一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，属于透明导电薄膜技术领域；包括柔性透明基板、外防护层以及内防护层；所述外防护层包括与柔性透明基板外表面紧密贴合设置的石墨烯层、紧密贴合设置于石墨烯层外表面的紫外线阻隔层以及紧密贴合设置于紫外线阻隔层外表面的且用于封闭保护的保护层；所述内防护层包括贴合连接于柔性透明基板下表面的耐热层、与耐热层的下表面相连接的防湿层以及与防湿层的下表面相粘粘的抗刮防雾层；所述石墨烯层为单原子石墨烯层或者双原子石墨烯层；所述紫外线阻隔层为UV固化的硬化层。该新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，结构简单，使用寿命长。长。长。

【技术实现步骤摘要】
一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜


[0001]本技术属于透明导电薄膜
，具体涉及一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜。

技术介绍

[0002]在光电子器件的制备过程中，为与外延片形成良好的欧姆接触，并且减少对发射光源的吸收，制备一种低接触电阻和高光学透过率的透明导电薄膜至关重要。例如，常在蓝光和绿光LED芯片制备工艺中作为透明电流扩展层的ITO薄膜因吸收带隙问题在紫外芯片的制备中受到一定的限制。因此，制备一种更宽波长范围内仍有透明导电属性的薄膜势在必行。目前研究的新型薄膜主要有石墨烯薄膜；Ga2O3薄膜；优化的ITO薄膜等；
[0003]现有的新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，在进行使用时，大多不具有耐热性能，且防潮性能差，不能很好的满足人们的使用需求。
[0004]因此针对这一现状，迫切需要设计和生产一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，以满足实际使用的需要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，包括柔性透明基板(1)、外防护层(3)以及内防护层(2)，其特征在于：所述外防护层(3)包括与柔性透明基板(1)外表面紧密贴合设置的石墨烯层(31)、紧密贴合设置于石墨烯层(31)外表面的紫外线阻隔层(32)以及紧密贴合设置于紫外线阻隔层(32)外表面的且用于封闭保护的保护层(33)；所述内防护层(2)包括贴合连接于柔性透明基板(1)下表面的耐热层(21)、与耐热层(21)的下表面相连接的防湿层(22)以及与防湿层(22)的下表面相粘粘的抗刮防雾层(23)。2.根据权利要求1所述的一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜，其特征在于：所述石墨烯层(31)为单原子...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强华，罗俊欣，杨兵华，
申请(专利权)人：深圳市强峰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：