一种NO制造技术

本发明专利技术公开了一种NOx传感器芯片性能分析方法和系统，包括：将传感器芯片置于空气气氛下，通过循环伏安测试分别对芯片三个工作回路进行电极活化。将传感器芯片置于空气气氛下，并在公共电极和第一工作电极间开展循环伏安测试，确定主泵工作电压E0；在公共电极和第二工作电极间开展循环伏安测试，确定辅泵工作电压E1；在公共电极和测试电极间开展循环伏安测试，确定测试电压E2。将芯片置于NOx环境下，在第一工作回路施加主泵工作电压E0，形成主泵工作电流Ip0；在第二工作回路施加辅泵工作电压E1，形成辅泵工作电流Ip1；在测试回路施加主泵工作电压E2，形成测试电流Ip2。所述三个回路形成的有效电流信号均可满足传感器芯片的设计要求时判定芯片合格。要求时判定芯片合格。要求时判定芯片合格。

【技术实现步骤摘要】
一种NOx传感器芯片性能分析方法和系统


[0001]本专利技术涉及一种NOx传感器芯片性能分析方法和系统，属于气体传感器


技术介绍

[0002]随着国家第六阶段机动车污染物排放标准的公布，人们环保意识的不断提高，汽车尾气有害成分的排放越来越严苛。车用NOx传感器作为尾气中NOx的检测手段，可及时、有效的对高温尾气实施监控。传感器芯片作为NOx性能检测的核心元件，其性能直接决定了传感器的检测能力。传感器芯片工作时，由三个工作回路组成，每个工作回路均形成包括工作电极、对电极、参比电极在内的三电极工作体系。芯片工作时，传感器按照第一回路、第二回路、测试回路的顺序进行NOx的检测。然而，由于结构、工艺水平等的限制，车用NOx气体传感器目前被国外厂商垄断，传感器电学性能缺少测定评价方法和流程，为满足传感器性能评价及分析需求，需要建立合理的检测方法和流程，指导传感器研究工作。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种NOx传感器芯片性能分析方法，该方法能够使传感器芯片快速进入最佳工作状态，并且可以针对不同芯片确定不同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种NOx传感器芯片性能分析方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将传感器芯片置于空气气氛中，该空气气氛中NOx含量为0；在公共电极和第一工作电极间进行循环伏安测试，回路形成V
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i0曲线，测得饱和电流i0对应电压值E0作为主泵工作电压；在公共电极和第二工作电极间进行循环伏安测试，回路形成V
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il曲线，测得饱和电流i1对应电压E1作为辅泵工作电压；在公共电极和测试电极间进行循环伏安测试，回路形成V
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i2曲线，测得饱和电流i2对应电压E2作为测试电压；(2)将传感器芯片置于空气气氛中工作，在公共电极和第一工作电极、第二工作电极、测试电极间分别施加主泵工作电压E0、辅泵工作电压E1、测试电压E2，测定主泵工作电流Ip0、辅泵工作电流Ip1、测试电流Ip2；(3)将传感器芯片置于NOx气氛中工作，该NOx气氛中氧含量为0，NO含量为1000ppm；在公共电极和第一工作电极、第二工作电极、测试电极间分别施加主泵工作电压E0、辅泵工作电压E1、测试电压E2，测定主泵工作电流Ip0、辅泵工作电流Ip1、测试电流Ip2；(4)所述主泵工作电压E0、辅泵工作电压E1、测试电压E2，主泵工作电流Ip0、辅泵工作电流Ip1、测试电流Ip2同时满足芯片设计要求时判定芯片合格，否则判定不合格。2.根据权利要求1所述NOx传感器芯片性能分析方法，其特征在于，在所述步骤(1)中，首先将所述传感器芯片置于空气气氛中，分别对三个回路开展0.5小时的循环伏安活化测试，活化后开展主泵工作电压E0、辅泵工作电压E1、测试电压E2的测定。3.根据权利要求2所述NOx传感器芯片性能分析方法，其特征在于，在所述步骤(1)中，所述传感器芯片置于空气气氛中，高温加热芯片，加热至温度为650～850℃。4.根据权利要求1所述NOx传...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓，崔建东，刘晓鹏，杨志民，
申请(专利权)人：有研科技集团有限公司，
类型：发明
国别省市：