探针头连接方法技术

本申请提供一种探针头连接方法，包含以下步骤。首先，于探针头与针测机之间，设置载板与测试夹具，测试夹具设置于针测机中，且测试夹具用以容置载板。启动探针头的吸真空功能，并且移动探针头以对位测试夹具。接着，移动探针头至接触测试夹具中的载板。最后，以至少一卡合件以固定探针头与测试夹具。其中载板用以直接对接晶圆。接对接晶圆。接对接晶圆。

【技术实现步骤摘要】
探针头连接方法


[0001]本申请是关于一种探针头连接方法，特别是关于一种直接对接探针头与针测机的连接方法。

技术介绍

[0002]在晶圆测试阶段，为了妥善地移动与承载晶圆，晶圆通常会放置在针测机之中，并由探针头对晶圆进行后续的检测。一般来说，探针头上有许多的测试卡(probe card)，而测试卡会电性连接到载板(load board)，再由载板电性连接到晶圆。传统上，载板不会直接接触晶圆，而是载板要先连接到测试插座(pogo tower)，再由测试插座接触晶圆。在此，由于探针头和针测机之间需要放置测试插座和载板，显然探针头会较远离针测机。此外，载板到晶圆之间还设置有测试插座，使得信号传输路径较长，也会有较多的干扰以及较大的信号衰减。
[0003]为了解决上述信号传输路径较长的问题，目前也有部分的针测机可以让载板接触到晶圆，此种载板和晶圆的连接方式称为直接对接(direct docking)。由于载板直接对接晶圆，故不需要测试插座，从而可以让信号的传输路径更短，故开始渐渐被业界采用。但是，对于旧型或已购入的针测机，目前缺少可以移除测试插座而转换成直接对接的模式。一个原因是，传统的载板会先锁固于探针头，而测试插座锁固在针测机。当测试晶圆时，探针头与针测机会以机械手段固定在一起，使载板与测试插座的相对位置固定，再让载板可以经过测试插座电性连接到晶圆。然而，传统的针测机在设计上必须有测试插座的关系，载板和晶圆间隔较远。也就是说，在移除测试插座之后，载板离晶圆还有一段距离，若还是把载板锁固于探针头，则有载板无法接触到晶圆的问题。据此，业界需要一种新的探针头连接方法，让探针头和针测机可以操作于直接对接模式。

技术实现思路

[0004]本申请所要解决的技术问题在于提供一种探针头连接方法，可用于探针头连接针测机。于所述方法中，载板是设置于针测机而非设置于探针头，并且在探针头接触载板时，可以由探针头的吸真空功能吸紧载板，以增加探针头和针测机之间的稳定度。
[0005]本申请提出一种探针头连接方法，包含以下步骤。首先，于探针头与针测机之间，设置载板与测试夹具，测试夹具设置于针测机中，且测试夹具用以容置载板。启动探针头的吸真空功能，并且移动探针头以对位测试夹具。接着，移动探针头至接触测试夹具中的载板。最后，以至少一卡合件以固定探针头与测试夹具。其中载板用以直接对接晶圆。
[0006]于一些实施例中，测试夹具定义有一第一上表面，第一上表面定义有一第一容置空间，第一容置空间可以用以容置载板。在此，载板容置于第一容置空间时，载板与第一上表面可以形成共平面。此外，所述探针头连接方法更可以包含提供测试夹具固定板可拆卸地锁固于针测机，测试夹具固定板的第二上表面定义有第二容置空间，第二容置空间可以用以容置测试夹具。另外，第一上表面与第二上表面可以不共平面，且测试夹具可拆卸地锁
固于测试夹具固定板的第二容置空间中。
[0007]于一些实施例中，于移动探针头以对位测试夹具的步骤中，更可以包含提供对位件，对位件设置于测试夹具，用以引导探针头对准测试夹具。在此，探针头接触载板的上侧面，测试夹具接触载板的下侧面，且载板于上侧面至少定义有真空区，真空区由金属边条包围。
[0008]综上所述，本申请提供的探针头连接方法可用于探针头连接针测机，并且可以利用探针头的吸真空功能吸紧载板，使得载板可以更紧密地压紧于探针头。此外，由于载板是设置于针测机中，也可以增加探针头和针测机之间的稳定度。
[0009]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0011]图1是本申请一实施例的探针头和针测机的装置示意图；
[0012]图2是本申请一实施例的探针头的立体示意图；
[0013]图3是本申请一实施例的探针头于另一角度的立体示意图；
[0014]图4是本申请一实施例的针测机的立体示意图；
[0015]图5是本申请一实施例的载板的结构示意图；
[0016]图6是本申请一实施例的测试夹具和测试夹具固定板的结构示意图；
[0017]图7是本申请一实施例的探针头连接方法的步骤流程图。
[0018]符号说明
[0019]1：探针头
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10：机壳
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10a：底面
[0020]100：卡合件
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102：固定件
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104：对位件
[0021]12：座体
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12a：测试面
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120：开口
[0022]122：密封条
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2：针测机
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20：机壳
[0023]22：测试夹具
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22a：上表面
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220：卡合件
[0024]222：对位件
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224：容置空间
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226：测试槽
[0025]24：测试夹具固定板
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24a：上表面
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240：容置空间
[0026]26：载板
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26a：上侧面
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260：接垫
[0027]262：真空区
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264：金属边条
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W1、W2、W3：宽度
[0028]S30～S38：步骤流程
具体实施方式
[0029]在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
[0030]请参阅图1，图1是本申请一实施例的探针头和针测机的装置示意图。如图1所示，本申请的探针头连接方法可用于探针头1连接针测机2，针测机2中可以设置有待测的晶圆
(图未示)，探针头1可以经由载板(未示于图1)电性连接到晶圆。为了方便说明探针头1和针测机2之间结构与组件，本实施例于图1绘示了探针头1稍微远离于针测机2的状态，可以看到探针头1是位于针测机2上方，探针头1还未连接针测机2。实务上，探针头1还可以连接有机械臂或支架(图未示)，所述机械臂或支架可以让探针头1移动或翻转，例如机械臂或支架可以让探针头1垂直地接近或远离针测机2，并且可以转动探针头1以调整探针头1内部的组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针头连接方法，用于连接一探针头与一针测机，其特征在于，所述设备连接方法包含：于该探针头与该针测机之间，设置一载板与一测试夹具，该测试夹具设置于该针测机中，且该测试夹具用以容置该载板；启动该探针头的一吸真空功能；移动该探针头以对位该测试夹具；移动该探针头至接触该测试夹具中的该载板；以及以至少一卡合件以固定该探针头与该测试夹具；其中该载板用以直接对接一晶圆。2.根据权利要求1所述的探针头连接方法，其特征在于，该测试夹具定义有一第一上表面，该第一上表面定义有一第一容置空间，该第一容置空间用以容置该载板。3.根据权利要求2所述的探针头连接方法，其特征在于，该载板容置于该第一容置空间时，该载板与该第一上表面形成共平面。4.根据权利要求2所述的探针头连接方法，其特征在于，更包含：提供一测试夹具固定板可拆卸地锁固于该针测机，该测试夹具固定板的一第二上表面定...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨高山，林景立，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：