一种激光光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种激光光刻装置，涉及光刻设备技术领域。一种激光光刻装置，包括工作台、机头、激光头和控制器，所述工作台顶端固定有两个搁置装置，搁置装置顶部放置有放置台，放置台外侧固定有固定箱，固定箱顶端连接有顶盖，固定箱一侧设置有鼓风装置，鼓风装置包括进气管，进气管管体上连接有三通。本实用新型专利技术设置有固定箱、顶盖、鼓风装置和除尘装置，开启气泵和电磁阀，鼓风装置和除尘装置启动，除尘装置中的喷嘴向电子元件表面进行鼓风，排气扇将固定箱内的灰尘排出，然后将电磁阀和排风扇关闭，鼓风装置持续固定箱内泵入干净的空气，使固定箱内产生正风压，从而在光刻时有效的阻挡灰尘进入到固定箱内，提高了刻印效果。提高了刻印效果。提高了刻印效果。

【技术实现步骤摘要】
一种激光光刻装置


[0001]本技术涉及光刻设备
，具体为一种激光光刻装置。

技术介绍

[0002]集成电路制造中利用光学
‑
化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级(从毫米级到亚微米级)，已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到0.1埃数量级范围。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。
[0003]现在技术中，一般直接将电子元件固定在光刻装置上进行刻印，容易使灰尘遮挡影响刻印效果，为此，提出了一种激光光刻装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种激光光刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种激光光刻装置，包括工作台、机头、激光头和控制器，所述工作台顶端固定有两个搁置装置，搁置装置顶部放置有放置台，放置台外侧固定有固定箱，固定箱顶端连接有顶盖，固定箱一侧设置有鼓风装置，鼓风装置包括进气管，进气管管体上连接有三通，三通顶部连接有除尘装置。
[0006]优选的，所述搁置装置包括支撑板，支撑板顶端一侧固定有多个电磁棒，放置台两侧底端均固定有多个铁棒，两个铁棒和一个电磁棒形成一个活动组，每个活动组中的电磁棒位于两个铁棒之间，支撑板底端固定有固定板。
[0007]优选的，其中一个所述支撑板顶部固定有刻度尺，放置台一侧固定有竖向标尺。
[0008]优选的，所述鼓风装置还包括与进气管相连通的气泵，进气管一侧连通有环形管，环形管顶部开设有多个气孔，搁置装置位于环形管的内圈内。
[0009]优选的，所述除尘装置包括支撑管，支撑管的管体上连接有电磁阀，支撑管一侧连通有万向软管，万向软管端部连接有喷嘴，固定箱一侧开设有圆孔，圆孔内固定有排气扇。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]该激光光刻装置，设置有固定箱、顶盖、鼓风装置和除尘装置，开启气泵和电磁阀，鼓风装置和除尘装置启动，除尘装置中的喷嘴向电子元件表面进行鼓风，排气扇将固定箱内的灰尘排出，然后将电磁阀和排风扇关闭，鼓风装置持续向固定箱内泵入干净的空气，使固定箱内产生正风压，从而在光刻时有效的阻挡灰尘进入到固定箱内，提高了刻印效果。
[0012]并且，还设置有搁置装置、刻度尺和竖向标尺，通过电磁棒的断电和通电来对放置台进行精确的移动，从而提高了该装置的实用性。
附图说明
[0013]图1为本技术的左侧轴视图；
[0014]图2为本技术的右侧轴视图；
[0015]图3为本技术去除机头、激光头和控制器后的俯视图；
[0016]图4为放置台和搁置装置的剖视图。
[0017]图中：101、工作台；102、机头；103、激光头；104、控制器；201、固定箱；202、顶盖；301、气泵；302、进气管；303、环形管；304、气孔；401、支撑管；402、万向软管；403、喷嘴；404、排气扇；405、电磁阀；5、放置台；601、支撑板；602、固定板；603、电磁棒；604、铁棒；7、刻度尺；8、竖向标尺。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件所必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]此外，应当理解，为了便于描述，附图中所示出的各个部件的尺寸并不按照实际的比例关系绘制，例如某些层的厚度或宽度可以相对于其他层有所夸大。
[0021]应注意的是，相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义或说明，则在随后的附图的说明中将不需要再对其进行进一步的具体讨论和描述。
[0022]如图1
‑
4所示，本技术提供一种技术方案：一种激光光刻装置，包括工作台101、机头102、激光头103和控制器104，机头102是可以活动的，激光头103中的光采用波长为2000～4500埃的紫外光作为图像信息载体，该光刻技术具有是以光致抗蚀剂为中间(图像记录)媒介实现图形的变换、转移和处理，最终把图像信息传递到晶片(主要指硅片)或介质层上的一种工艺，该为现有技术，在本文中不再赘述，在工作台101顶端固定有两个搁置装置，两个搁置装置的顶部放置有放置台5，并且放置台5外侧固定有固定箱201，另外，固定箱201顶端连接有顶盖202，需要进行说明的是，固定箱201和顶盖202均匀透明的玻璃制成，这样方便操作人员在外面观察到加工过程，在固定箱201一侧设置有鼓风装置，鼓风装置使固定箱201内产生正风压，其中，鼓风装置包括进气管302，进气管302为304不锈钢材质制成，304不锈钢具有良好的耐蚀性、耐热性，低温强度和机械特性，冲压、弯曲等热加工性好，无热处理硬化现象，在大气中耐腐蚀，具有良好的加工性能和可焊性，在进气管302管体上连接有三通，并且三通顶部连接有除尘装置，除尘装置是对固定箱进行除尘。
[0023]为了保证该方案的顺利实施，需要说明的是，搁置装置包括支撑板601，支撑板601和放置台5之间均开设有相等高度的矩形通槽，在支撑板601顶端一侧固定有多个电磁棒
603，在本实施例中，电磁棒603的数量设置为2个，电磁棒603通过电磁原理产生磁性，改为现有技术，本文中不再作出说明，在放置台5两侧底端均固定有多个铁棒604，具体的，铁棒604的数量设置为4个，这样，两个铁棒604和一个电磁棒603形成一个活动组，应该知道的是，每个活动组中的电磁棒603位于两个铁棒604之间，当电磁棒603断电时，放置台5可以在电磁棒603上进行活动，使得移动较为平稳，并且尽量保证放置台5在移动过程中的平稳性，间接的减少了后期光刻误差，电磁棒603通电时，电磁棒603和铁棒604相吸引，从而完成放置台5的固定，在支撑板601底端固定有固定板602，固定板602两侧开设有多个安装孔。
[0024]为了使本方案最优，在本实施例中，其中一个支撑板601顶部固定有刻度尺7，放置台5一侧固定有竖向标尺8，需要知道的是，初始状态下，竖向标尺8位于刻度尺7的中间刻度位置，并且刻度尺7的中间刻度设置为0刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光光刻装置，包括工作台(101)、机头(102)、激光头(103)和控制器(104)，其特征在于：所述工作台(101)顶端固定有两个搁置装置，搁置装置顶部放置有放置台(5)，放置台(5)外侧固定有固定箱(201)，固定箱(201)顶端连接有顶盖(202)，固定箱(201)一侧设置有鼓风装置，鼓风装置包括进气管(302)，进气管(302)管体上连接有三通，三通顶部连接有除尘装置。2.根据权利要求1所述的一种激光光刻装置，其特征在于：所述搁置装置包括支撑板(601)，支撑板(601)顶端一侧固定有多个电磁棒(603)，放置台(5)两侧底端均固定有多个铁棒(604)，两个铁棒(604)和一个电磁棒(603)形成一个活动组，每个活动组中的电磁棒(603)位于两个铁棒(604)之间，支撑板(601)底端...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭著春，彭乐耕，林峰，
申请(专利权)人：惠州市品祥电子有限公司，
类型：新型
国别省市：