卧式双螺杆真空泵和真空气体净化装置制造方法及图纸

一种卧式双螺杆真空泵和真空气体净化装置，涉及真空设备技术领域。卧式双螺杆真空泵包括壳体和螺杆，螺杆设置于壳体内部，并安装于壳体相对的两个内壁面。螺杆为两个，两个螺杆啮合连接，且旋转方向相反。壳体上还开设有进气口和多个出气口，螺杆两侧端部形成排气口。通过两个螺杆啮合连接，使得两个螺杆呈并联状态，实现了螺杆泵具有特大抽速的构想。另外卧式双螺杆真空泵内的排气口设置于螺杆的两侧端部，不仅减小了轴向力，降低了轴承和齿轮的选择标准，而且真空泵内部对称设置，能够显著降低动平衡指标，此外，腔内两端可以使用相同结构，减少了零件种类。减少了零件种类。减少了零件种类。

【技术实现步骤摘要】
卧式双螺杆真空泵和真空气体净化装置


[0001]本技术涉及真空设备
，具体而言，涉及一种卧式双螺杆真空泵和真空气体净化装置。

技术介绍

[0002]真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，被广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，常见的真空泵主要有干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵和扩散泵等，常见的干式真空泵主要有螺杆泵、罗茨泵、多级罗茨泵、多级爪型泵、涡旋泵等。
[0003]针对干式螺杆真空泵，主要有立式和卧式两种，由于立式螺杆真空泵大多使用悬臂结构，因此对动平衡要求较高。而现有的卧式螺杆真空泵中由于变螺距螺杆转子的动平衡性能较差，很难实现设计的自平衡，且传统的抽排气方式，抽速难以提升。
[0004]鉴于此，特提出本技术。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种卧式双螺杆真空泵和真空气体净化装置，其能够增大抽速，降低动平衡指标。
[0006]本技术的实施例是这样实现的：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式双螺杆真空泵，其特征在于，包括壳体和螺杆，所述螺杆设置于所述壳体内部，所述螺杆的两端安装于所述壳体相对的两个内壁面；所述螺杆为两个，两个所述螺杆的结构完全相同，并通过啮合连接，且旋转方向相反；所述壳体对应于所述螺杆径向方向的表面设置有相对的进气口和多个出气口，两个所述螺杆与所述进气口之间形成进气腔，两个所述螺杆与所述出气口之间形成出气腔，两个所述螺杆的两侧端部均形成有用于与出气腔连通的排气口。2.根据权利要求1所述的卧式双螺杆真空泵，其特征在于，所述出气口包括净化出口、稀释气口和总出气口；所述净化出口与外部净化装置进口通过净化管道连接，所述稀释气口与所述外部净化装置出口通过稀释管道连接，所述总出气口与外界连通，用于排出被净化、稀释后的气体。3.根据权利要求2所述的卧式双螺杆真空泵，其特征在于，所述出气口为3个，分别为净化出口、稀释气口和总出气口。4.根据权利要求3所述的卧式双螺杆真空泵，其特征在于，3个所述出气口均匀间隔分布。5.根据权利要求1所述的卧...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文武，周游龙，周贤忠，王远，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：