基于双电层原理的电解质浓度传感器、制备方法及其应用技术

本发明专利技术公开一种基于双电层原理的电解质浓度传感器、制备方法及其应用。所述方法包括：步骤一：清洗衬底层；步骤二：制作光刻胶图形化的玻璃片；步骤三：制备电极对；步骤四：集成封装。该方法制备的电解质浓度传感器包括工作电极层、粘附层和衬底层，工作电极层包括一对不确定形状的电极对，每个电极对在至少一个方向上有金属导线引出，金属导线末端设有焊接点，焊接点用于焊接与测试装备相连导线。本发明专利技术制作工艺简单，制得的传感器适用于低压环境，能够灵敏感应电解质浓度变化，性能良好。性能良好。性能良好。

【技术实现步骤摘要】
基于双电层原理的电解质浓度传感器、制备方法及其应用


[0001]本专利技术属于先进电子元器件设计与制造领域，特别涉及一种基于双电层原理的电解质浓度传感器、制备方法及其应用。

技术介绍

[0002]传感器具有感知外界物理信号、化学信号的一种复杂的器件，根据其原理的不同分为电学传感器、光学传感器、力学传感器等。电化学传感器是传感器领域中特殊的一类，能感知电化学信号，而电解质浓度传感器又是电化学传感器中特殊的一类，用来检测溶液中离子的浓度，可以应用于海水盐度检测、汗液检测、体液检测等。
[0003]目前市面上大多数的电解质浓度传感器，主要基于化学阻抗分析测量电导率的方法来实现，这类传感器由于体积较大、大都基于刚性材料制备而来，不适合与智能机械手等结合；另外有一些用作汗液成分分析的电解质浓度传感器，这类传感器制作工艺复杂、需要特殊的材料，并且在传感过程中尝尝伴随着电化学反应，导致传感器的性能的不可逆变化。因此开发出一种结构简单、制作工艺简便、性能优良的电解质浓度传感器，具有较深的应用前景。
[0004]超级电容器是一类电容值非常大电容器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，所述的电解质浓度传感器包括自上而下依次设置的工作电极层、粘附层和衬底层，其特征在于，所述的工作电极层包括一对不确定形状的电极对，每个所述的电极对在至少一个方向上有金属导线引出，所述的金属导线末端设有焊接点，所述的焊接点用于焊接与测试装备相连导线。2.根据权利要求1所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，每个所述的电极对的形状为方形，边长为3
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8mm，优选为5mm。3.根据权利要求1或2所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，所述的金属导线线宽为0.2
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0.5mm，优选为0.3mm。4.根据权利要求1或2所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，所述的电极对采用惰性金属材料制成，包括但不限于Au、Ag、Cu和Pt，优选为Au。5.根据权利要求1或2所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，所述的粘附层采用能够能增强惰性金属材料与衬底材料之间的粘附性金属材料，包括但不限于Cr、Ti。6.根据权利要求1或2所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，所述的衬底层的材料包括但不限于PI、聚对苯二甲PET和SiO2，优选为PI。7.根据权利要求1或2所述的一种基于双电层原理的电解质浓度传感器，其特征在于，所述的工作电极层的厚度为50
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150nm，优选为10...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘雨露，汪小知，曾翔宇，李梦露，王浩彬，
申请(专利权)人：海宁市产业技术研究院，
类型：发明
国别省市：