基于多线圈耦合的气体解离电路及气体解离系统技术方案

本发明专利技术提供了一种基于多线圈耦合的气体解离电路，包括至少两个解离变压器和至少两个电抗，所述解离变压器包括第一主线圈、第一副线圈和电抗，所述第一主线圈之间串联，所述第一副线圈与所述电抗一一对应设置，且所述第一副线圈与所述电抗串联，所有所述解离变压器的匝数比均相同，所述匝数比为同一所述解离变压器内所述第一主线圈的匝数和所述第一副线圈的匝数的比值，所述第一主线圈之间串联，使得所有所述第一主线圈内的电流大小均相等，所有所述解离变压器的匝数比均相同，使得所有所述第一副线圈内的电流大小均相等，从而使得所述电抗产生的磁场强度相同，进而提高了气体离化率。本发明专利技术还提供了一种气体解离系统。本发明专利技术还提供了一种气体解离系统。本发明专利技术还提供了一种气体解离系统。

【技术实现步骤摘要】
基于多线圈耦合的气体解离电路及气体解离系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种基于多线圈耦合的气体解离电路及气体解离系统。

技术介绍

[0002]等离子体是指由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，一般可以通过容性耦合或射频感性耦合产生，在材料、能源、信息等领域得到广泛的应用。
[0003]等离子体辅助材料加工已在许多工业工厂得到广泛应用。在半导体和光电子行业，等离子体可用于多种工艺，如等离子体增强化学气相沉积、物理气相沉积、反应离子蚀刻和等离子体浸没离子注入。此外，低压等离子体还可用于腔室清洁和平板显示器制造。表面处理技术可用于生物医学器械的灭菌。特别是，对于大气压等离子体(如臭氧)，它可以应用于多种类型的清洁，如农业、食品消毒、水净化和便携式空气滤清器。为了提高化学气相沉积工艺的生产率，防止腔室受到污染是主要关注的问题。
[0004]目前国内外的等离子源主要为射频感性耦合等离子体源(Inductively Coupled Plama source，ICP)，射频感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于多线圈耦合的气体解离电路，其特征在于，包括至少两个解离变压器和至少两个电抗，所述解离变压器包括第一主线圈和第一副线圈，所述第一主线圈之间串联，所述第一副线圈与所述电抗一一对应设置，且所述第一副线圈与所述电抗串联，所有所述解离变压器的匝数比均相同，所述匝数比为同一所述解离变压器内所述第一主线圈的匝数和所述第一副线圈的匝数的比值。2.根据权利要求1所述的气体解离电路，其特征在于，所述解离变压器还包括第一磁芯，所述第一主线圈和所述第一副线圈环绕于所述第一磁芯的外侧。3.根据权利要求1所述的气体解离电路，其特征在于，还包括点火单元，所述点火单元包括点火变压器，所述点火变压器包括第二主线圈和第二副线圈，所述第二主线圈和所述第一主线圈串联。4.根据权利要求3所述的气体解离电路，其特征在于，所述点火变压器...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘小刚，朱国俊，赵剑锋，金龙，刘康礼，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：