本实用新型专利技术提供了一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，包括能够与气瓶阀口螺纹连接的密封舱，所述密封舱通过主管道依次连接有干式吸附单元和湿式尾气处理单元。本实用新型专利技术提供的用于气瓶泄漏的应急处理装置的优点在于：通过密封舱与气瓶阀口的连接，将泄漏的气体全部通过密封舱引出，防止气体外溢，泄漏的气体先后经过干式吸附单元和湿式尾气处理单元进行吸附、反应等二级处理，确保气体被安全处理，降低安全隐患，而且密封舱体积较小，可以方便的密封在气瓶上，可以对气瓶进行临时的密封转运，快速方便的进行泄漏气瓶的处理。快速方便的进行泄漏气瓶的处理。快速方便的进行泄漏气瓶的处理。
【技术实现步骤摘要】
一种用于气瓶泄漏的应急处理装置
[0001]本技术涉及气瓶泄漏处理
，尤其涉及一种用于气瓶泄漏的应急处理装置。
技术介绍
[0002]作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体，不仅在集成电路产业中占有重要的地位，其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯也都有着不可或缺的作用，广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。
[0003]高纯电子级特种气体需要使用气瓶进行储存和运输，在运输或使用过程中，阀门或瓶口螺纹处有可能发生泄漏，存在一定的安全风险。公告号为CN210319407U的技术专利公开了一种气体钢瓶应急处理罐，将钢瓶放置于处理罐内，对泄漏气体进行收集和处理，然而该方案需要将气瓶放置于罐体内，操作难度较大，而且气瓶体积较大时，无法放置于罐体内，因此该方案使用场景不能完全满足泄漏气瓶的处理需求。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于提供一种针对泄漏气瓶进行应急处理的装置。
[0005]本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，包括能够与气瓶阀口螺纹连接的密封舱，所述密封舱通过主管道依次连接有干式吸附单元和湿式尾气处理单元。
[0006]本技术通过密封舱与气瓶阀口的连接，将泄漏的气体全部通过密封舱引出，防止气体外溢，泄漏的气体先后经过干式吸附单元和湿式尾气处理单元进行吸附、反应等二级处理，确保气体被安全处理，降低安全隐患，而且密封舱体积较小，可以方便的密封在气瓶上，可以对气瓶进行临时的密封转运，快速方便的进行泄漏气瓶的处理。
[0007]优选的，所述湿式尾气处理单元为通风橱内的湿式尾气处理塔。
[0008]优选的，所述干式吸附单元与密封舱之间还设置有真空泵。
[0009]优选的，所述真空泵与干式吸附单元的主管道并联，真空泵前后的并联管道上分别设置有第五阀门和第六阀门。
[0010]优选的，所述真空泵并联位置之间的主管道上设置有第四阀门，密封舱与主管道连接的接口处设置有第三阀门，真空泵下游的主管道上设置有第七阀门。
[0011]优选的，所述干式吸附单元与湿式尾气处理单元之间还设置有第八阀门。
[0012]优选的，所述密封舱还连接有压力表。
[0013]优选的，所述密封舱上还设置有一置换接口，所述置换接口上通过氮气管道连接有氮气瓶。
[0014]优选的，所述置换接口上设置有第二阀门，氮气管道上设置有第一阀门和调压阀。
[0015]优选的，所述密封舱外侧还沿径向设置有与密封舱固定的把手。
[0016]本技术提供的用于气瓶泄漏的应急处理装置的优点在于：通过密封舱与气瓶阀口的连接，将泄漏的气体全部通过密封舱引出，防止气体外溢，泄漏的气体先后经过干式吸附单元和湿式尾气处理单元进行吸附、反应等二级处理，确保气体被安全处理，降低安全隐患，而且密封舱体积较小，可以方便的密封在气瓶上，可以对气瓶进行临时的密封转运，快速方便的进行泄漏气瓶的处理。通过真空泵确保所有气体被抽出处理，并利用氮气进行置换，降低安全风险。
附图说明
[0017]图1为本技术的实施例提供的用于气瓶泄漏的应急处理装置的示意图。
具体实施方式
[0018]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1所示，本实施例提供了一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，包括能够与气瓶1的阀口螺纹连接的密封舱2，所述密封槽2通过主管道21依次连接有干式吸附单元3和湿式尾气处理单元4。
[0020]本实施例通过密封舱2与气瓶1阀口的连接，将泄漏的气体全部通过密封舱2引出，防止气体外溢，泄漏的气体先后经过干式吸附单元3和湿式尾气处理单元4进行吸附、反应等二级处理，确保气体被安全处理，降低安全隐患，而且密封舱体积较小，可以方便的密封在气瓶1上，可以对气瓶1进行临时的密封转运，快速方便的进行泄漏气瓶的处理。
[0021]所述干式吸附单元3主要通过活性炭等填料进行吸附，所述湿式尾气处理单元4可以使用通风橱内的湿式尾气处理塔，与干式吸附单元3通过主管道21连接，在干式吸附单元3与湿式尾气处理单元4之间还设置有第八阀门78。
[0022]所述密封舱2与干式吸附单元3之间还设置有真空泵5，可通过真空泵5将气瓶1内的高纯气体吸出，进行尾气处理，防止残存气体导致的安全风险。所述真空泵5与主管道21并联，真空泵5前后的并联管道上分别设置有第五阀门75和第六阀门76，所述真空泵5并联位置之间的主管道21上设置有第四阀门74，密封舱2与主管道21连接的接口处设置有第三阀门73，真空泵5下游的主管道21上设置有第七阀门77。
[0023]所述密封舱2上还连接有压力表22，所述密封舱2上还设置有一置换接口23，所述置换接口23上通过氮气管道24连接有氮气瓶6，所述置换接口23上设置有第二阀门72，氮气管道24上设置有第一阀门71和调压阀61。通过氮气瓶6能够置换气瓶1内的气体，将高纯气体全部置换出来，防止残余其他导致的安全风险。
[0024]为了方便操作，所述密封舱2外侧还沿径向设置有与密封舱2固定的把手25，本实施例中，在密封舱2外侧的对称位置分别设置有一个把手25，可通过握住把手25将密封舱2拧紧在气瓶1上。
[0025]本实施提供的应急处理装置的工作过程如下：
[0026]S1：第一阀门71和第四阀门74关闭，开启真空泵5，打开第三阀门73、第五阀门75、第六阀门76、第七阀门77和第八阀门78，通过真空泵5将气体排至干式吸附单元3进行处理，然后通过第八阀门78排向湿式尾气处理单元4；
[0027]S2：通过真空泵5重复多次进行抽气处理，关闭第五阀门75和第六阀门76，观察压力表22的数值，在压力表22无变化后，关闭第三阀门73，打开第一阀门71和第二阀门72，向密封舱2内注入氮气至0.15atm，关闭第一阀门71和第二阀门72，静置2小时；
[0028]S3：拆下氮气瓶6，将置换接口23与真空取样瓶连接，打开第二阀门72，取样完毕后，关闭第二阀门72，拆除取样瓶，进行检测；
[0029]S4：如果取样瓶内的有害气体浓度低于该有害气体的TLV(thresholdlimitvalue，接触阈值)，则处置合格；否则重复步骤S1
‑
S4；
[0030]S5：处理完成后，打开第三阀门73、第五阀门75和第六阀门76，再次通过真空泵5抽空；
[0031]S5：打开第二阀门72，通过真空泵5继续重复抽空多次，通过空气置换气瓶和应急处理装置内的气体，确保被干式吸附单元3吸附的有毒物质失本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，其特征在于：包括能够与气瓶阀口螺纹连接的密封舱，所述密封舱通过主管道依次连接有干式吸附单元和湿式尾气处理单元。2.根据权利要求1所述的一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，其特征在于：所述湿式尾气处理单元为通风橱内的湿式尾气处理塔。3.根据权利要求1所述的一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，其特征在于：所述干式吸附单元与密封舱之间还设置有真空泵。4.根据权利要求3所述的一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，其特征在于：所述真空泵与干式吸附单元的主管道并联，真空泵前后的并联管道上分别设置有第五阀门和第六阀门。5.根据权利要求4所述的一种用于气瓶泄漏的应急处理装置，其特征在于：所述真空泵并联位置之间的主管道上设置有第四阀门，密封舱与主管道连接的接口处...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘欢，陶伟，
申请(专利权)人：全椒南大光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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