一种高浓臭氧发生器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高浓臭氧发生器，涉及半导体处理技术领域，包括壳罩，壳罩的顶端安装有提手，且壳罩的内部连接有高压整流器，高压整流器的底部安装有底部水冷板，且底部水冷板的底端连接有托板，高压整流器的内侧安装有变压器，且变压器的另一侧连接有放电板。本实用新型专利技术中，通过在壳罩的内部进行集成式的水冷和风冷的结构，从而达到了降低放电板工作温度的效果，并且减小了臭氧发生器的体积，提高臭氧发生器的冷却效率，更高的冷却效率意味着放电板更低的工作温度，而臭氧发生器工作温度的降低直接提升了臭氧浓度指标和臭氧产量指标，实现了臭氧发生器的高浓度，并且散热风扇吹动的冷却风流经高压整流器表面和变压器表面。面。面。

【技术实现步骤摘要】
一种高浓臭氧发生器


[0001]本技术涉及半导体处理
，尤其涉及一种高浓臭氧发生器。

技术介绍

[0002]臭氧是当前可获得除氢氟酸外氧化电位最高的光谱高效强氧化物质，由于臭氧具有现场可制备，无需存储，生产过程无污染，后处理仅为氧气，没有任何有毒残留，不形成二次污染，节约化学试剂成本等诸多优点，当前伴随着半导体行业，光伏行业的发展，臭氧在硅基片处理工艺过程中的应用越来越广泛，半导体和光伏行业持续的对臭氧生产设备在臭氧产量，臭氧浓度，设备运行稳定性等方面提出更高的要求，传统臭氧设备需要不断进行技术升级以满足新的需求。
[0003]现有的臭氧发生器，通常针对放电单元采用水冷方式，对高压整流器与变压器等采用风冷方式，各个单元空间上独立分开，造成臭氧发生器体积偏大，不适宜半导体和光伏行业的应用需求，同时传统臭氧生产设备在设备运行稳定性，设备维修保养方面难以满足长时间稳定运行，不停机维护保养的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的臭氧发生器，通常针对放电单元采用水冷方式，对高压整流器与变压器等采用风冷方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高浓臭氧发生器，包括壳罩(1)，其特征在于：所述壳罩(1)的顶端安装有提手(2)，且壳罩(1)的内部连接有高压整流器(3)，所述高压整流器(3)的底部安装有底部水冷板(4)，且底部水冷板(4)的底端连接有托板(5)；所述高压整流器(3)的内侧安装有变压器(6)，且变压器(6)的另一侧连接有放电板(7)，所述放电板(7)的顶端安装有散热风扇(8)；所述壳罩(1)与托板(5)之间通过固定螺钉(9)相连接；所述放电板(7)的外侧连接有侧部水冷板(10)，所述壳罩(1)的内壁嵌合安装有固定磁板(11)，且固定磁板(11)的另一侧磁性连接有磁性片(12)，并且磁性片(12)在散热风扇(8)的外壁啮合连接。2.根据权利要求1的一种高浓臭氧发生器，其特征在于：所述侧部水冷板(10)关于放电板(7)的中轴线对称设置有两组，且放电板(7)的中轴线与底部水冷板(4)的中轴线相重合。3.根据权利要求1的一种高浓臭氧发生器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王士彬，
申请(专利权)人：上海诚纯新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：