【技术实现步骤摘要】
一种应用于光电芯片微观字符识别的智能显微镜系统
[0001]本专利技术涉及光通信和光电半导体微观智能视觉检测领域,具体涉及针对光通信中激光器芯片和探测器芯片的微观字符、缺陷、以及尺寸测量的智能显微镜系统。该智能显微镜的应用
还可以扩展到电子半导体芯片的微观表观VBM测量,以及所有适合微观智能显微检测的领域。
技术介绍
[0002]目前,随着通信容量和通信带宽的不断发展,以及各种光电子半导体技术的不断进步,光电子半导体芯片如激光器芯片(DFB、FP、VECSEL等)和探测器芯片(TIA PIN等)等变得越来越小以便于进行集成和封装成各种形式的光通信器件;随着5G通信,FTTR及数据中心的高速发展,对通信速率也变得越来越高。光电子半导体芯片作为光纤通信系统中最为关键的核心芯片,其性能和质量的可靠稳定性将变得越来越重要。
[0003]智能制造和人工智能的不断发展为制造的信息化,智能化和可追溯性赋予了强大的能力。半导体光电子芯片由于其在技术、应用和价格方面的重要性,需要在整个光器件的生产制造过程中能够做到质量追溯和过程 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于光电芯片微观字符识别的智能显微镜系统,其特征在于,包括显微成像采集系统、视觉照明系统、图像算法处理系统,显示系统、网络连接系统、控制系统、自动对焦系统、语音交互系统、云端数据系统、自主学习系统和电源供电系统;所述显微成像采集系统分别与图像算法处理系统和控制系统连接;所述图像算法处理系统与自主学习系统连接;所述自主学习系统分别与云端数据系统和显示系统连接;所述控制系统分别与视觉照明系统、网络连接系统、自动对焦系统和语音交互系统连接;电源供电系统与控制系统连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于光电芯片微观字符识别的智能显微镜系统,其特征在于,所述显微成像采集系统包括XY向微动平台、环形光源、Z轴运动电机、面阵COMS相机和远心镜头;所述控制系统分别与XY向微动平台、环形光源和Z轴运动电机连接;面阵COMS相机与Z轴运动电机固定在同一水平面,所述图像算法处理系统与面阵COMS相机连接;远心镜头安装在面阵COMS相机上。3.根据权利要求1所述的一种应用于光电芯片微观字符识别的智能显微镜系统,其特征在于,所述图像算法处理系统通过本地电脑对显微成像采集系统采集的原始图像数据进行存储和预处理,构建DBNet深度学习模型对预处理后的原始图像进行文本检测和文本识别处理。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:王旭东,陈鹏,唐阔基,倪雄,杜晓辉,张静,刘娟秀,刘霖,叶玉堂,刘永,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。