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一种磨盘生产用的固定装置制造方法及图纸

技术编号:33403258 阅读:13 留言:0更新日期:2022-05-11 23:25
本实用新型专利技术公开了一种磨盘生产用的固定装置,涉及磨盘生产领域。该磨盘生产用的固定装置,包括底板,底板的上表面固定连接有支撑架,支撑架的顶部固定连接有横架,横架的上方设置有第二转盘,第二转盘的上方设置有套筒,套筒的顶部与固定台固定连接,支撑块上开设有通孔,通孔的内部固定连接有轴承,轴承与丝杆转动连接。该磨盘生产用的固定装置,通过设置第一电机、第一转盘、传动带和第二转盘,可以使固定的台在固定磨盘之后能够转动加工,通过设置弹簧、卡槽和卡块,可以根据需要来调整松紧度,通过设置第二电机、丝杠、套筒,可以提升或者降低固定台,不需要再讲磨盘取下来操作,解决了磨盘生产过程中定位不便,移动加工不便的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种磨盘生产用的固定装置


[0001]本技术涉及磨盘生产
,具体为一种磨盘生产用的固定装置。

技术介绍

[0002]磨盘,也称为磨片,是旋转工作的摩擦元件,是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低,热膨胀系数大。在加工硅片过程中,特别是高速研磨或抛光时,由于研磨盘的磨损和热变形,使硅片的平面度和平行度难以保证。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小,且热膨胀系数与硅片基本相同因而可以高速研磨、抛光。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大,对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盘的使用将使硅片研磨的质量和效率有很大的提高。同时碳化硅陶瓷研磨盘还可用于研磨、抛光其它材料的片状或块状物体的平面。
[0003]在磨盘的生产制作过程中,需要将磨盘进行固定,然后在对其进行加工,现有的磨盘固定装置对于磨盘在生产的时候移动转向等动作调节不够方便,影响制作效率和精确度,因此对于这些情况,提出一种新型的磨盘生产用的固定装置。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供了一种磨盘生产用的固定装置,解决了磨盘生产过程中定位不便,移动加工不便的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种磨盘生产用的固定装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部固定连接有横架,所述横架的上方设置有第二转盘,所述第二转盘的上方设置有套筒,所述套筒的顶部与固定台固定连接。
[0008]进一步的,所述支撑架有两个,一个所述支撑架的一侧面固定连接有第一电机,所述第一电机的转子固定连接有第一转轴,所述第一转轴与第一转盘固定连接,所述横架的上表面转动连接有转动台,所述转动台的上表面固定连接有第二转盘,所述第二转盘通过传动带与第一转盘传动连接。
[0009]进一步的,所述第二转盘的上表面固定连接有支撑块,所述支撑块上开设有通孔,所述通孔的内部固定连接有轴承,所述轴承与丝杆转动连接。
[0010]进一步的,所述支撑架的外侧固定连接有第二电机,所述第二电机的转子与第二转轴的一端固定连接,所述第二转轴的另一端固定连接有第一齿轮,所述丝杠的底部固定连接有第二齿轮,所述第一齿轮和第二齿轮啮合,所述丝杠套接有套筒,所述套筒的内部开设有内螺纹,所述内螺纹与丝杆螺纹连接。
[0011]进一步的,所述第二转盘的上表面固定连接有限位架,所述限位架上开设有限位
孔,所述限位孔与套筒滑动连接,所述套筒的顶部固定连接有固定台,所述第二转盘的上表面固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的顶部与固定台的下表面固定连接,所述固定台上开设有限位槽,所述限位槽与卡块卡接,所述卡块与弹簧的一端固定连接,所述弹簧的另一端与固定台的下表面固定连接。
[0012]进一步的,所述通孔完全贯穿横架、第二转盘、转动台和支撑块。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术提供了一种磨盘生产用的固定装置。具备以下有益效果:
[0015]1、该磨盘生产用的固定装置,通过设置第一电机、第一转盘、传动带和第二转盘,可以使固定的台在固定磨盘之后能够转动加工,通过设置弹簧、卡槽和卡块,可以根据需要来调整卡位的松紧度。
[0016]2、该磨盘生产用的固定装置,通过设置第二电机、丝杠、套筒,可以提升或者降低固定台,不需要再讲磨盘取下来操作,防止来回取放磨盘造成制造精度降低。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图;
[0018]图2为本技术的抬升机构侧视结构示意图;
[0019]图3为本技术的抬升机构剖视结构示意图。
[0020]图中:1、底板;2、第一电机;3、第一转轴;4、第一转盘;5、第二转盘;6、传动带;7、转动台;8、横架;9、轴承;10、支撑块;11、丝杠;12、套筒;13、内螺纹;14、限位架;15、限位孔;16、伸缩杆;17、支撑架;18、第二电机;19、第二转轴;20、第一齿轮;21、第二齿轮;22、固定台;23、限位槽;24、卡块;25、弹簧;26、通孔。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]本技术实施例提供一种磨盘生产用的固定装置,如图1

3所示,包括底板1,底板1的上表面固定连接有支撑架17,支撑架17的顶部固定连接有横架8,横架8的上方设置有第二转盘5,第二转盘5的上方设置有套筒12,套筒12的顶部与固定台22固定连接,支撑架17有两个,一个支撑架17的一侧面固定连接有第一电机2,第一电机2的转子固定连接有第一转轴3,第一转轴3与第一转盘4固定连接,横架8的上表面转动连接有转动台7,转动台7的上表面固定连接有第二转盘5,第二转盘5通过传动带6与第一转盘4传动连接,在需要转动加工的时候启动第一电机2,第一电机2带动第一转轴3,第一转轴3带动第一转盘4,第一转盘4
带动传动带6,传动带6带动第二转盘5,第二转盘5带动伸缩杆16,伸缩杆16带动固定台22。
[0024]第二转盘5的上表面固定连接有支撑块10,支撑块10上开设有通孔26,通孔26的内部固定连接有轴承9,轴承9与丝杆11转动连接,支撑架17的外侧固定连接有第二电机18,第二电机18的转子与第二转轴19的一端固定连接,第二转轴19的另一端固定连接有第一齿轮20,丝杠11的底部固定连接有第二齿轮21,第一齿轮20和第二齿轮21啮合,丝杠11套接有套筒12,套筒12的内部开设有内螺纹13,内螺纹13与丝杆11螺纹连接,通孔26完全贯穿横架8、第二转盘5、转动台7和支撑块10,需要升降的时候启动第二电机18,第二电机18带动第二转轴19,第二转轴19带动第一齿轮20,第一齿轮20带动第二齿轮21,第二齿轮21带动丝杆11转动,丝杠11转动带动套筒12上升或者下降,套筒12带动固定台22。
[0025]第二转盘5的上表面固定连接有限位架14,限位架14上开设有限位孔15,限位孔15与套筒12滑动连接,套筒12的顶部固定连接有固定台22,第二转盘5的上表面固定连接有伸缩杆1本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨盘生产用的固定装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上表面固定连接有支撑架(17),所述支撑架(17)的顶部固定连接有横架(8),所述横架(8)的上方设置有第二转盘(5),所述第二转盘(5)的上方设置有套筒(12),所述套筒(12)的顶部与固定台(22)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种磨盘生产用的固定装置,其特征在于:所述支撑架(17)有两个,一个所述支撑架(17)的一侧面固定连接有第一电机(2),所述第一电机(2)的转子固定连接有第一转轴(3),所述第一转轴(3)与第一转盘(4)固定连接,所述横架(8)的上表面转动连接有转动台(7),所述转动台(7)的上表面固定连接有第二转盘(5),所述第二转盘(5)通过传动带(6)与第一转盘(4)传动连接。3.根据权利要求2所述的一种磨盘生产用的固定装置,其特征在于:所述第二转盘(5)的上表面固定连接有支撑块(10),所述支撑块(10)上开设有通孔(26),所述通孔(26)的内部固定连接有轴承(9),所述轴承(9)与丝杠(11)转动连接。4.根据权利要求3所述的一种磨盘生产用的固定装置,其特征在于:所述支撑架(17)的外侧固定连接有第二电机(18),...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆镇伟
申请(专利权)人:陆镇伟
类型:新型
国别省市:

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