真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种可使设置于电机转子中的永久磁铁的寿命提高的真空泵。电机转子(4b)包括固定在轴(10)上的磁轭(40)、以及保持于磁轭(40)上的永久磁铁(41)，在磁轭(40)上形成有：保持部(401)，与轴(10)相离而设置，保持永久磁铁(41)；以及一对嵌合部(400)，设置在保持部(401)的轴向两端，通过嵌合而接合于轴(10)；并且嵌合部(400)的径向厚度尺寸设定为小于保持部(401)的径向厚度尺寸。部(401)的径向厚度尺寸。部(401)的径向厚度尺寸。

【技术实现步骤摘要】
真空泵
[0001]相关分案申请
[0002]本申请是原申请申请号201611110055.3，申请日2016年12月06日，专利技术名称为“真空泵”的分案申请。


[0003]本专利技术涉及一种真空泵。

技术介绍

[0004]作为使涡轮分子泵(turbo molecular pump)等真空泵的转子旋转的电机(motor)，例如，已知有如专利文献1中所记载的直流(direct current，DC)无刷电机(brushless motor)。设置有永久磁铁的电机转子安装在设置有旋转叶片的转子的轴(shaft)上。电机转子包括固定在轴上的磁轭(yoke)、以及设置在磁轭上的永久磁铁。通常，在永久磁铁的外周，设置有抑制因离心力而引起的永久磁铁的膨胀的碳纤维强化塑料(Carbon Fiber Reinforced Plastics，CFRP)制的保护管。
[0005]涡轮分子泵或牵引泵(drag pump)等是使转子以每分数万次旋转的高速而旋转。为了应对这样的高速旋转，在转子中，一般使用重量轻并且拉伸强度高的原材料即铝合金。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，利用电机对转子进行旋转驱动而进行真空排气，其特征在于，所述真空泵包括：所述转子的轴；以及所述电机的电机转子，所述电机的电机转子包括：磁轭，固定在所述轴上，且线膨胀系数小于所述轴；以及永久磁铁，保持于所述磁轭上，在所述轴的外周面上，形成环状的上侧凸部及环状的下侧凸部，且所述上侧凸部与所述下侧凸部之间形成有间隙，所述上侧凸部及所述下侧凸部与所述保持部的位置在轴向上不重合，在所述磁轭上形成有：保持部，与所述轴相离而设置，且以与所述永久磁铁的径向的内周面接触的状态保持所述永久磁铁；以及上侧嵌合部，设置在所述保持部的轴向上端，通过嵌合于所述上侧凸部而接合；以及下侧嵌合部，设置在所述保持部的轴向下端，通过嵌合于所述下侧凸部而接合；并且所述上侧嵌合部及所述下侧嵌合部的径向厚度尺寸设定为小于所述保持部的径向厚度尺寸，当...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村太贵，清水幸一，芦田修，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：