LA-ICP-MS动态变形束斑的测试方法与设备技术

本发明专利技术涉及一种LA

【技术实现步骤摘要】
LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法与设备


[0001]本专利技术涉及动态变形激光束斑剥蚀的地质样品测试
，特别是涉及一种LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法与设备。

技术介绍

[0002]当前的激光剥蚀
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电感耦合等离子质谱(以下统称为LA
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ICP
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MS)方法与设备，可应用于地质学、材料学、刑侦、考古、环境科学等领域的固体成分测试。其中地质样品具有微区形貌复杂多变的特征，而由公知的LA
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ICP
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MS方法与设备特征，只有事先通过形状固定的光阑确定束斑截面形状，而激光剥蚀过程中的束斑截面是不变形的，会将束斑区域内所有的成分剥蚀，带来了难以实时变化、难以选择束斑形状，导致剥蚀点引入杂质的难题。
[0003]虽然现有技术中公开了一种聚焦光纤激光束的空间形态连续调节方法，但是需要计算得到与实际加工所需的光束空间形态相对应的离焦量值，然后在纵向上连续调节可调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，包括：获取样品表面物相边界形状与所述样品的内部的三维物相分布；根据所述样品的三维物相分布确定目标颗粒和标样，并对所述标样进行激光斑控制，得到所述目标颗粒的束斑；根据所述三维物相分布获取每次剥蚀分层，并根据所述三维物相分布对应的目标颗粒剥蚀分层截面的形状，确定光束变形片对应样品的目标颗粒截面形状变化序列；所述光束变形片的亮区形状对应待剥蚀的所述束斑的截面形状的几何相似图形；按所述目标颗粒截面形状变化序列的顺序对所述光束变形片进行逐帧运行，以使光束对所述样品进行剥蚀；当所述光束对所述样品剥蚀一次后，将所述光束变形片换为对应样品更深位置的下一个，从而依次改变所述束斑的形状，以实施LA
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ICP
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MS测试。2.根据权利要求1所述的LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，当所述光束变形片进行逐帧运行时，所述光束在透镜二倍焦距以外以平行光透过光束变形片。3.根据权利要求1所述的LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，当所述目标颗粒存在所述三维物相分布的垂向截面形状不变的位置时，所述光束透过所述光束变形片不改变至少两次剥蚀的束斑形状。4.根据权利要求1所述的LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，所述根据所述三维物相分布获取每次剥蚀分层包括：根据所述三维物相分布获取内部物相分布的体积和深度；根据各相的剥蚀速率、所述体积和所述深度获取所述剥蚀分层；所述剥蚀速率由所述标样在进行激光斑控制时获得。5.根据权利要求1所述的LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，所述束斑的位置由所述表面物相边界形状进行约束。6.根据权利要求1所述的LA
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ICP
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MS动态变形束斑的测试方法，其特征在于，所述光束以平行或共聚焦的方式透过所述光束变形片；在所述光束变形片停顿时允许...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨溢，戴智慧，刘建忠，李阳，李瑞，曾小家，谷亚亚，张莉，籍进柱，
申请(专利权)人：中国科学院地球化学研究所，
类型：发明
国别省市：