一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，包括：等离子分解设备与尾气循环系统，尾气循环系统包括吸收池、气体干燥装置以及缓冲储气罐，等离子分解设备与用于处理尾气的吸收池相连，吸收池与用于去除水分的气体干燥装置相连，气体干燥装置与缓冲用于收集气体的储气罐相连，气体干燥装置与用于气体分解的等离子分解设备相连；等离子分解设备包括电控柜、用于产生等离子体的微波系统以及气体压力控制系统，微波系统与真空系统相连，用于处理物反应处理，真空系统与用于提供水冷的冷却系统相连，冷却系统与气体压力控制系统相连，用于多路气体流量控制，本实用新型专利技术对循环尾气的再利用，可以极大节约企业处理氟化物的成本。化物的成本。化物的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备


[0001]本技术涉及工业含氟化合物处理
，尤其涉及一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备。

技术介绍

[0002]微波等离子体属于等离子体的激发方式之一，是将微波源产生的微波能量通过波导，传输耦合到处理室或处理腔部分，利用微波能量激发产生等离子体，对目标处理物进行处理，得到目标产物，工业含氟化合物分解运用循环处理过程中会用到微波等离子体进行能量传递。
[0003]现有微波等离子技术做氟化合物气体分，分解产物中的氟离子会对使用石英或玻璃材质的处理腔腔壁产生腐蚀，且在使用时处理物的量值比较小，也远远不能满足工业运用的需求，在进行尾气循环处理时，不能将尾气中未处理完的目标气体进行循环处理，排放污染物对环境造成污染，增加生产成本，影响使用，因此，本技术提供一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷，本技术提出了一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，本技术可以将尾气中未处理完的目标气体进行循环处理，直到完全处理完成，对于尾气中的有毒有害气体进行化学无害化吸收，使系统具有良好的环境友好性，满足环保要求，对循环尾气的再利用，可以极大节约企业处理氟化物的成本。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，包括：等离子分解设备与尾气循环系统，尾气循环系统包括吸收池、气体干燥装置以及缓冲储气罐，所述等离子分解设备与用于处理尾气的吸收池相连，吸收池与气体干燥装置相连，用于去除水分，气体干燥装置与缓冲储气罐相连，用于收集气体，气体干燥装置与用于气体分解的等离子分解设备相连，所述等离子分解设备包括电控柜、用于产生等离子体的微波系统以及气体压力控制系统，所述微波系统与真空系统相连，用于处理物反应处理，真空系统与用于提供水冷的冷却系统相连，所述冷却系统与气体压力控制系统相连，用于多路气体流量控制，所述等离子分解设备与尾气循环系统均与电控柜相连。
[0006]进一步地，所述等离子设备与吸收池、吸收池与气体干燥装置之间设置有用于气体增压的增压设备，增压设备为鼓风机或增压器。
[0007]进一步地，所述微波系统包括微波头、微波电源、铁氧体循环器以及三销钉，所述真空系统上安装有铁氧体循环器，铁氧体循环器上安装有三销钉，铁氧体循环器与微波头相连，微波头电性连接有微波电源，由微波电源给微波头提供高压，产生微波，微波经铁氧体循环器，三销钉，传输波导，在真空系统中的处理腔内产生等离子体。
[0008]进一步地，所述铁氧体循环器内部增加石英隔离窗。
[0009]进一步地，气体压力控制系统包括安装在冷却系统尾端的压力控制器与挡板阀，以及进气装置，真空系统与进气装置活动连接。
[0010]进一步地，还包括测温系统以及监测系统，测温系统与监测系统均安装在等离子分解设备内部，与电控柜相连。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果包括：
[0012]本系统中分解设备采用新的气体保护结构和新的激励腔体形式，使分解氟化物过程中氟离子对于处理腔的腐蚀大大降低，从而能够满足设备的长期稳定工作。
[0013]1、本技术中分解设备采用新的处理结构后，随着氟离子对处理腔的腐蚀降低，从而增加目标处理物的处理量；
[0014]2、本技术采用尾气循环处理形式，可以将尾气中未处理完的目标气体进行循环处理，直到完全处理完成，对于尾气中的有毒有害气体进行化学无害化吸收，使系统具有良好的环境友好性，满足环保要求；
[0015]3、本技术对循环尾气的再利用，可以极大节约企业处理氟化物的成本。
附图说明
[0016]参照附图来说明本技术的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本技术的保护范围构成限制。在附图中，相同的附图标记用于指代相同的部件。其中：
[0017]图1示意性显示了根据本技术一个实施方式提出的一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备中等离子分解设备的结构示意图；
[0018]图2示意性显示了根据本技术一个实施方式提出的一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备的结构示意图；
[0019]图中标号：1
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微波系统、2
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电控柜、3
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真空系统、4
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冷却系统、5
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铁氧体循环器、6
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气体压力控制系统、7
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等离子分解设备、8
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增压设备、9
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吸收池、10
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气体干燥装置、11
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缓冲储气罐。
具体实施方式
[0020]容易理解，根据本技术的技术方案，在不变更本技术实质精神下，本领域的一般技术人员可以提出可相互替换的多种结构方式以及实现方式。因此，以下具体实施方式以及附图仅是对本技术的技术方案的示例性说明，而不应当视为本技术的全部或者视为对本技术技术方案的限定或限制。
[0021]根据本技术的一实施方式结合图1和图2示出。一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，包括：等离子分解设备7与尾气循环系统，尾气循环系统包括吸收池9、气体干燥装置10以及缓冲储气罐11，等离子分解设备7与用于处理尾气的吸收池9相连，吸收池9与气体干燥装置10相连，用于去除水分，气体干燥装置10与缓冲储气罐11相连，用于收集气体，气体干燥装置10与用于气体分解的等离子分解设备7相连。
[0022]等离子分解设备7包括电控柜2、用于产生等离子体的微波系统1以及气体压力控制系统6，微波系统1与真空系统3相连，用于处理物反应处理，真空系统3与用于提供水冷的
冷却系统4相连，冷却系统4与气体压力控制系统6相连，用于多路气体流量控制，等离子分解设备7与尾气循环系统均与电控柜2相连。
[0023]等离子设备与吸收池9、吸收池9与气体干燥装置10之间设置有用于气体增压的增压设备8，增压设备8为鼓风机或增压器，通过增压设备8对气体进行增压，使气体进行快速流动，微波系统1包括微波头、微波电源、铁氧体循环器5以及三销钉，真空系统3上安装有铁氧体循环器5，铁氧体循环器5上安装有三销钉，铁氧体循环器5与微波头相连，微波头电性连接有微波电源，铁氧体循环器5内部设置有与微波电源相连的阻抗匹配器，由微波电源给微波头提供高压，产生微波，微波经铁氧体循环器5，三销钉，传输波导，在真空系统3中的处理腔内产生等离子体，铁氧体循环器5主要是吸收反射的微波能量，防止微波反射回微波头损坏微波头，阻抗匹配器主要起调节微波的传输，更好的在波导内形成驻波，并降低微波反射的作用。
[0024]铁氧体循环器5内部增加石英隔离窗，通过石英隔离窗保证波导压缩部分与腔体处于密闭环境中，气体压力控制系统6包括安装在冷却系统4尾端的压力控制器与挡板阀，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，其特征在于，包括：等离子分解设备(7)与尾气循环系统，尾气循环系统包括吸收池(9)、气体干燥装置(10)以及缓冲储气罐(11)，所述等离子分解设备(7)与用于处理尾气的吸收池(9)相连，吸收池(9)与用于去除水分的气体干燥装置(10)相连，气体干燥装置(10)与用于收集气体的缓冲储气罐(11)相连，气体干燥装置(10)与用于气体分解的等离子分解设备(7)相连；所述等离子分解设备(7)包括电控柜(2)、用于产生等离子体的微波系统(1)以及气体压力控制系统(6)，所述微波系统(1)与真空系统(3)相连，用于处理物反应处理，真空系统(3)与用于提供水冷的冷却系统(4)相连，所述冷却系统(4)与气体压力控制系统(6)相连，用于多路气体流量控制，所述等离子分解设备(7)与尾气循环系统均与电控柜(2)相连。2.根据权利要求1所述的一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备，其特征在于，所述等离子设备与吸收池(9)、吸收池(9)与气体干燥装置(10)之间设置有用于气体增压的增压设备(8)，增压设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄嘉杰，邬明旭，韩文锋，于洪威，欧阳浩，张钦，
申请(专利权)人：合肥优飞材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：