【技术实现步骤摘要】
一种电池片激光开槽方法及光伏电池制备方法
[0001]本申请涉及光伏电池产品领域，具体而言，涉及一种电池片激光开槽方法及光伏电池制备方法。
技术介绍
[0002]目前，常规PERC电池(Passivated Emitterand Rear Cell)通过使用钝化介质膜Al2O3与SiN对电池片背表面的悬挂键进行保护，形成固定电场，产生钝化效应，从而降低表面复合，提升效率。同时由于在硅片表面含有因原子结构周期性排列中断而形成的未饱和悬挂键，使得晶体结构表面和界面产生空间电荷和表面势垒，形成不稳定的表面态，从而影响了载流子的正常输运。因此，PERC电池通常通过激光开槽工序使铝背场与硅片形成局部点状接触，减少了金属背极与背表面的接触，从而提升开路电压。
[0003]由于激光开槽工序作为电池片电性能提升的关键步骤之一，已有大量关于对激光工艺的激光衍射、深度、间距、光斑数量等方面的研究。经分析，现有各厂家所使用的激光开槽工艺存在以下几种问题：
①
激光光斑异常，衍射严重，腐蚀面积大，导致电池效率偏低；
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电池片激光开槽方法，其特征在于，采用激光雕刻去除硅片背面部分区域的钝化膜形成光斑，所述激光的功率为28
‑
32W，所述雕刻的速度为40000
‑
42000mm/s，所述光斑连续排列形成多条实线，同一所述实线中的各所述光斑顺次相切，各所述实线沿线型间隔布置，位于同一线型上的相邻所述实线之间形成虚线，每条所述实线长度为0.9
‑
0.95mm，每条所述虚线长度为0.75
‑
0.85mm。2.根据权利要求1所述的电池片激光开槽方法，其特征在于，所述激光的设定功率为35W，设定效率为80％
‑
90％。3.根据权利要求2所述的电池片激光开槽方法，其特征在于，虚实比为48％
‑
52％；和/或，每条所述实线的光斑个数为25
‑
28。4.根据权利要求1所述的电池片激光开槽方法，其特征在于，同一线型的开孔率为1.6％
‑
1.75％；和/或，同一硅片的开孔率为0.14％
‑
...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘冬，万柳斌，
申请(专利权)人：通合新能源金堂有限公司，
类型：发明
国别省市：
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