【技术实现步骤摘要】
光学无源微型振动传感器
[0001]本专利技术属于光学传感
，涉及一种光学无源微型振动传感器。
技术介绍
[0002]如今，大型电机组向着大容量、高参数等方向发展，其中汽轮发电机作为火电和核电的关键设备，汽轮发电机组运行状态的好坏直接影响着整个电力系统。如果汽轮发电机组在运行时发生故障，将会对电网以及电厂的经济效益产生巨大影响。
[0003]为了避免汽轮发电机组故障的发生，国内外开始对汽轮发电机组振动监测与故障诊断技术进行研究。振动监测是一种有效监测设备运行状态的方式。汽轮发电机组在工作时会产生机械振动，所产生的振动信号中包含着大量信息，通过监测振动信号，工作人员可以查看汽轮发电机组的运行状态，当监测到振动信号出现异常时，可对设备进行提前维修，才能避免事故的发生，尽可能的减少财产损失。传统的振动检测方法有机械式和电学式，这两种方法的传感端都需要外加电源使其工作，且灵敏度低，抗干扰能力差，在一些干扰较大的环境下对传感信号有很大影响。而利用全光纤无源传感技术的优异的抗电磁干扰能力、高精度、低成本、结构简单等特点构建...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光学无源微型振动传感器，其特征在于：包括依次连接的振子组件和F
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P腔组件。2.根据权利要求1所述的光学无源微型振动传感器，其特征在于：所述振子组件包括连接层，连接层中心处设有空腔B，空腔B的中心处设有弹簧，弹簧的上端连接在支撑层的底部，弹簧的下端连接有质量块，质量块与F
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P腔组件连接。3.根据权利要求2所述的光学无源微型振动传感器，其特征在于：所述F
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P腔组件包括硅层，硅层与支撑层之间设有敏感膜，硅层的中心处设有空腔A，空腔A的上下两侧分别设有反...
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