瞄准稳定的激光器制造技术

一种有一个罩体（１０）的激光器。冷却介质从进口（１３４）经管路（３５）供往热交换器（８），并由热交换器经管路（３７）从出口（１３６）排出。由上往下看，进出口（１３４）和（１３６）设置成对称于罩体中心线。进口（３４０）和出口（３４２）也具有类似的相互对称的位置关系。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是1995年5月9日提交的中国专利申请95105262.4的分案申请。本专利技术涉及一种能使瞄准稳定的激光器，这里所谓的瞄准是指一束激光束的发射位置和发射方向。日本专利公报63-64073和634-832号中分别揭示了激光器。图20是日本专利公报63-64073号中揭示的一种激光器的示意透视图。参照图20，激光器发射激光器2。该激光器有一条作为激光介质气体的通路的管道3，一对放电电极4a和4b，一个第一激光束反射装置5a，一个第二激光束反射装置5b，一个风机6，一个热交换器8，以及一个在低于0.1标准大气压的低真空下密封地容纳着激光介质气体的罩体10。全反射镜26装在第二反射装置5b内。部分反射镜32装于第一反射装置5a内。图21是日本专利公报64-832号中揭示的一种激光器的前视图。图22是该激光器的平面图。图23是该激光器的右视图。图24是沿图23中的24-24剖取的剖面放大图，显示了该激光器的某些细节。图25是沿图23中的线25-25剖取的剖面放大图，显示了该激光器的另一些细节。图26是沿图23中的线26-26剖取的剖面放大图，也显示了该激光器的一些细节。参阅图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光器，其特征在于，包括：一个密封地容纳激光介质气体的罩体；一对相对地设置在罩体内的放电电极，以利用激光介质气体发射激光束；一套用于使激光介质气体在罩体内循环的循环装置；一个设置在罩体内的热交换器，用以冷却因放电电极放电 而被加热的激光介质气体；设置在罩体上的一个进口和一个出口，用以使冷却介质流进和流出热交换器；分别装在进口和出口内的构成通路的部件；分别装在进口和出口与构成通路的部件之间的隔热部件，用以隔绝进口和出口与构成通路的部件之间的传热。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西田聡，大谷昭博，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]