一种尺寸小型化的可变光衰减器制造技术

本实用新型专利技术公开一种尺寸小型化的可变光衰减器，包括，光环形器和MEMS芯片，所述光环形器包括输入端口、输出端口和公共端口，所述MEMS芯片内包括转轴和微镜；所述微镜贴合在光环形器的公共端口所在光纤的端面。本实用新型专利技术的目的在于提供一种尺寸小型化的可变光衰减器，为达到上述目的，本实用新型专利技术在现有MEMS可变光衰减器的基础上，进一步简化了整体光路结构，去掉了光路准直透镜。通过采用更加微小的MEMS反射镜，直接贴合在光纤端面，可以实现光信号的低损耗原路返回；当MEMS微镜旋转时，实现光信号的连续衰减。采用阵列MEMS微镜匹配阵列光纤，可以实现阵列的可变光衰减器。可以实现阵列的可变光衰减器。可以实现阵列的可变光衰减器。

【技术实现步骤摘要】
一种尺寸小型化的可变光衰减器


[0001]本技术涉及光纤通信领域，具体涉及一种尺寸小型化的可变光衰减器。

技术介绍

[0002]可变光衰减器是光通信领域的基础光器件之一，市场需求非常巨大。目前，可变光衰减的主要实现技术是基于光学MEMS芯片，已经是大批量生产和销售的标准产品。目前的MEMS芯片可变光衰减器，基本元件包括光收发光纤、准直透镜和MEMS芯片；光信号由光纤发出，发散传输至准直透镜，准直之后传输至MEMS芯片；通过控制MEMS芯片的旋转实现光信号的指定衰减。
[0003]上述设计的工艺较为成熟，性能稳定，易于批量生产，但光学元件过多，不易降低成本，尺寸也偏大，尤其是在制作阵列光衰减器的时候，只能通过拼接多个可变光衰减器实现，整体尺寸更为偏大。
[0004]经检索发现，公开号CN 213210534 U的中国专利于2021年5月14日公开了一种小型高性能的可调光衰减器，包括管座、MEMS芯片、管帽、透镜、光纤头、封装套筒，管座上设有两个管脚，MEMS芯片上设有转镜，光纤头内分别设有输入光纤和输出光纤，MEMS芯片设于管座中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尺寸小型化的可变光衰减器，其特征在于，包括，光环形器和MEMS芯片，所述光环形器包括输入端口、输出端口和公共端口，所述MEMS芯片内包括转轴和微镜；所述微镜贴合在光环形器的公共端口所在光纤的端面。2.根据权利要求1所述的一种尺寸小型化的可变光衰减器，其特征在于，多个衰减器阵列排布，形成阵列的可变光衰减器。3.根据权利要求1所述的一种尺寸小型化的可变光衰减器，其特征在于，所述微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚磊，黄焱铖，郇霞，
申请(专利权)人：武汉嘉迅光电有限公司，
类型：新型
国别省市：