一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法，通过设置λ/2波片和偏振分光棱镜组成作用激光的衰减调节单元，λ/2波片和偏振分光棱镜组成激光偏振分光单元，可实现在相同测试条件下，测试s线偏振光和p线偏振光对同一元器件的损伤阈值；通过在第二偏振分光棱镜的反射光路和透射光路中设置切入和切出的λ/4波片，可实现在相同测试条件下，测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值，还可测试圆偏振光和椭圆偏振光对同一元器件的损伤阈值，或者测试线偏振光和任意偏振光对同一元器件的损伤阈值；本装置为了提高散射探测灵敏度，采用线偏振光散射探测法测试样品损伤情况，同时可以测试线偏正光散射后偏振特性是否发生变化。性是否发生变化。性是否发生变化。

【技术实现步骤摘要】
一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法


[0001]本专利技术属于激光
，具体涉及一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法。

技术介绍

[0002]光学薄膜是激光光学系统的重要组成部分，其中偏振薄膜元件是高功率激光系统中的光开关、光隔离器的关键元器件。光学薄膜的抗激光损伤能力是制约高功率激光系统发展与应用的关键因素。偏振态是激光光束的特征参数之一，不同偏振态激光对于不同特性材料的损伤阈值不同。激光损伤阈值测试是衡量光学抗激光损伤能力的关键技术手段，精确的具有不同偏振态激光损伤阈值测试功能的测试装置，对光学元件的应用范围与质量的提升研究具有重要意义。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置与方法，可实现p偏振态、s偏振态和任意偏振态激光损伤阈值测试，可对不同类型的样品进行测试。
[0004]一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置，包括激光器1和激光损伤测试光路；所述激光损伤测试光路包括：第一λ/2波片(2)、聚焦系统(3)、第一偏振分光棱镜(4)、第二λ/2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置，其特征在于，包括激光器1和激光损伤测试光路；所述激光损伤测试光路包括：第一λ/2波片(2)、聚焦系统(3)、第一偏振分光棱镜(4)、第二λ/2波片(5)、第二偏振分光棱镜(6)、第一测试样品(7)、第二测试样品(8)、分光镜(9)、光束分析仪(11)、能量计(12)、第一λ/4波片(38)和第二λ/4波片(39)；激光器1发射的激光光束经过第一λ/2波片(2)后，经聚焦系统(3)聚焦后进入第一偏振分光棱镜(4)，被其分成两束激光，其中反射激光经分光镜(9)分成两束分别送入光束分析仪(11)和能量计(12)；透射激光经第二λ/2波片(5)进入第二偏振分光棱镜(6)；从第二偏振分光棱镜(6)透射和反射的激光分别入射到第一待测样品(7)表面和第二待测样品(8)表面；第一λ/4波片(38)放置在第二偏振分光棱镜(6)的反射光路中，并可在该光路中切入和切出；第二λ/4波片(39)放置在第二偏振分光棱镜(6)的透射光路中，并可在该光路中切入和切出。2.如权利要求1所述的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置，其特征在于，还包括第一显微成像系统，其进一步包括：第一单色光源(13)、第一准直系统(14)、第一聚焦系统(15)和第一光电成像单元(16)；第一单色光源(13)发出的光经第一准直系统(14)照射到第一测试样品(7)的测试点上，经第二聚焦系统(15)在第一光电成像单元(16)上成像。3.如权利要求1所述的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置，其特征在于，还包括第二显微成像系统，其进一步包括：第二单色光源(17)、第二准直系统(18)、第二聚焦系统(19)和第二光电成像单元(20)；第二单色光源(17)发出的光经第二准直系统(18)照射到第二测试样品(8)的测试点上，经第三聚焦系统(19)在第四光电成像单元(20)上成像。4.如权利要求1所述的一种不同偏振态激光损伤阈值测试的装置，其特征在于，还包括第一散射探测系统，其进一步包括：第三单色光源(21)、第三偏振分光棱镜(22)、第一斩波器(23)、第一光电探测器(24)、锁相放大器(28)、第四偏振分光棱镜(25)、第二光电探测器(26)、第三光电探测器(27)、第一光收集器(29)；第三单色光源(21)发射的光经第三偏振分光棱镜(22)后，反射的s光进入...

【专利技术属性】
技术研发人员：白芳，麻云凤，程旺，曹灿，殷晨轩，周家玮，杨学博，郭广妍，赵鹏，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：