半导体设计自动化系统和包括其的计算系统技术方案

一种半导体设计自动化系统包括：仿真器，其被配置为生成仿真数据；恢复模块，其被配置为校正仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据；硬件数据模块，其被配置为生成真实数据；预处理模块，其被配置为对真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据；数据库，其被配置为存储恢复仿真数据和预处理的真实数据；第一图形用户界面，其包括自动仿真生成器，该自动仿真生成器被配置为生成恢复仿真数据和预处理的真实数据的机器学习模型并从机器学习模型生成预测的真实数据；以及第二图形用户界面，其包括可视化单元，该可视化单元被配置为从机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。

【技术实现步骤摘要】
半导体设计自动化系统和包括其的计算系统


[0001]本公开涉及一种半导体设计自动化系统和包括其的计算系统。

技术介绍

[0002]随着半导体的高度集成和小型化取得进展，设计和制造半导体装置的每个步骤中的因素可能以复杂的方式相互作用，这可能导致半导体装置的各种非预期的电特性。为了克服半导体工艺和装置的限制、理解现象并降低实验成本，对基于物理仿真的技术计算机辅助设计(TCAD)工艺
‑
装置仿真环境的需求不断增加。此外，为了提供半导体装置的精确产品规格，可能有必要对半导体装置的特性进行预测和仿真。

技术实现思路

[0003]本公开的各方面提供了一种半导体设计自动化系统，其用于通过基于自动地加载仿真数据和真实数据的数据库执行机器学习，在生成半导体工艺模型和半导体工艺预测模型时改进可靠性和速度。
[0004]本公开的各方面还提供一种包括半导体设计自动化系统的计算系统，其用于通过基于自动地加载仿真数据和真实数据的数据库执行机器学习，在生成半导体工艺模型和半导体工艺预测模型时改进可靠性和速度。
[0005]本公开的各方面还提供一种半导体设计自动化方法，其用于通过基于自动地加载仿真数据和真实数据的数据库执行机器学习，在生成半导体工艺模型和半导体工艺预测模型时改进可靠性和速度。
[0006]根据本公开的一方面，提供了一种半导体设计自动化系统，包括：仿真器，其被配置为生成仿真数据；恢复模块，其被配置为校正仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据；硬件数据模块，其被配置为生成真实数据；预处理模块，其被配置为对真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据；数据库，其被配置为存储恢复仿真数据和预处理的真实数据；第一图形用户界面，其包括自动仿真生成器，该自动仿真生成器被配置为生成恢复仿真数据和预处理的真实数据的机器学习模型并从机器学习模型生成预测的真实数据；以及第二图形用户界面，其包括可视化单元，该可视化单元被配置为从机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。
[0007]根据本公开的一方面，提供了一种半导体设计自动化系统，包括：自动化模块，其包括被配置为生成仿真数据的仿真器、被配置为校正仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据的恢复模块、被配置为生成真实数据的硬件数据模块以及被配置为对真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据的预处理模块；数据库，其被配置为存储恢复仿真数据和预处理的真实数据；调节维持模块，其包括第一图形用户界面，该第一图形用户界面包括自动仿真生成器，该自动仿真生成器被配置为生成恢复仿真数据和预处理的真实数据的机器学习模型并从机器学习模型生成预测的真实数据；以及虚拟化可视化模块，其包括第二图形用户界面，该第二图形用户界面被配置为从机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。
[0008]根据本公开的一方面，提供了一种计算系统，包括：输入/输出装置；处理器，其被配置为通过总线来控制输入/输出装置；以及存储器，其包括被配置为存储半导体设计自动化仿真程序的非暂时性计算机可读存储介质，该半导体设计自动化仿真程序被配置为由处理器执行，其中，该半导体设计自动化仿真程序包括：仿真器，其被配置为生成仿真数据；恢复模块，其被配置为校正仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据；硬件数据模块，其被配置为生成真实数据；预处理模块，其被配置为对真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据；数据库，其被配置为存储恢复仿真数据和预处理的真实数据；第一图形用户界面，其包括自动仿真生成器，该自动仿真生成器被配置为生成恢复仿真数据和预处理的真实数据的机器学习模型并从机器学习模型生成预测的真实数据；以及第二图形用户界面，其被配置为从机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。
[0009]根据本公开的一方面，提供了一种半导体设计自动化方法，包括：经由仿真器生成仿真数据，并且经由恢复模块校正仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据；经由硬件数据模块生成真实数据，并且经由预处理模块预处理真实数据以生成预处理的真实数据；经由数据库存储恢复仿真数据和预处理的真实数据；经由包括自动仿真生成器的第一图形用户界面生成恢复仿真数据和预处理的真实数据的机器学习模型以从机器学习模型生成预测的真实数据；以及经由第二图形用户界面从机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。
[0010]本公开的各方面不限于本文中阐述的那些。对于本公开所属领域的普通技术人员而言通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其它方面将变得更显而易见。
附图说明
[0011]通过参照附图详细描述其示例实施例，本公开的以上和其它方面和特征将变得更显而易见，在附图中：
[0012]图1和图2是示出根据一些实施例的半导体设计自动化系统的示例框图；
[0013]图3是示出根据一些实施例的恢复操作的示例流程图；
[0014]图4是示出根据一些实施例的由解析器存储的数据的类型的示例图；
[0015]图5是示出根据一些实施例的第一图形用户界面的示例框图；
[0016]图6是示出根据一些实施例的自动校准器的操作的示例流程图；
[0017]图7是示出根据一些实施例的第二图形用户界面的示例框图；
[0018]图8是示出根据一些实施例的可视化单元的示例框图；
[0019]图9和图10示出根据一些实施例的由可视化单元可视化的半导体装置的示例；
[0020]图11和图12是示出根据一些实施例的重用数据库的操作的示例流程图；
[0021]图13是示出根据一些实施例的可视化和虚拟化操作的示例流程图；
[0022]图14是示出根据一些实施例的包括半导体设计自动化系统的计算系统的示例框图。
具体实施方式
[0023]图1和图2是示出根据一些实施例的半导体设计自动化系统的示例框图。
[0024]参照图1和图2，根据一些实施例的半导体设计自动化系统10包括自动化模块100、数据库200(也称为技术数据库)、调节或一致性维持模块300和虚拟化可视化模块400，以用于输出给用户500。
[0025]由根据一些实施例的半导体设计自动化系统10自动设计的半导体装置可以是例如FinFET半导体装置、DRAM半导体装置、NAND半导体装置、VNAND半导体装置等。然而，这些仅是示例，半导体装置不限于此。
[0026]根据一些实施例的半导体设计自动化系统10可被实现为集成装置，因此也可被称为集成电路设计自动化设备。半导体设计自动化系统10可被提供作为用于设计半导体装置的集成电路的专用装置，和/或可以是用于驱动各种仿真工具或设计工具的计算机。半导体设计自动化系统10可以是诸如台式计算机、工作站、服务器等的固定计算系统，或者可以是诸如膝上型计算机等的便携式计算系统。
[0027]自动化模块100包括仿真器110、故障恢复模块120(本文中也称为恢复模块)、解析器130、硬件数据模块140、预处理模块150和数据加载器160。
[0028]仿真器110可执行半导体装置建模。半导体装置建模本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设计自动化系统，包括：仿真器，其被配置为生成仿真数据；恢复模块，其被配置为校正所述仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据；硬件数据模块，其被配置为生成真实数据；预处理模块，其被配置为对所述真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据；数据库，其被配置为存储所述恢复仿真数据和所述预处理的真实数据；第一图形用户界面，其包括自动仿真生成器，所述自动仿真生成器被配置为生成存储在所述数据库中的所述恢复仿真数据和所述预处理的真实数据的机器学习模型并从所述机器学习模型生成预测的真实数据；以及第二图形用户界面，其包括可视化单元，所述可视化单元被配置为从所述机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。2.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，还包括被配置为接收所述恢复仿真数据并执行所述恢复仿真数据的解析的解析器。3.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，其中，所述第一图形用户界面还包括自动校准器，所述自动校准器被配置为将所述恢复仿真数据与所述预处理的真实数据进行比较，并且响应于确定所述恢复仿真数据与所述预处理的真实数据之间的误差小于阈值，更新所述数据库中的所述恢复仿真数据。4.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，还包括数据加载器，所述数据加载器被配置为周期性地接收所述预处理的真实数据并将所述预处理的真实数据周期性地发送到所述数据库。5.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，其中，所述第一图形用户界面还包括自动验证块，所述自动验证块被配置为自动地执行窗口移位操作或重新采样操作，直至所述机器学习模型满足预定标准。6.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，还包括仿真平台，所述仿真平台被配置为存储所述预测的真实数据并将所述预测的真实数据提供给所述第二图形用户界面。7.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，其中，所述可视化单元还包括转换器，所述转换器被配置为将所述预测的真实数据的格式改变为可视化格式以将所述可视化的虚拟化工艺结果可视化。8.根据权利要求1所述的半导体设计自动化系统，其中，所述第二图形用户界面还包括被配置为基于所述预测的真实数据执行虚拟化工艺的虚拟处理单元，其中，响应于所述可视化的虚拟化工艺结果来制造半导体装置。9.一种半导体设计自动化系统，包括：自动化模块，其包括被配置为生成仿真数据的仿真器、被配置为校正所述仿真数据的采样错误以生成恢复仿真数据的恢复模块、被配置为生成真实数据的硬件数据模块以及被配置为对所述真实数据进行预处理以生成预处理的真实数据的预处理模块；数据库，其被配置为存储所述恢复仿真数据和所述预处理的真实数据；调节维持模块，其包括第一图形用户界面，其中，所述第一图形用户界面包括自动仿真生成器，所述自动仿真生成器被配置为生成存储在所述数据库中的所述恢复仿真数据和所述预处理的真实数据的机器学习模型，并从所述机器学习模型生成预测的真实数据；以及
虚拟化可视化模块，其包括第二图形用户界面，所述第二图形用户界面包括可视化单元，所述可视化单元被配置为从所述机器学习模型生成可视化的虚拟化工艺结果。10.根据权利要求9所述的半导体设计自动化系统，还包括被配置为接收所述恢复仿真数据并...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：