金属加工部件及其制造方法、具备该金属加工部件的部件搭载模块技术

本发明专利技术提供一种通过除了研磨以外的方法对蚀刻处理后的金属加工品的角部进行处理的方法。包括：在露出金属板100的侧面160的状态下在表面120以及背面140上形成保护层的步骤；从形成有保护层200的金属板100中切出制造对象的部件的前体300的步骤；在保护层200没有脱落的状态下对前体300进行蚀刻的步骤；对蚀刻后的前体300，通过电处理或化学处理将表面120与侧面160的角部以及背面140与侧面160的角部进行倒角的步骤；使得保护层200自倒角后的前体300脱落的步骤。体300脱落的步骤。体300脱落的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属加工部件及其制造方法、具备该金属加工部件的部件搭载模块


[0001]本专利技术涉及一种金属加工部件、具备该金属加工部件的部件搭载模块、以及该金属加工部件的制造方法，特别涉及一种与精密设备等相关的金属加工部件、具备该金属加工部件的部件搭载模块、以及该金属加工部件的制造方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，公开了一种在金属部件的至少表面被加热的情况下，以1～30kg/cm的线压依次压接的方式，将在耐腐蚀性膜上设置粘接剂层而成的掩片接合于金属部件以在金属部件的非处理部分形成被覆膜，之后将其用腐蚀液进行蚀刻处理以除去非被覆部分的表面的金属加工品的制造方法。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平5
‑
239670号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]然而，在专利文献1中公开的专利技术中，蚀刻处理后的金属加工品，其角部会变锋利，其结果是角部会损伤周围部件，最糟糕的情况下会切断周围部件等。
[0008]另一方面，即使想要通过研磨等对蚀刻处理后的金属加工品的角部进行倒角处理，但是微细的金属加工品很多，因此存在难以进行倒角处理的情况，在某些情况下倒角处理实际上是不可能的。
[0009]因此，本专利技术要解决的技术问题是，如何通过除了研磨以外的方法对蚀刻处理后的金属加工品的角部进行处理。
[0010]解决技术问题的方法
[0011]为了解决上述技术问题，本专利技术的金属加工部件，
[0012]在表面与侧面的角部以及在背面与侧面的角部的位置，具有没有加工痕迹的斜面。
[0013]所述侧面以及所述斜面的表面粗糙度，不同于所述表面以及所述背面的表面粗糙度。所述侧面的截面可以呈凸状。
[0014]另外，本专利技术的部件搭载模块，具备上述金属加工部件。
[0015]进一步，本专利技术的金属加工部件的制造方法，包括：
[0016]在露出金属板的侧面的状态下在表面以及背面上形成保护层的步骤；
[0017]从形成有所述保护层的金属板中切出制造对象的部件的前体的步骤；
[0018]在所述保护层没有脱落的状态下对所述切出的前体进行蚀刻的步骤；
[0019]对所述蚀刻后的前体，通过电处理或化学处理将所述表面与所述侧面的角部以及
所述背面与所述侧面的角部进行倒角的步骤；
[0020]使得所述保护层自所述倒角后的前体脱落的步骤。
具体实施方式
[0021]以下，参照附图，说明本专利技术的实施方式。
[0022]图1是本专利技术的实施方式的金属加工部件的示意性的制造工程图。
[0023]如图1A所示，首先，准备由金属加工部件的母材形成的基板100(步骤S1)。基板100，为了便于说明，将图1A的上侧的面称为表面120，将下侧的面称为背面140，并将前后左右的面称为侧面160。
[0024]基板100，只要是与成为制造对象的金属加工部件对应的尺寸即可。基板100，如果是用于将金属加工部件搭载于精密设备的部件搭载模块的小型基板，则可以准备例如厚度为25μm～300μm左右的基板。随着想要由1枚基板100制造的金属加工部件的个数增多，可以增大基板100的长度以及宽度。
[0025]基板100，例如能够使用铜制品、铁制品、铝制品，或者它们的合金制品(例如不锈钢制品)等，不限于此。另外，关于采用何种金属，根据其用途等决定即可。
[0026]示出一例，例如，在想要制造用于半导体晶圆检查等的接触针的情况下，能够由铜制造基板100。另外，在想要制造扬声器的网状的金属板、具有网状部分的整流板的情况下，能够由不锈钢制造基板100。进一步，在想要制造散热器的情况下，能够由铝制造基板100。
[0027]如图1B所示，接着，在步骤S1中准备的基板100的表面120以及背面140上形成保护层200(步骤S2)。此时，在基板100的侧面160，没有形成保护层200。保护层200，优选由在进行下文所述的步骤S4的蚀刻时不会被该蚀刻溶液溶解的原材料形成。
[0028]当然，保护层200，不以绝对不会被蚀刻溶液溶解为条件，只要满足在蚀刻结束时基板100的表面120以及背面140不会露出的条件即可，也能够使用略微会溶解的原材料。
[0029]需要说明的是，为了在蚀刻结束时基板100的表面120以及背面140不会露出，例如可列举保护层200采用相对较厚的层，或者相对缩短蚀刻时间。
[0030]在本实施方式中，如果要制造例如100μm的厚度的铜制造的薄型部件，则准备厚度100μm的铜制造的基板100，对于其表面120以及背面140各面，例如使用可用作光刻胶材料并且主要成分为乙基溶纤剂的有机材料，分别形成厚度为3μm～100μm左右、优选5μm～20μm左右的保护层200。
[0031]保护层200的形成方法，没有特别限定，能够使用粘合剂将片状的保护层200分别接合在基板100的表面120以及背面140上，也能够在基板100的表面120以及背面140上涂覆液状或糊状的有机材料并进行干燥，还能够将遮盖住侧面160的状态的基板100含浸在液状或糊状的有机材料中。
[0032]如图1C所示，接着，对于在表面120以及背面140上均形成有保护层200的基板100，进行与制造对象的部件相应的切出加工，由此制造多个金属加工部件的前体300(步骤S3)。
[0033]金属加工部件自身的形状，不是本专利技术的本质，因此本文中示意性地假设制造多个蛇状的金属加工部件，并示出进行切出加工的示例。
[0034]如图1D所示，将从基板100切出加工得到蛇状的前体300分别投入例如装有食人鱼溶液(piranha solution)等蚀刻溶液的液槽500中，在该蚀刻溶液中含浸由此进行蚀刻(步
骤S4)。
[0035]食人鱼溶液，通常是在离子交换水中混合浓硫酸和过氧化氢以及根据需要添加的少量添加剂而成。与离子交换水相对的硫酸和过氧化氢的混合量没有限定，作为一例，相对于离子交换水，能够分别混合5重量％的浓硫酸(原液)、6重量％的30％过氧化氢、和1～2重量％的少量的添加剂。
[0036]蚀刻时间，可根据蚀刻溶液的浓度、作为处理对象的前体300的厚度、其侧面160的腐蚀对象量等适当地决定，例如在制造100μm的厚度的铜制造的薄型部件的情况下，在使用按照上述一例的条件混合的蚀刻溶液的情况下，可以选用约3分钟的蚀刻时间。
[0037]另外，例如在由铁制造或不锈钢制造金属加工部件的情况下，在步骤S4中使用的蚀刻溶液，可以使用在离子交换水中混合氯化铁和盐酸和根据需要的少量的添加剂而成的蚀刻溶液，作为一例，在离子交换水中能够分别混合与47波美的氯化铁(原液)相比为15重量％～25重量％(例如20重量％)的35％盐酸、和1～2重量％的少量的添加剂。
[0038]另外，例如，在由铝制造金属加工部件的情况本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种金属加工部件，其中，在表面与侧面的角部以及在背面与侧面的角部的位置，具有没有加工痕迹的斜面。2.如权利要求1所述的金属加工部件，其中，所述侧面以及所述斜面的表面粗糙度，不同于所述表面以及所述背面的表面粗糙度。3.如权利要求1所述的金属加工部件，其中，所述侧面的截面呈凸状。4.一种部件搭载模块，其具有如权利要求1所述的金属加工部件。5.一种金属加工部件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥史典，松原卓笵，
申请(专利权)人：联合精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：