一种硅片夹取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种硅片夹取装置。本实用新型专利技术包括安装座，安装座上设置有轨道，轨道上对称设置有滑块，安装座上位于所述轨道两端设置有导轮，导轮上设置有传动带，滑块上设置有与传动带啮合的啮合板，安装座上设置有驱动导轮旋转的电机，滑块上设置有第一安装板和第二安装板，第一安装板和第二安装板上分别设置有第一吸盘和第二吸盘，第一吸盘和第二吸盘上均设置有气源连接口。本实用新型专利技术结构合理、简单，操作便捷，将外部气源与气源连接口进行连接，通过第一吸盘和第二吸盘对硅片进行吸取，电机驱动滑块在轨道上进行移动，最后将硅片放置在石英舟中，避免了夹爪对硅片的损坏，大大的降低了生产的成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片夹取装置


[0001]本技术涉及硅片运输
，具体涉及一种硅片夹取装置。

技术介绍

[0002]硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。同时用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域。
[0003]当硅片生产完成后，需要将硅片从花篮中移动至石英舟中，现有技术中，通常使用夹爪对硅片进行输送，夹爪的夹取常常会对硅片表面造成划痕以及损伤，由于损伤的硅片无法使用，从而造成损耗，大大的提高生产的成本。
[0004]上述问题是本领域亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种硅片夹取装置，通过吸盘对硅片进行吸取，从而避免对硅片的损坏。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供的方案是：一种硅片夹取装置，包括安装座，所述安装座上设置有轨道，所述轨道上对称设置有滑块，所述安装座上位于所述轨道两端设置有导轮，所述导轮上设置有传动带，所述滑块上设置有与所述传动带啮合的啮合板，所述安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片夹取装置，其特征在于，包括安装座(1)，所述安装座(1)上设置有轨道(2)，所述轨道(2)上对称设置有滑块(3)，所述安装座(1)上位于所述轨道(2)两端设置有导轮(4)，所述导轮(4)上设置有传动带(5)，所述滑块(3)上设置有与所述传动带(5)啮合的啮合板(10)，所述安装座(1)上设置有驱动所述导轮(4)旋转的电机(6)，所述滑块(3)上设置有第一安装板(8)和第二安装板(12)，所述第一安装板(8)和所述第二安装板(12)上分别设置有第一吸盘(7)和第二吸盘(9)，所述第一吸盘(7)和第二吸盘(9)上均设置有气源连接口(11)；所述第一吸盘(7)包括第一盘体(701)，所述第一盘体(701)顶部设置有第一连接孔(702)，所述第一盘体(701)内部设置有与所述第一连接孔(702)连通的第一吸气孔(703)；所述第二吸盘(9)包括第二盘体(901)，所述第二盘体(901)顶部设置有第二连接孔(902)，所述第二盘体(901)内部设置有与所述第二连接孔(902)连通的第二吸气孔(903)；所述第一盘体(701)底部间隔设置有第一吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，
申请(专利权)人：无锡江松科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：