【技术实现步骤摘要】
一种用于PECVD炉口进气装置
[0001]本技术涉及太阳能电池生产领域，特别是涉及太阳能电池镀膜领域。
技术介绍
[0002]PECVD技术是在低压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。
[0003]在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。
[0004]PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。
[0005]真空和压力控制系统包括机械泵、分子泵...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于PECVD炉口进气装置，其特征在于：包括容器和散气环（10），容器上壳体（1）和容器下壳体（2）密封连接在一起构成容器，容器上壳体（1）顶部有多个单一气体进气口（3），容器下壳体（2）与容器上壳体（1）连接的口部有内沿（4），内沿（4）上安装有混气层（5），容器下壳体（2）底部通过立柱安装混和气球（6），混和气球（6）通过管道连接混合气出口；散气环（10）为一个内部中空的圆环，散气环（10）安装在PECVD炉口部（11）内侧，散气环（10）内侧有多个小孔，散气环（10）的外壁有连接内外的带内螺纹的第一通孔，PECVD炉口部（11）对应散气环（10）的第一通孔处有第二通孔，第一通孔和第二通孔通过螺纹连接安装混合气进气装置（12），进气装置（12）通过管道连接混合气出口。2.根据权利要求1所述的一种用于PECVD炉口进气装置，其特征在于：混和气球（6）内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵科巍，张云鹏，鲁贵林，吕爱武，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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