硅棒截断设备及硅棒截断方法技术

本申请公开一种硅棒截断设备及硅棒截断方法，该硅棒截断设备包括机座、物料输送台、以及至少两个线切割装置，该至少两个线切割装置相互独立，故可通过各个独立的线切割装置对物料输送台上承载的待硅棒执行截断作业，提高了硅棒截断作业中的操作自由度和截断效率。该线切割装置中的线切割单元采用的闭环切割线，故可保持切割线高速运行，提高切割效率，同时，闭环切割线在截断作业中可以同一运转方向运行，如此，本申请的线切割单元可实现高精度的截断作业，避免了现有的切割方式中切割线运行换向或运行速度导致的切割面具有波纹等问题，同时，该闭环切割线可有效减小线切割单元所需的切割线总长以及免除收线筒和放线筒等部件，降低生产成本。低生产成本。低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
硅棒截断设备及硅棒截断方法


[0001]本申请涉及硅工件加工
，特别是涉及一种硅棒截断设备及硅棒截断方法。

技术介绍

[0002]线切割技术是目前世界上较先进的硅材料加工技术，它的原理是由高速运行的钢线带动附着在钢线上的切割刃料或者直接采用金刚线对待加工工件进行摩擦，从而达到线切割的目的。在切割过程中，钢线或金刚线通过导线轮引导，在切割轮上形成一根切割线锯或者一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降或切割线锯或线网的上升下降实现工件的进给。在压力泵的作用下，装配在设备上的冷却水自动喷洒装置将冷水喷洒至钢线或金刚线和加工件的切削部位，由钢线或金刚线往复运行产生切削，以将待加工材料一次同时切割为多块。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。
[0003]目前的硅棒截断机，包括机座、机架和线切割单元，其中，线切割单元为多个，切割线缠绕于各个线切割单元中切割轮而形成多个切割线锯，这多个线切割单元是统一设置于机架上，在执行截断作业时，多个线切割单元在升降机构的驱动下同步升降移动的，存在诸多操作上的不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒截断设备，其特征在于，包括：机座；物料输送台，设于所述机座上，用于承载待切割硅棒并驱动所述待切割硅棒沿着第一方向输送，其中，所述待切割硅棒的轴心线与第一方向平行；以及至少两个线切割装置，相互独立且沿第一方向间隔设置；所述线切割装置包括：线切割机座，设于所述机座上；至少一线切割单元，通过升降机构可升降地设于所述线切割机座上；所述线切割单元包括切割轮、过渡轮、以及首尾相接的闭环切割线，所述闭环切割线绕于切割轮和过渡轮后形成切割线锯。2.根据权利要求1所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述物料输送台包括滚轮组件和用于控制所述滚轮组件的电机组件。3.根据权利要求2所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述滚轮组件包括：沿第一方向间隔设置的多个滚轮对，每一个滚轮对包括通过转动轴相连的两个滚轮。4.根据权利要求3所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述滚轮组件划分为多个滚轮组件区段。5.根据权利要求1所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述硅棒截断设备包括至少两个单线切割装置，所述单线切割装置具有单线切割单元，所述单线切割单元包括：切割支架；闭环切割线；第一单线切割轮和第二单线切割轮，设于所述切割支架中沿第二方向的相对两侧，所述第一单线切割轮和第二单线切割轮的轮面相平行或共面；以及至少一单线过渡轮；其中，所述闭环切割线绕于所述第一单线切割轮、第二单线切割轮以及至少一过渡轮以形成单线切割线锯；所述第一方向垂直于所述第一单线切割轮和第二单线切割轮的轮面，所述第二方向垂直于第一方向。6.根据权利要求5所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线切割单元包括第一单线过渡轮，所述第一单线过渡轮与所述第一单线切割轮和第二单线切割轮构成三角形。7.根据权利要求5所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线切割单元包括第一单线过渡轮和第二单线过渡轮，所述第一单线过渡轮邻近所述第一单线切割轮，所述第二单线过渡轮邻近所述第二单线切割轮，所述第一单线过渡轮、第二单线过渡轮与所述第二单线切割轮和第一单线切割轮构成四边形。8.根据权利要求5所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线切割单元包括第一单线过渡轮、第二单线过渡轮、以及第三单线过渡轮，所述第一单线过渡轮邻近所述第一单线切割轮，所述第二单线过渡轮邻近所述第二单线切割轮，所述第三单线过渡轮位于所述第一单线过渡轮和所述第二单线过渡轮之间。9.根据权利要求5所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线切割单元还包括与所述至少一单线过渡轮关联的单线张力调节机构。10.根据权利要求9所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线张力调节机构包括：单线驱动单元；以及单线连杆组件，与所述单线过渡轮和所述单线驱动单元关联；所述单线连杆组件受控
于所述单线驱动单元调整所述单线过渡轮的位置以调节所述闭环切割线的张力。11.根据权利要求10所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线连杆组件包括：枢轴，设于所述切割支架上；第一连杆，所述第一连杆的第一端与所述枢轴关联，所述第一连杆的第二端与所述单线过渡轮连接；以及第二连杆，所述第二连杆的第一端与所述枢轴关联，所述第二连杆的第二端与所述单线驱动单元连接。12.根据权利要求10所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线驱动单元包括配重部或拉力气缸。13.根据权利要求10所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述单线张力调节机构还包括单线张力平衡部件。14.根据权利要求5所述的硅棒截断设备，其特征在于，所述硅棒截断设备还包括至少一多线切割装置，所述多线切割装置具有多线切割单元，所述多线切割单元包括：切割支架；第一闭环切割线和第二闭环切割线；第一多线切割轮和第二多线切割轮，设于所述切割支架中沿第二方向的相对两侧，所述第一多线切割轮和第二多线切割轮的轮面相平行或共面，所述第一多线切割轮具有至少二线槽，所述第二多线切割轮具有至少二线槽；以及至少一第一多线过渡轮和至少一第二多线过渡轮；其中，所述第一闭环切割线绕于所述第一多线切割轮、第二多线切割轮以及至少一第一多线过渡轮以形成第一多线切割线锯，所述第二闭环切割线绕于所述第一多线切割轮、第二多线切割轮以及至少一第二多线过渡轮以形成第二多线切割线锯，所述第一多线切割线锯平行于所述第二多线切割线锯，所述第一多线切割线锯与所述第二多线切割线锯之间具有一线间距；所述第一方向垂直于所述第一多线切割轮和第二多线切割轮的轮面，所述第二方向垂直于第一方向。15.根据权利要求14所述的硅棒截断设备，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，金晔天，潘雪明，朱勤超，
申请(专利权)人：天通日进精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：