一种通用投影像质检查仪制造技术

技术编号:33228215 阅读:13 留言:0更新日期:2022-04-27 17:20
本实用新型专利技术公开了一种通用投影像质检查仪,其是在底板上设壳体,在壳体内设分划模块和光源模块,分划模块是在壳体内设X轴滑台,在X轴滑台上设分划基座,在分划基座上方设XZ轴台,在XZ轴台上方设分划本体,分划本体与分划接口连接;光源模块是在壳体内设光源,光源与与散热器相连,散热器后方设有风扇。本实用新型专利技术能够使光源到分划板的距离可调,从而满足不同数值孔径镜头的检测需求,系统光轴匹配更加精准,也降低了能耗,减小了体积和重量,使用维护成本降低。护成本降低。护成本降低。

【技术实现步骤摘要】
一种通用投影像质检查仪


[0001]本技术涉及光学像质投影检测设备,具体涉及一种通用投影像质检查仪,是一种满足不同数值孔径镜头像质检测的通用投影检查仪。

技术介绍

[0002]近年来,市场上出现了一种新型的大数值孔径投影成像镜头,这类镜头的光源数值孔径NA往往不低于0.8。在检查这类镜头的解像质量时,现有投影检查仪无法胜任。因为现有投影检查仪光源系统的数值孔径NA一般不超过0.5,远远小于新镜头所需要的数值孔径,无法满足大数值孔径镜头的像质检测需求。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种能够满足不同数值孔径镜头检测需求的通用投影像质检查仪,该投影像质检查仪精准度高,能耗低且体积重量小。
[0004]为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种通用投影像质检查仪,包括底板,在所述底板上设壳体,在壳体内设分划模块和光源模块,所述分划模块是在壳体内设X轴滑台,在X轴滑台上设分划基座,在分划基座上方设XZ轴台,在XZ轴台上方设分划本体,分划本体与分划接口连接;所述光源模块是在壳体内设光源,光源与与散热器相连,散热器后方设有风扇。
[0005]所述壳体由底板、固定设置在底板上的前壳体板和后壳体板以及固定设置在前壳体板和后壳体板上的顶壳体板组成,在后壳体板上嵌设有插座。
[0006]所述散热器和风扇设置在垫木上,垫木设置在固定板上,固定板设置在底板上。
[0007]在所述底板的前端嵌设有便于对底板水平度进行快速调整的圆形水平仪。
[0008]在所述X轴滑台上设检测本体,检测本体上方开设有螺纹孔,螺纹孔与镜头检测治具相配合。
[0009]所述光源为LED面光源。
[0010]在所述垫木两侧对称分布有U形槽,U形槽长度为50mm。
[0011]在所述底板四周开设有四个螺纹孔,四个水平调整块通过对应的螺纹孔与底板相连。
[0012]本技术采用上述技术方案所设计的一种通用投影像质检查仪,是基于现有投影机的基本架构,通过优化系统布局,使光源到分划板的距离可调,从而满足不同数值孔径镜头的检测需求,数值孔径高达0.85;通过采用低功耗长寿命的LED光源,大幅度降低了能耗,减小了体积和重量,且使用维护成本大幅降低;通过优化分划板调节机构,使系统光轴匹配更加精准。
附图说明
[0013]图1表示本技术的总装结构示意图;
[0014]图2表示本技术的俯视结构示意图。
[0015]图中:1

底板,2
‑ꢀ
X轴高精度滑台,3

检测本体,4

分划基座,5
‑ꢀ
XZ轴台,6

分划本体,7

分划接口,8
‑ꢀØ
15 LED光源,9

散热器,10

5015风扇,11

垫木,12

固定板,13

前壳体板,14

顶壳体板,15

后壳体板,16

5521插座,17
‑ꢀ
M8水平调整块,18

圆形水平仪。
具体实施方式
[0016]下面结合附图对本技术一种通用投影像质检查仪作具体说明。
[0017]本技术一种通用投影像质检查仪,参见图1和图2 ,包括底板1,在底板1上设壳体,在壳体内设分划模块和光源模块。本技术的壳体由通过螺钉固定设置在底板1上的前壳体板13和后壳体板15以及通过螺钉固定设置在前壳体板13和后壳体板15上的顶壳体板14组成,在后壳体板15上开设有Ф35的孔,Ф35的孔内嵌有5521插座16。本技术分划模块是在壳体内设X轴高精度滑台2,在X轴高精度滑台2上通过螺钉固设分划基座4,在分划基座4上固定设置XZ轴台5,在XZ轴台5上方设分划本体6,分划本体6上方有Ф45的内孔,内孔周围均布三个M2.5的螺纹孔,分划本体6与分划接口7通过螺钉连接,分划板嵌在分划接口内。本技术在分划基座4处增加了分划板调节机构——XZ轴台5,从而可以快速进行待测镜头与分划板的同轴调节。在X轴高精度滑台2上设检测本体3,检测本体3上方开设有M72螺纹孔,螺纹孔与镜头检测治具相配合。本技术光源模块是在壳体内设30W的
Ø
15 LED面光源8,光源8与散热器9固定相连,散热器9后方固定设有5015风扇10,散热器9和风扇10均通过螺钉固定设置在垫木11上,垫木11通过螺钉固定设置在固定板12上,固定板12设置在底板1上。本技术采用低功耗长寿命的LED光源,大幅度降低了能耗,减小了体积和重量,且使用维护成本大幅降低。在垫木11左右两侧对称分布有U形槽,U形槽的作用是移动光源位置,U形槽长度为50mm。本技术增加该光源前后移动机构,即嵌有U形槽的垫木11,可以调节光源8到分划板的距离,从而改变投影像质检查仪的数值孔径,数值孔径范围为0.1~0.85。
[0018]本技术在底板1的前端嵌设有圆形水平仪18,圆形水平仪18便于对底板1的水平度进行快速调整的。在底板1的四周开设有四个M8螺纹孔,四个M8水平调整块17通过对应的M8螺纹孔与底板1相连。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通用投影像质检查仪,包括底板,其特征是在所述底板上设壳体,在壳体内设分划模块和光源模块,所述分划模块是在壳体内设X轴滑台,在X轴滑台上设分划基座,在分划基座上方设XZ轴台,在XZ轴台上方设分划本体,分划本体与分划接口连接;所述光源模块是在壳体内设光源,光源与散热器相连,散热器后方设有风扇。2.根据权利要求1所述的一种通用投影像质检查仪,其特征是所述壳体由底板、固定设置在底板上的前壳体板和后壳体板以及固定设置在前壳体板和后壳体板上的顶壳体板组成,在后壳体板上嵌设有插座。3.根据权利要求1所述的一种通用投影像质检查仪,其特征是所述散热器和风扇设置在垫木上,垫木设置在固定板上,固定板设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员:高亚丽何玉林李胜勇王世刚马百光吴振胜刘维娜付勇李智超
申请(专利权)人:南阳利达光电有限公司
类型:新型
国别省市:

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