一种紫外激光定倍扩束系统技术方案

本申请提供一种紫外激光定倍扩束系统，包括沿光束入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜；第一透镜、第二透镜和第三透镜位于同一光轴上；第一透镜为平凹负透镜，其凹面朝向光线的入射方向；第二透镜为弯月型负透镜，其凸面朝向光线的入射方向；第三透镜为平凸正透镜，其凸面背向光线的入射方向。通过设置第一透镜、第二透镜和第三透镜，第一透镜为平凹负透镜，第二透镜为弯月型负透镜，第三透镜为平凸正透镜，使得该紫外激光定倍扩束系统可以将入射的紫外激光束扩束至5倍后仍然是一束成像质量高的平行光束；该紫外激光定倍扩束系统采用了一个弯月透镜、一个平凹透镜和一个平凸透镜，即六个光学表面中，有两个为平面，加工成本较低。工成本较低。工成本较低。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外激光定倍扩束系统


[0001]本申请涉及激光扩束系统
，尤其涉及一种紫外激光定倍扩束系统。

技术介绍

[0002]激光加工技术的应用日益普遍，激光器发出的激光束一般为毫米级别，在激光精密加工领域，激光器经过设备外光路一系列光学器件的反射和聚焦将光束聚焦到微米尺寸去对材料进行加工。如果将激光器发出的激光束直接照射到外光路光学器件上，会存在如下问题：1、激光器光斑较小，能量相对集中，容易对外光路光学器件造成损坏；2、聚焦镜在激光束进行聚焦时难以达到更小尺寸的微米级别；扩束系统的出现解决了上述问题，激光器发出的激光具有一定的发散角，其经过扩束系统扩束后形成准直(平行)光束，然后照射到聚焦镜上可获得细小的高功率密度光斑。
[0003]传统的扩束系统的成本都比较高。例如申请号为CN201010102516.9的专利技术专利公开了一种应用于紫外激光的定倍扩束系统，其采用了两个弯月型透镜和一个平凸镜，而弯月型透镜的加工成本较高。为此，本申请提出一种紫外激光定倍扩束系统。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是针对以上问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外激光定倍扩束系统，其特征在于，包括：沿光束入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜；所述第一透镜、所述第二透镜和所述第三透镜位于同一光轴上；所述第一透镜为平凹负透镜，其凹面朝向光线的入射方向；所述第二透镜为弯月型负透镜，其凸面朝向光线的入射方向；所述第三透镜为平凸正透镜，其凸面背向光线的入射方向。2.根据权利要求1所述的紫外激光定倍扩束系统，其特征在于，所述第一透镜的凹面的曲率半径为
‑
12.61mm；所述第二透镜的凸面的曲率半径为88.91mm；所述第二透镜的凹面的曲率半径为72.30mm；所述第三透镜的凸面的曲率半径为
‑
54.38mm。3.根据权利要求1所述的紫外激光定倍扩束系统，其特征在于，所述第一透镜在光轴上的中心厚度为4mm，其公差范围为
±
7％；所述第二透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王延泽，王铁男，赵璞，
申请(专利权)人：天津凯普林激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：