波长可选择激光系统技术方案

本申请公开了一种波长可选择激光系统，包括：主振荡器压缩头用于产生脉冲；主振荡器室用于基于主振荡器压缩头所产生的脉冲产生光束；激光波长控制模块用于对光束进行调控，产生波长可变的光束；功率放大器室用于对来自主振荡器室的光束施加增益；输出耦合器用于接收来自激光波长控制模块的光束；主振荡器波前工程箱用于将来自输出耦合器的光束射向功率放大器波前工程箱；光束反转器用于将来自功率放大器室的光束射向功率放大器波前工程箱；功率放大器波前工程箱用于将光束射向功率放大器室和光束反转器。本申请的系统通过激光波长控制模块调控激光的波长，得到所需要的激光波长，操作方便，能够维持激光波长在一定的散布范围内。范围内。范围内。

【技术实现步骤摘要】
波长可选择激光系统


[0001]本申请涉及半导体制造设备
，具体涉及一种波长可选择激光系统。

技术介绍

[0002]半导体制造设备中，光刻机上有使用激光作为光源的情况。激光最重要的项目是维持波长在一定的散布范围内。当波长变动时，可能无法得到想要的结果。如图1所示为现有技术的光刻机激光系统处理晶圆的流程图，其中，Y代表晶圆处理符合标准，N代表晶圆处理不符合标准。现有技术中，晶圆处理不符合标准时，只能通过光学邻近校正来修改版图设计。再者，进行工艺中或完成工艺后，变更波长需要一定时间，即使变更波长也可能无法准确得到想要的波长。

技术实现思路

[0003]本申请的目的是提供一种波长可选择激光系统。为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。
[0004]根据本申请实施例的一个方面，提供一种波长可选择激光系统，包括
[0005]主振荡器压缩头、主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波长可选择激光系统，其特征在于，包括主振荡器压缩头、主振荡器室、激光波长控制模块、功率放大器压缩头、功率放大器室、输出耦合器、主振荡器波前工程箱、光束反转器和功率放大器波前工程箱；所述主振荡器压缩头，用于产生脉冲并发送给所述主振荡器室；所述主振荡器室，用于基于所述主振荡器压缩头所产生的脉冲产生光束；所述激光波长控制模块，用于对来自所述主振荡器室的光束进行调控，产生波长可变的光束；所述功率放大器压缩头，用于产生脉冲并发送给所述功率放大器室；所述功率放大器室，用于基于所述功率放大器压缩头所产生的脉冲对来自所述主振荡器室的光束施加增益；所述输出耦合器，用于接收来自激光波长控制模块的光束并进行耦合；所述主振荡器波前工程箱用于将来自输出耦合器的光束射向所述功率放大器波前工程箱；所述光束反转器用于将来自所述功率放大器室的光束以预设的角度和发光位置射向所述功率放大器波前工程箱；所述功率放大器波前工程箱用于将来自所述主振荡器波前工程箱的光束射向所述功率放大器室和所述光束反转器。2.根据权利要求1所述的波长可选择激光系统，其特征在于，所述波长可选择激光系统还包括线路分析模块，所述线路分析模块用于分析由所述输出耦合器所输出的光束的波长、带宽和脉冲能量。3.根据权利要求1所述的波长可选择激光系统，其特征在于，所述波长可选择激光系统还包括带宽分析模块，所述带宽分析...

【专利技术属性】
技术研发人员：李其衡，贺晓彬，杨涛，刘强，丁明正，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：