弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在谋求小型化的同时还能够提高Q值且能够增大电容的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自的至少一部分埋入到压电体层(4)。埋入到压电体层(4)。埋入到压电体层(4)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术一般地涉及弹性波装置，更详细地涉及具备压电体层的弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，已知有利用了在包含LiNbO3或LiTaO3的压电膜传播的板波的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中公开了利用了作为板波的兰姆波(Lamb wave)的弹性波装置。在此，在包含LiNbO3或LiTaO3的压电基板的上表面设置有IDT电极。在IDT电极的多个第1电极指与多个第2电极指之间施加电压。由此，可激励兰姆波。在该IDT电极的两侧各设置有一个反射器。由此，构成利用了板波的弹性波谐振器。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
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257019号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在专利文献1记载的弹性波装置中，为了谋求小型化，可考虑减少第1电极指以及第2电极指的根数。然而，若减少第1电极指以及第2电极指的根数，则Q值会变低。此外，在专利文献1记载的弹性波装置中，在为了谋求小型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：压电体层；和第1电极以及第2电极，在与所述压电体层的厚度方向交叉的方向上对置，所述弹性波装置利用厚度剪切一阶模的体波，其中，所述压电体层的材料是铌酸锂或钽酸锂，所述第1电极以及所述第2电极各自的至少一部分埋入到所述压电体层。2.一种弹性波装置，具备：压电体层；和第1电极以及第2电极，在与所述压电体层的厚度方向交叉的方向上对置，所述第1电极以及所述第2电极是彼此相邻的电极，在沿着所述压电体层的厚度方向的任意的剖面中，将所述第1电极和所述第2电极的中心线间距离设为p，将所述压电体层的厚度设为d，此时，d/p为0.5以下，其中，所述压电体层的材料是铌酸锂或钽酸锂，所述第1电极以及所述第2电极各自的至少一部分埋入到所述压电体层。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备：支承基板，具有相互对置的第1主面以及第2主面；和声反射层，设置在所述支承基板的所述第1主面上，所述压电体层设置在所述声反射层上，所述声反射层具有：至少一个高声阻抗层；和至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低。4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备：支承基板，具有相互对置的第1主面以及第2主面，所述压电体层设置在所述支承基板上，所述弹性波装置还具有空腔，所述空腔在从所述压电体层的厚度方向的俯视下与弹性波谐振器重叠，所述弹性波谐振器包含所述第1电极以及所述第2电极和所述压电体层之中处于所述第1电极与所述第2电极之间的部分，所述空腔相对于所述压电体层设置在所述支承基板侧。5.一种弹性波装置，具备：压电体层；和第1电极以及第2电极，在与所述压电体层的厚度方向交叉的方向上对置，所述弹性波装置利用厚度剪切一阶模的体波，其中，所述弹性波装置还具备声反射层，
所述压电体层的材料是铌酸锂或钽酸锂，所述压电体层设置在所述声反射层上，所述第1电极以及所述第2电极各自的至少一部分埋入到所述声反射层，且与所述压电体层相接。6.一种弹性波装置，具备：压电体层；和第1电极以及第2电极，在与所述压电体层的厚度方向交叉的方向上对置，在沿着所述压电体层的厚度方向的任意的剖面中，将所述第1电极和所述第2电极的中心线间距离设为p，将所述压电体层的厚度设为d，此时，d/p为0.5以下，其中，所述弹性波装置还具备声反射层，所述压电体层的材料是铌酸锂或钽酸锂，所述压电体层设置在所述声反射层上，所述第1电极以及所述第2电极各自的至少一部分埋入到所述声反射层，且与所述压电体层相接。7.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，山根毅，永友翔，岩本英树，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：