奥氏体类不锈钢板制造技术

该奥氏体类不锈钢板的化学组成以质量％计而包含：C：0.030％以下，Si：1.0％以下，Mn：1.5％以下，Cr：15.0％以上20.0％以下，Ni：6.5％以上9.0％以下，N：0.030％以上0.150％以下，Nb、V、Ti中的任一种或它们中的2种以上的合计为0.030％以上0.300％以下，Mo：0％以上2.0％以下，Cu：0％以上1.5％以下，Co：0％以上1.0％以下，P：0.10％以下，S：0.010％以下，Al：0.10％以下，剩余部分由Fe以及杂质构成，平均结晶粒径为5.0μm以下，未再结晶率超过3％且为20％以下。为20％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】奥氏体类不锈钢板


[0001]本专利技术涉及奥氏体类不锈钢板。

技术介绍

[0002]金属掩膜是指在印制板基板上印刷糊状的焊料的版型，通常以0.10～0.25mm左右的厚度的不锈钢板为原材料而制作。
[0003]以往，金属掩膜多以对金属板进行化学性成形加工的、被称为光刻的手法进行制造。光刻是指，通过光致抗蚀剂法等对金属板的一部分进行掩膜后，通过喷洒、浸渍而使金属板与蚀刻液接触，将掩膜面以外的露出的金属板溶去而形成开口部的手法。此外，光刻时，有时也会使用通过对金属板的板进行部分性蚀刻的、被称为半蚀刻的技术，而制成具有与印制板基板的凹凸对应的段差的金属掩膜的手法。
[0004]另一方面，最近，随着印制板基板的高密度化，在制造金属掩膜时，越来越需要更为高精密的加工。为了满足这样的要求，使用激光加工作为金属掩膜的制法的情况正在增加。激光加工是通过向作为被加工材料的金属板照射激光进行部分性穿孔，或将板厚不同的金属板进行激光熔接而在金属掩膜内形成段差，而能够对应各种各样的形状。因此，通过适用激光加工，能够制作更为致密且复杂的结构的金属掩膜。
[0005]在用激光加工制造金属掩膜的情况下，对于作为其原材料的不锈钢板而言，除了以往作为金属掩膜而需要的原材料板的平坦性、能够承受重复的刮板的强度等之外，还需要激光加工部的平滑性、抑制激光熔融部以及热影响部的耐腐蚀性劣化。
[0006]例如专利文献1中提出了，适用于蚀刻加工的奥氏体类不锈钢。然而，该不锈钢由于在激光加工下会在熔融部、热影响部处析出Cr碳化物，因此存在原材料的耐腐蚀性显著劣化的问题。
[0007]此外，在专利文献2中，提出了通过对化学组成和制造工序条件进行调整，使平均结晶粒径为15μm以下，而确保了蚀刻端面的平滑性的光刻用不锈钢板。
[0008]如专利文献2所示，已知通过使结晶粒径变小，即使在进行激光切断的情况下，也能使其加工面平滑化。然而，近年，对金属掩膜进行加工时的细微程度、精密程度的要求变得比以往更高，以现有技术不能充分满足这些要求。
[0009]在专利文献3中提出了一种通过对化学组成和制造工序条件的调整，而兼备光刻、激光加工时的要求特性(原材料平坦，具有较高硬度，加工面也能平滑化)的奥氏体类不锈钢板。然而，在专利文献3的技术中，激光加工时的热影响部处会生成粗大的Cr碳化物，存在耐腐蚀性劣化、或硬度极端降低的情况。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1：日本专利第2754225号公报
[0013]专利文献2：日本专利第3562492号公报
[0014]专利文献3：日本专利第5939370号公报

技术实现思路

[0015]本专利技术所解决的技术问题
[0016]如上所述，近年，印制板基板的高密度化、复杂化急速进展，对于掩膜而言，需要更为高精细的加工，另一方面，现状是作为掩膜用原材料的不锈钢板的特性、性能无法满足该高精细加工。以往，如上所述，为了提高作为掩膜用原材料的不锈钢板的性能，而进行了各种各样的探讨，但是要确保作为原材料的不锈钢板的平坦性、强度；激光加工部的平滑性，并抑制激光加工后的热影响部等的耐腐蚀性的劣化是非常困难的。
[0017]此外，近年，除了上述的金属掩膜以外，在制造以不锈钢板为原材料的各种精密机器的复杂形状的构成部件时，使用激光加工作为其加工方法的情况也在增多。当然，对于这样的精密部件，对于激光加工部的平滑性也有极高的要求，需要作为原材料的不锈钢板的特性、性能的进一步提高。
[0018]此外，在制造所述金属掩膜或精密部件时，出于加工性的容易程度，使用光刻加工的情况还是很多。也就是说，现状是，根据制造的部件的复杂程度、精密程度而选择加工方法。因此，近年，需要无论用光刻加工和激光加工中的任一种进行加工，都能确保加工部的平滑性、耐腐蚀性的、高性能的不锈钢板。
[0019]此外，对于如上所述的精密机器中使用的钢板而言，从零件轻量化的观点出发，高强度化的需求也在提高。
[0020]本专利技术是鉴于前述的现状而提出的，本专利技术所解决的问题是提供一种强度(YS)较高；激光加工部的平滑性、熔融部以及热影响部的耐腐蚀性良好的奥氏体类不锈钢板。
[0021]解决技术问题的技术手段
[0022]如上所述，激光加工是对钢板表面照射激光，通过其热量将钢板溶解或接合的手法。此外正如以上也说明了的，对于蚀刻加工部、激光加工部的平滑性的提高而言，结晶粒的细微化是有效的。因此，也存在以该细微化为目的而对原材料钢板进行热处理的情况。
[0023]然而，存在由于激光照射或前述的热处理时的热，作为不锈钢的主要构成元素的Cr与C结合，在结晶晶界处生成Cr碳化物，由此在结晶晶界附近处形成铬缺乏层的情况。此时，熔融部、热影响部的耐腐蚀性显著劣化。本专利技术者经过探讨的结果，发现：通过严密地控制原材料中的C含量等化学成分而控制Cr碳化物的生成，能够提高激光加工后的熔融部、热影响部的耐腐蚀性。
[0024]并且，如果激光加工部的粗糙度变大(平滑性劣化)，则还存在作为金属掩膜的精度不充分、或接合部产生间隙的问题。本专利技术者们对蚀刻加工部、激光加工部的平滑性进行了探讨的结果，发现：除了原材料的不锈钢板的化学成分之外，通过对制造过程进行优化而使得原材料钢板为包含均匀的细微结晶粒的金属组织，能够确保加工部的平滑性。
[0025]此外，就强度而言，通过使结晶粒更细微，能够提高强度，但使结晶粒细微化到一定程度以上这一点在工业上从成本的观点出发存在困难的情况较多。本专利技术者们进行了探讨的结果，发现：通过提高未再结晶率，能够提高强度。
[0026]本专利技术者们基于所述构思，而对不锈钢板的化学组成、金属组织和加工部的特性进行了详细的研究。其结果，发现：通过下述构成能够达成本专利技术的目的，从而完成了本专利技术。
[0027]本专利技术的要旨如下。
[0028][1]本专利技术的一方式涉及的奥氏体类不锈钢板的化学组成以质量％计而包含：C：0.030％以下；Si：1.0％以下；Mn：1.5％以下；Cr：15.0％以上20.0％以下；Ni：6.5％以上9.0％以下；N：0.030％以上0.150％以下；Nb、V、Ti中的任一种或它们中的2种以上的合计为0.030％以上0.300％以下；Mo：0％以上2.0％以下；Cu：0％以上1.5％以下；Co：0％以上1.0％以下；Ca、Mg、Zr、Sn、Pb、W的合计：0％以上0.10％以下；P：0.10％以下；S：0.010％以下；Al：0.10％以下，剩余部分由Fe以及杂质构成，平均结晶粒径为5.0μm以下，未再结晶率超过3％且为20％以下。
[0029][2]所述[1]所述的奥氏体类不锈钢板，其中，所述化学组成中，以质量％计可以含有以下元素中的1种或2种以上：Cu：0.1～1.5％；Mo：0.1～2.0％；Co：0.1～1.0％。
[0030]专利技术的效果
[0031]根据本专利技术的所述方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种奥氏体类不锈钢板，其中，化学组成以质量％计而包含：C：0.030％以下；Si：1.0％以下；Mn：1.5％以下；Cr：15.0％以上20.0％以下；Ni：6.5％以上9.0％以下；N：0.030％以上0.150％以下；Nb、V、Ti中的任一种或它们中的2种以上的合计为0.030％以上0.300％以下；Mo：0％以上2.0％以下；Cu：0％以上1.5％以下；Co：0％以上1.0％以下；Ca、Mg...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽田正美，神尾浩史，涩谷将行，菊池淳，
申请(专利权)人：日本制铁株式会社，
类型：发明
国别省市：