【技术实现步骤摘要】
一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体
[0001]本技术涉及微波等离子体运用
,具体为一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体。
技术介绍
[0002]在工业运用过程中,现有未必等离子在进行激励腔体时通常是做简单隔离或不隔离,无法做到激励腔的有效密封,现有技术处理腔尺寸会受波导尺寸和水冷设计等限制,使得设备处理能力受限,现有技术处理腔微波特性通常使用石英管、陶瓷管、蓝宝石等透波材料穿过激励腔的形式,会使腔体尺寸比较受限,使得此类材质在微波能量比较高的情况下,受到等离子的刻蚀及温度影响比较大,容易损坏,且在出来氟化物时,易受氟离子的腐蚀。
[0003]本技术提出一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体,本技术可以使可以使微波激励腔体与处理部分成为整体,有效激发等离子体,减少现有技术下等离子对的处理腔的刻蚀,大大提高设备的使用时间,缩短维修维护时间,适用于工业生产。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体,包括进气通路、压缩传输波导以及密封件,所述进气通路上通过压缩激励腔体密封连接有压缩传输波导,所述压缩传输波导靠近进气通路一侧安装有密封件,密封件远离压缩传输波导一侧设置有安装在压缩激励腔体内部的阻热板。
[0006]进一步地,所述压缩激励腔体内部开设有与阻热板配合连接的腔体。
[0007]进一步地,所述密封件为聚四氟乙烯、陶瓷、石英或蓝 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体,其特征在于,包括进气通路(3)、压缩传输波导(2)以及密封件(4),所述进气通路(3)上通过压缩激励腔体(1)密封连接有压缩传输波导(2),所述压缩传输波导(2)靠近进气通路(3)一侧安装有密封件(4),密封件(4)远离压缩传输波导(2)一侧设置有安装在压缩激励腔体(1)内部用于防离子的阻热板(5)。2.根据权利要求1所述的一种基于工业运用的微...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄嘉杰,邬明旭,韩文锋,于洪威,欧阳浩,张钦,
申请(专利权)人:合肥优飞材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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