【技术实现步骤摘要】
一种过滤灌装装置
[0001]本技术涉及化工
,特别是一种过滤灌装装置。
技术介绍
[0002]一般来说,现有的过滤流体设备主要为密闭高效过滤器、不锈钢精密微孔过滤器或微孔膜过滤器等,但由于该过滤器设备过滤效果各不相同,且繁琐复杂,对于所需过滤的化学溶剂过滤后的杂质要求,尤其是半导体芯片制造领域的化学溶剂杂质要求越来越高,因此,需要更加高效快捷的对化学溶剂进行杂质过滤作业。
技术实现思路
[0003]为解决上述问题,本技术提供一种过滤灌装装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种过滤灌装装置,包括储料罐、过滤器和自动充填机,其特征在于:第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器上表面设有压力表,外侧表面设有进料管,下底面设有出料管,所述储料罐通过第一管道与第一过滤器的进料管相互连接,第二管道一端与第一过滤器的出料管相互连接,其另一端与第二过滤器的进料管相互连接,第三管道一端与第二过滤器的出料管相互连接,其另一端与第三过滤器的进料管相互连接,第四管道一端与第三过滤器的出料管相互连接,其另一端与自动充填机相互连接,所述第四管道上设有取样阀门。
[0005]进一步的,所述第四管道上设有1
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2个取样阀门。
[0006]本技术的有益效果是:本申请通过第一管道、第二管道、第三管道和第四管道,将储料罐与第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和自动填充机相互连接,通过第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器对储料罐内的化学溶剂进行过滤作业,最后通过自动填充机将溶剂进行 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过滤灌装装置,包括储料罐(1)、过滤器(2)和自动充填机(3),其特征在于:第一过滤器(2)、第二过滤器(4)和第三过滤器(5)上表面设有压力表(21),外侧表面设有进料管(22),下底面设有出料管(23),所述储料罐(1)通过第一管道(11)与第一过滤器(2)的进料管(22)相互连接,第二管道(12)一端与第一过滤器(2)的出料管(23)相互连接,其另一端与第二过滤器(4)的进料管(22)相互连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:中里基良,李运涛,
申请(专利权)人:瑞环苏州环境有限公司,
类型:新型
国别省市:
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