷头或所述待喷胶工件的移动路径为曲线。
[0017]本专利技术通过设置具有至少两个自由度的机器人，并将喷头和待涂胶工件中的一者设置于机器人，另一者设置于工作台，在涂胶时，机器人可以带动喷头和待涂胶工件中的一者相对另一者移动，以使得喷头将光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到待涂胶工件上，能适用于待涂胶工件具有多个待涂胶面，以及表面为非平面的情况，使得具有复杂多变的结构和形状的待涂胶工件可以进行涂胶，满足复杂结构和外形的工件的涂胶需求。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是一种实施例的基于机器人的涂胶装置的结构示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]10
‑
工作台、11
‑
支撑凸台；
[0022]21
‑
机器人，22
‑
工装夹具，23
‑
喷头；
[0023]31
‑
储罐，32
‑
动力件，33
‑
流量阀，34
‑
管路；
[0024]40
‑
待涂胶工件；
[0025]50
‑
外壳，55
‑
透明视窗。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]请参考图1，本专利技术实施例提供一种基于机器人21的涂胶装置，包括工作台10、机器人21、喷头23和光刻胶供应组件。
[0028]工作台10作为结构支撑基础。可选的，可将机器人21安装在工作台10上；可选的，也可将机器人21安装在工作台10之外。工作台10上可设有支撑凸台11。可选的，支撑凸台11可相对工作台10活动；可选的，支撑凸台11也可相对工作台10固定。喷头23或待涂胶工件40可设于该支撑凸台11上。
[0029]机器人21具有至少两个方向的自由度；喷头23和待涂胶工件40的其中一者连接在机器人21上，另一者设置于工作台10；光刻胶供应组件与喷头23连接，机器人21根据待涂胶工件40的形状在至少一个方向上运动，带动喷头23和待涂胶工件40相对运动，以使喷头23将光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到待涂胶工件40上。
[0030]机器人21为具有X轴、Y轴、Z轴的三个方向自由度中至少两个方向自由度的结构，其中，三个方向可为平移或转动。机器人21的结构可包括如处理器等控制机构、电机等驱动机构、机械臂等执行机构等，本专利技术对机器人21的具体结构不做具体限定。控制机构可根据程序控制驱动机构驱动执行机构移动或转动。
[0031]喷头23用于喷涂光刻胶，本实施例中，其结构具体不做限制。
[0032]光刻胶供应组件用于供应光刻胶，本实施例中，其结构具体不做限制。
[0033]待涂胶工件40可为任意需要进行涂胶的工件，包括但不限于金属、半导体、硅晶圆、玻璃、蓝宝石等。工件涂胶后，可进行光刻。具体而言，光刻工艺为在涂好光刻胶的工件表面进行曝光显影刻蚀。根据光刻胶的性质不同，可分为正性光刻胶和负性光刻胶，正性光刻胶被曝光部分在后续显影工艺中会被显影液去除，未被曝光部分被保留，而负性光刻胶则反过来，负性光刻胶被曝光部分被保留，而未被曝光部分在后续显影工艺中会被显影液去除。之后，再透过光刻胶中被去除的部分对工件进行刻蚀，可在工件上形成所需形状。最后，再将工件表面残留的光刻胶去除，以上即为光刻工艺的大体流程。显然，待涂胶工件40进行涂胶时，可涂正性光刻胶或负性光刻胶。
[0034]待涂胶工件40的结构和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于机器人的涂胶装置，其特征在于，包括工作台、机器人、喷头和光刻胶供应组件，所述机器人具有至少两个方向的自由度；所述喷头和待涂胶工件的其中一者连接在所述机器人上，另一者设置于所述工作台；所述光刻胶供应组件与所述喷头连接，所述机器人根据所述待涂胶工件的形状在至少一个方向上运动，带动所述喷头和所述待涂胶工件相对运动，以使所述喷头将所述光刻胶供应组件供应的光刻胶从多个角度或多个位置喷涂到所述待涂胶工件上。2.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述涂胶装置还包括工装夹具，所述喷头或所述待涂胶工件通过所述工装夹具固定在所述机器人上。3.根据权利要求1或2所述的涂胶装置，其特征在于，所述工作台具有至少一个方向的自由度。4.根据权利要求1或2所述的涂胶装置，其特征在于，所述机器人带动所述喷头或所述待喷胶工件的移动路径包括曲线。5.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述光刻胶供应组件包括储罐、动力件、管路和流量阀，所述管路连接所述储罐和所述喷头，所述动力件和所述流量阀设置在所述管路上，且所述流量阀设置在所述动力件远离所述储...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭登极，王序进，胡作寰，高国利，贾建飞，林建军，刘宇航，尹覃伟，
申请(专利权)人：深圳市银宝山新科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：