翘曲片吸附激光加工台制造技术

本实用新型专利技术涉及翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台、加工吸附平台、振镜和视觉系统；加工吸附平台包括吸盘底座，吸盘底座上安装有吸附板，吸盘底座的中心槽内安装有中间升降组件，中间升降组件包括升降底板，丝杆电机顶部的驱动端与上方的吸附托板驱动连接设置，吸附托板上安装有若干个防静电吸盘。本实用新型专利技术采用密封圈与产品底部形成封闭空间，即使翘曲变形的产品也可以形成封闭空间，就可以把产品吸附固定住；本实用新型专利技术可以提高加工效率，保证产品外观。产品外观。产品外观。

【技术实现步骤摘要】
翘曲片吸附激光加工台


[0001]本技术涉及半导体芯片加工相关
，尤其涉及翘曲片吸附激光加工台。

技术介绍

[0002]半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化；芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片边缘废料切除是其中一个环节。
[0003]目前硅片加工方式有两种：一种是人工用刀片切割；另一种是用激光加工。
[0004]人工用刀片切割效率低，外观差，外观也不可控；
[0005]用激光加工效率高，外观一致且美观；激光是要用焦点能量来加工产品的，这对被加工的产品平面度要求高，而硅片的翘曲有3
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5毫米，常规台面与产品之间的间隙太大，无法形成真空，所以根本无法吸附，也无法加工，本技术就是要解决翘曲片的吸附问题。
[0006]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设翘曲片吸附激光加工台，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0007]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种翘曲片吸附激光加工台。
[0008]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0009]翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台、加工吸附平台、振镜和视觉系统，XY加工平台上设置有加工吸附平台，加工吸附平台的一侧上方设置有振镜和视觉系统；加工吸附平台包括吸盘底座，吸盘底座上安装有吸附板，吸附板的中心槽内安装有内固定环，吸盘底座的一侧设置有气管接头，吸盘底座的中心槽内安装有中间升降组件，中间升降组件包括升降底板，升降底板上的底部中间位置通过电机固定板安装有丝杆电机，丝杆电机顶部的驱动端与上方的吸附托板驱动连接设置，吸附托板上安装有若干个防静电吸盘，防静电吸盘的底部连接有接头。
[0010]作为本技术的进一步改进，吸附板外圈的第一固定槽内安装有外密封圈，外密封圈内设置有外尼龙线；内固定环外圈吸附板的第二固定槽内安装有内密封圈，内密封圈内设置有内尼龙线。
[0011]作为本技术的进一步改进，外密封圈和内密封圈均凸出于吸附板设置。
[0012]作为本技术的进一步改进，外尼龙线穿过空心的外密封圈，再一起放入吸附板外圈的第一固定槽内，首尾对接，外尼龙线落到槽底，侧面用顶丝顶住外尼龙线；内尼龙线穿过空心的内密封圈，再一起放入内固定环外圈的第二固定槽内，首尾对接，内尼龙线落到槽底，侧面用顶丝顶住内尼龙线。
[0013]作为本技术的进一步改进，第一固定槽和第二固定槽均为底部窄顶部宽的阶梯槽体结构设置。
[0014]作为本技术的进一步改进，升降底板和吸附托板之间还设置有若干个导向轴，导向轴的顶部通过导向轴固定座安装在吸附托板的底部外侧，导向轴通过直线轴承与升降底板相连接，导向轴穿过升降底板后的底部设置有限位片。
[0015]作为本技术的进一步改进，吸附托板的底部还设置有感应片，感应片正下方的升降底板上设置有感应器。
[0016]作为本技术的进一步改进，吸附板外侧上安装有环形光源。
[0017]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0018]本技术采用密封圈与产品底部形成封闭空间，即使翘曲变形的产品也可以形成封闭空间，就可以把产品吸附固定住；本技术可以提高加工效率，保证产品外观。
[0019]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本技术翘曲片吸附激光加工台的结构示意图；
[0022]图2是图1中加工吸附平台的结构示意图；
[0023]图3是图2的内部结构示意图；
[0024]图4是图3中I处的局部放大的结构示意图；
[0025]图5是图3中II处的局部放大的结构示意图；
[0026]图6是图2中中间升降组件的结构示意图。
[0027]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0028]A XY加工平台
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B加工吸附平台
[0029]C振镜
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D视觉系统
[0030]1吸盘底座
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2吸附板
[0031]3内固定环
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4气管接头
[0032]5环形光源
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6外密封圈
[0033]7外尼龙线
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8中间升降组件
[0034]9内密封圈
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10内尼龙线
[0035]11产品
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801升降底板
[0036]802丝杆电机
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803导向轴
[0037]804限位片
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805导向轴固定座
[0038]806直线轴承
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807接头
[0039]808感应片
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809感应器
[0040]810吸附托板
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811防静电吸盘
[0041]812电机固定板
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0043]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0044]实施例
[0045]如图1～图6所示，
[0046]翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台A、加工吸附平台B、振镜C 和视觉系统D，XY加工平台A上设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，包括XY加工平台(A)、加工吸附平台(B)、振镜(C)和视觉系统(D)，所述XY加工平台(A)上设置有加工吸附平台(B)，所述加工吸附平台(B)的一侧上方设置有振镜(C)和视觉系统(D)；所述加工吸附平台(B)包括吸盘底座(1)，所述吸盘底座(1)上安装有吸附板(2)，所述吸附板(2)的中心槽内安装有内固定环(3)，所述吸盘底座(1)的一侧设置有气管接头(4)，所述吸盘底座(1)的中心槽内安装有中间升降组件(8)，所述中间升降组件(8)包括升降底板(801)，所述升降底板(801)上的底部中间位置通过电机固定板(812)安装有丝杆电机(802)，所述丝杆电机(802)顶部的驱动端与上方的吸附托板(810)驱动连接设置，所述吸附托板(810)上安装有若干个防静电吸盘(811)，所述防静电吸盘(811)的底部连接有接头(807)。2.如权利要求1所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述吸附板(2)外圈的第一固定槽内安装有外密封圈(6)，所述外密封圈(6)内设置有外尼龙线(7)；所述内固定环(3)外圈吸附板(2)的第二固定槽内安装有内密封圈(9)，所述内密封圈(9)内设置有内尼龙线(10)。3.如权利要求2所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述外密封圈(6)和内密封圈(9)均凸出于吸附板(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，高峰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：