专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置，其包括采用石墨材料制成的装载主体和压盖，所述装载主体上设有用来放置氮化铝单晶模板的凹腔和设有至少一条使所述凹腔与外界空间相连通的通气结构。加设有通气结构，能保证退火操作时气流通畅，使得位于凹腔内的氮化铝单晶模板在退火过程中与外界环境中的氮气充分接触，并且增强退火过程中的受热均匀性，最终得到均匀性好且结晶质量优异的氮化铝单晶薄膜模板；同时在所述装载主体和盖体上涂敷有碳化硅涂层，在保证高热导率实现均匀热分布的基础上，防止石墨在高温状态下氧化，延长使用寿命，另外整体结构简单，易于实现，成本低，可以叠层堆积放置，节省空间，适用于规模化生产。于规模化生产。于规模化生产。

【技术实现步骤摘要】
专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置


[0001]本技术涉及氮化铝薄膜模板
，具体涉及一种专用于氮化铝单晶薄膜模板面对面退火的装置。

技术介绍

[0002]2019年，人们对杀菌的重视程度达到前所未有的高度，而与传统杀菌汞灯相比，更加安全与便携的杀菌手段更是体现出了前所未有的巨大需求。
[0003]AlGaN基UVC
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LED的诞生则为该领域指明了一条全新的发展方向，而且单色性好、发光效率高与便携轻便等一系列也为其彰显了巨大应用前景。尽管如此，AlGaN基LED的发光效率较传统的可见光蓝光LED依然具有较大的距离，其最重要的一个因素即为缺少质量优异的大尺寸氮化铝单晶衬底，进而导致外延结构部分位错缺陷密度过高。而氮化铝面对面退火技术的出现则为解决该瓶颈问题提出了全新的方案，虽然面对面退火技术已使得氮化铝晶体质量得到大幅提升能够满足UVC
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LED基本的需求，但由于高温面对面退火过程中依然会存在热分布不均匀等问题，因此设计合适的专用于氮化铝单晶模板面对面高温退火装置将对该领域，特别是大规模应用具有重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置，其特征在于：其包括采用石墨材料制成的装载主体和压盖，所述装载主体上设有用来放置氮化铝单晶模板的凹腔，所述压盖按压在位于所述凹腔内的氮化铝单晶模板上，所述装载主体上至少设有一条使所述凹腔与外界空间相连通的通气结构。2.根据权利要求1所述的专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置，其特征在于：所述通气结构由槽体或管体构成。3.根据权利要求1或2所述的专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置，其特征在于：多条所述通气结构呈圆心对称分布在所述凹腔的周缘位置，所述通气结构的一端与凹腔相连通，另一端延伸至所述装载主体的外侧壁并形成通气口。4.根据权利要求1所述的专用于氮化铝单晶模板面对面退火的装置，其特征在于：所述装载主体的外形轮廓为方形。5.根据权利要求1或4所述的专用于氮化铝单晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁冶，王新强，张晋，黄黎杰，刘上锋，康俊杰，罗巍，王维昀，李永德，王后锦，唐波，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：新型
国别省市：