一种测试半球谐振子Q值的真空装置制造方法及图纸

一种测试半球谐振子Q值的真空装置，工作台的下部设置有分子泵和机械泵，工作台的上部设置有真空罩，真空罩内部还设置有伺服传动机构；真空罩的腔体通过波纹管连接分子泵的进气口，分子泵的出气口通过波纹管连接机械泵的进气口，机械泵的出气口通过波纹管连接外界大气；每次对真空罩抽真空时，先开机械泵预抽分子泵，然后再开分子泵，实现对真空罩抽真空。本实用新型专利技术通过计算真空室负载，优化了真空腔体的体积，可以使真空泵在有效的最短时间内完成真空室的抽排，达到工作所需要的真空条件，提高了工作效率，减小了真空泵的工作时间，同时也延长了整体系统的寿命。也延长了整体系统的寿命。也延长了整体系统的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种测试半球谐振子Q值的真空装置


[0001]本技术属于测试半球谐振子Q值的真空装置
，涉及一种测试半球谐振子Q值的真空装置。

技术介绍

[0002]半球谐振子陀螺是当今航空航天上应用比较广泛的当代最具发展前景的陀螺，半球谐振子其材料为熔石英玻璃的薄壁超精密球杯状零件，是半球谐振陀螺(HRG)的核心敏感部件，这种半球谐振陀螺工作的前题是谐振子以谐振频率做持续振动使半球谐振子球壳唇沿形成四波幅振型，要求半球谐振子Q值大于1000万。
[0003]半球谐振子Q值的公式为Q＝πfτ；式中Q—半球谐振子品质因数；F—半球谐振子谐振频率；τ—谐振衰减时间。
[0004]为了获取最大Q值,因此半球谐振子的谐振需在真空环境进行，采用多普勒激光测振仪测试。但是目前国内的测量方法不多，属于技术空白区域，且一般真空传动都采用二级密封圈轴系直接进入真空系统，密封性不好，抽真空时间长。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种测试半球谐振子Q值的真空装置，解决了现有技术中真空传动都采用二级密封圈轴系直接进入真空系统、密封性不好本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：包括有呈框架结构的工作台(107)，工作台(107)的下部设置有分子泵(105)和机械泵(106)，工作台(107)的上部设置有真空罩(101)，真空罩(101)内部还设置有伺服传动机构；其中：真空罩(101)的腔体通过波纹管连接分子泵(105)的进气口，分子泵(105)的出气口通过波纹管连接机械泵(106)的进气口，机械泵(106)的出气口通过波纹管连接外界大气；真空罩(101)的真空环境与外界的传动通过伺服传动机构实现，伺服传动机构包括有高磁密磁传动联轴器(301)、606CET无油陶瓷轴承(302)、T5M系列绝对值编码器电机(303)和主轴(304)；其中，主轴(304)贯穿于工作台(107)，高磁密磁传动联轴器(301)镶嵌于工作台(107)的内部且主轴(304)从高磁密磁传动联轴器(301)中贯穿伸出，高磁密磁传动联轴器(301)起到传递扭矩的作用；主轴(304)的外侧安装有606CET无油陶瓷轴承(302)；主轴(304)的下部设置有T5M系列绝对值编码器电机(303)；主轴(304)转动依靠T5M系列绝对值编码器电机(303)传递扭矩。2.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：真空罩(101)的外侧设置有电动缸(403)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵明，
申请(专利权)人：西安航晨机电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：