一种用于半导体元件加工成型设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体元件加工成型设备，包括，底座，支撑装置；中心传输带，从所述底座上的中心穿过；石墨舟，放置在所述中心传输带上进行传输，所述石墨舟上开设有能够沿中心传输带的行进方向均匀放置多个基座的安装槽；支架，架设在底座上方；横杆，两根所述横杆相互平行地设在支架上方，且与所述中心传输带垂直；注胶组件，固定架设在两根横杆间的中心传输带的上方；固定座组件，设置在底座中心，将中心传输带分隔成两部分，且位于注胶组件的正下方。与现有技术相比，本发明专利技术通过固定针将芯片与基座固定后注胶，提高芯片的位置精度，由于通过反向磁极的排斥力使连接杆下移和转动，防止注胶针的碰撞导致固定针损坏芯片或使其移位。其移位。其移位。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体元件加工成型设备


[0001]本专利技术涉及一种半导体加工
，具体是一种用于半导体元件加工成型设备。

技术介绍

[0002]半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用，半导体芯片材料在制作完成后需要将其固定在基座中引出针脚以加工成型，使其能够安装到电路中，基座与芯片材料能够通过注胶的防止进行固定，现有的注胶设备在基座内注胶使由于流体的作用会导致芯片移位，可能会导致针脚错位而使半导体元件报废。
[0003]因此，有必要提供一种用于半导体元件加工成型设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于半导体元件加工成型设备，包括，底座，支撑装置；中心传输带，从所述底座上的中心穿过；石墨舟，放置在所述中心传输带上进行传输，所述石墨舟上开设有能够沿中心传输带的行进方向均匀放置多个基座的安装槽；支架，架设在底座上方；横杆，两根所述横杆相互平行地设在支架上方，且与所述中心传输带垂直；注胶组件，固定架设在两根横杆间的中心传输带的上方；固定座组件，设置在底座中心，将中心传输带分隔成两部分，且位于注胶组件的正下方。
[0005]进一步的，作为优选，在所述中心传输带行进方向前端的横杆下方的中心传输带两侧对称地设置有一起垂直的两条横传输带，在中心传输带行进方向前端的横杆下方的中心传输带一侧设置有一条横传输带。
[0006]进一步的，作为优选，每根所述横杆对应每条横传输带的位置中分别设置有伺服驱动的丝杠滑块，每块所述丝杠滑块中连接有竖直的直线模组，所述直线模组的输出端设置有吸盘；所述中心传输带两侧与横传输带的间隙中分别设置有侧传输带。
[0007]进一步的，作为优选，每根所述横杆上对应中心传输带的位置固定有视觉模组，所述视觉模组能够反馈控制中心传输带使吸盘对准石墨舟的安装槽。
[0008]进一步的，作为优选，所述注胶组件包括，三轴机械臂，固定架设在中心传输带的上方，能够伺服分别沿XYZ轴移动；
注胶针，竖直固定在三轴机械臂的输出端，能够加热并注出胶体，其上端连接供料导管。
[0009]进一步的，作为优选，所述固定座组件包括，中心柱，竖直固定在底座上作为支撑；支撑盘，固定在中心柱上方，且位于注胶组件的正下方，并将所述中心传输带分隔为两端独立运行的传输带，且其与中心传输带间留有一定间隙。
[0010]进一步的，作为优选，所述支撑盘中可伺服转动地设有至少两根穿过其上表面的传输辊，所述传输辊的转动方向与中心传输带的行进方向相同；且，所述传输辊与中心传输带的距离小于石墨舟的长度，所述传输辊的上表面与中心传输带的上表面在同一平面中。
[0011]进一步的，作为优选，所述支撑盘下方的中心柱中可上下滑动且能够转动地套设有滑动套，滑动套的边缘固定有“C”型的连接杆，所述连接杆的上端从支撑盘的边缘延伸到支撑盘上方的圆心处，且在圆心处设有固定针。
[0012]进一步的，作为优选，所述注胶针上方固定套设有水平的下压磁铁，所述连接杆在传输辊上方的位置中固定有从动磁铁，所述下压磁铁下表面与从动磁铁上表面为反向磁极；且，所述滑动套与底座间设有支撑弹簧，所述支撑弹簧提供使固定针远离支撑盘的弹力。
[0013]进一步的，作为优选，所述下压磁铁下方圆周分布有多个导向磁铁，所述导向磁铁外围的磁极与从动磁铁侧边的磁极相反。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术中，每根横传输带上的载体能够传输到对应方向的侧传输带中，并由丝杠滑块和直线模组控制吸盘将载体上的物料转移到中心传输带的石墨舟中，石墨舟移动到前端横杆时，依次将横传输带上的基座、芯片转移到石墨舟的安装槽中，经过注胶组件注胶后再后端横杆将横传输带上的盖板转移到石墨舟的安装槽中，从而使半导体加工成型，而空的载体通过侧传输带送走回收。
[0015]本专利技术中，石墨舟通过传输辊的中继移动到支撑盘上时，依次向每个安装槽的基座上注胶，当三轴机械臂驱动注胶针下移时，带动连接杆下移，使固定针顶住芯片，能够防止注胶针在芯片周围的基座内注胶时使芯片移位，当注胶针绕芯片外围移动时，带动连接杆和滑动套转动，以使连接杆避让注胶针，且保持固定针对芯片的压力，在此过程中由于通过反向磁极的排斥力使连接杆下移和转动，防止注胶针的碰撞导致固定针损坏芯片或使其移位。
附图说明
[0016]图1为一种用于半导体元件加工成型设备的结构示意图；图2为注胶组件的结构示意图；图中：1、底座；2、中心传输带；3、石墨舟；4、支架；5、横杆；6、注胶组件；7、固定座组件；8、丝杠滑块；9、直线模组；10、吸盘；11、横传输带；12、侧传输带；13、视觉模组；61、三轴机械臂；62、注胶针；63、下压磁铁；64、导向磁铁；71、中心柱；72、支撑盘；73、传输辊；74、滑
动套；75、连接杆；76、从动磁铁；77、固定针；78、支撑弹簧。
具体实施方式
[0017]请参阅图1，本专利技术实施例中，一种用于半导体元件加工成型设备，包括，底座1，支撑装置；中心传输带2，从所述底座1上的中心穿过；石墨舟3，放置在所述中心传输带2上进行传输，所述石墨舟3上开设有能够沿中心传输带2的行进方向均匀放置多个基座的安装槽；支架4，架设在底座1上方；横杆5，两根所述横杆5相互平行地设在支架4上方，且与所述中心传输带2垂直；注胶组件6，固定架设在两根横杆5间的中心传输带2的上方；固定座组件7，设置在底座1中心，将中心传输带2分隔成两部分，且位于注胶组件6的正下方。
[0018]本实施例中，在所述中心传输带2行进方向前端的横杆5下方的中心传输带2两侧对称地设置有一起垂直的两条横传输带11，在中心传输带2行进方向前端的横杆5下方的中心传输带2一侧设置有一条横传输带11；前端的两条横传输带11分别传输放置有基座、芯片的载体，后端的横传输带11传输放置盖板的载体。
[0019]本实施例中，每根所述横杆5对应每条横传输带11的位置中分别设置有伺服驱动的丝杠滑块8，每块所述丝杠滑块8中连接有竖直的直线模组9，所述直线模组9的输出端设置有吸盘10；所述中心传输带2两侧与横传输带11的间隙中分别设置有侧传输带12；也就是说，每根横传输带11上的载体能够传输到对应方向的侧传输带12中，并由丝杠滑块8和直线模组9控制吸盘10将载体上的物料转移到中心传输带2的石墨舟3中，在本实施例中石墨舟3移动到前端横杆5时，依次将横传输带11上的基座、芯片转移到石墨舟3的安装槽中，经过注胶组件6注胶后再后端横杆5将横传输带11上的盖板转移到石墨舟3的安装槽中，从而使半导体加工成型；而空的载体通过侧传输带12送走回收。
[0020]本实施例中，每根所述横杆5上对应中心传输带2的位置固定有视觉模组13，所述视觉模组13能够反馈控制中心传输带2使吸盘10对准石墨舟3的安装槽。
[0021]请参阅图2，本实施例中，所述注胶组件6包括，三轴机械臂61，固定架设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体元件加工成型设备，其特征在于，包括，底座（1），支撑装置；中心传输带（2），从所述底座（1）上的中心穿过；石墨舟（3），放置在所述中心传输带（2）上进行传输，所述石墨舟（3）上开设有能够沿中心传输带（2）的行进方向均匀放置多个基座的安装槽；支架（4），架设在底座（1）上方；横杆（5），两根所述横杆（5）相互平行地设在支架（4）上方，且与所述中心传输带（2）垂直；注胶组件（6），固定架设在两根横杆（5）间的中心传输带（2）的上方；固定座组件（7），设置在底座（1）中心，将中心传输带（2）分隔成两部分，且位于注胶组件（6）的正下方。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体元件加工成型设备，其特征在于，在所述中心传输带（2）行进方向前端的横杆（5）下方的中心传输带（2）两侧对称地设置有一起垂直的两条横传输带（11），在中心传输带（2）行进方向前端的横杆（5）下方的中心传输带（2）一侧设置有一条横传输带（11）。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体元件加工成型设备，其特征在于，每根所述横杆（5）对应每条横传输带（11）的位置中分别设置有伺服驱动的丝杠滑块（8），每块所述丝杠滑块（8）中连接有竖直的直线模组（9），所述直线模组（9）的输出端设置有吸盘（10）；所述中心传输带（2）两侧与横传输带（11）的间隙中分别设置有侧传输带（12）。4.根据权利要求1所述的一种用于半导体元件加工成型设备，其特征在于，每根所述横杆（5）上对应中心传输带（2）的位置固定有视觉模组（13），所述视觉模组（13）能够反馈控制中心传输带（2）使吸盘（10）对准石墨舟（3）的安装槽。5.根据权利要求1所述的一种用于半导体元件加工成型设备，其特征在于，所述注胶组件（6）包括，三轴机械臂（61），固定架设在中心传输带（2）的上方，能够伺服分别沿XYZ轴移动；注胶针（62），竖直固定在三轴机械臂（61）...

【专利技术属性】
技术研发人员：李征，聂剑凯，史俊龙，
申请(专利权)人：苏州肯美特设备集成有限公司，
类型：发明
国别省市：