【技术实现步骤摘要】
超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置及方法
[0001]本专利技术涉及精密加工方法
，尤其涉及超声振动辅助激光诱导等离子 体加工透明硬脆材料的装置及方法。
技术介绍
[0002]透明硬脆材料往往具有高硬度、大脆性、低断裂韧性等特性，一方面，材料 的弹性极限和强度非常接近，属于难加工材料，加工表面易产生微裂纹、亚表面 损伤层等缺陷，另一方面，透明硬脆材料导热性差，热影响区的温度梯度高，在 加工过程中容易产生热裂纹。由于工业领域对一些高精密零部件往往具有较高的 尺寸与形状精度需求，采用传统的透明硬脆材料加工方法，如切割、研磨和抛光 都会在工件表面产生裂纹和凹坑，而且加工精度和效率较低，远不能满足材料高 精密加工的需求。
[0003]随着激光器的不断发展，超短脉冲激光的生成技术愈发成熟，其可实现超细 微加工(亚微米至纳米量级)，可实现透明材料内部精密的三维加工，且热影响小， 加工材料范围广，通过超短脉冲激光加工的微结构加工质量同长脉冲激光对比有 很大程度的提升，但是其加工成本昂贵。
[0004]聚焦离子束加工...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置，用于加工透明工件(6)，其特征在于：加工装置包括激光器(2)、透镜组件、安装工作台(8)、超声振动工作台(10)和金属靶材(7)；该金属靶材(7)固装在安装工作台(8)上，该透明工件(6)安装在超声振动工作台(10)且透明工件(6)和金属靶材(7)上下平隔布置，该超声振动工作台(10)带动透明工件(6)进行上下超声振动，该激光器(2)发出的激光束(3)经透镜组件、透明工件(6)辐射聚焦在金属靶材(7)上并与金属靶材(7)发生相互作用，通过相互作用产生的等离子体向透明工件(6)背面转移以对透明工件(6)材料进行刻蚀加工。2.根据权利要求1所述的超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置，其特征在于：该透镜组件包括扫描振镜(4)和聚焦透镜(5)，该激光器(2)发出的激光束(3)经扫描振镜(4)和聚焦透镜(5)再至透明工件(6)。3.根据权利要求1所述的超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置，其特征在于：该安装工作台(8)为可升降工作台，该超声振动工作台(10)上设可升降夹具(9)，该透明工件(6)安装在可升降夹具(9)。4.根据权利要求1所述的超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置，其特征在于：还包括电脑控制系统(1)，该电脑控制系统(1)连接激光器(2)、超声振动工作台(10)。5.根据权利要求1所述的超声振动辅助激光诱导等离子体加工装置，其特征在于：该透...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢希钊，陈嘉林，姜峰，温秋玲，陆静，江安娜，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：发明
国别省市：
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