一种改善单晶硅片烘干的方法技术

本发明专利技术属于涉及单晶电池片技术领域，具体一种改善单晶硅片烘干的方法，通过对烘干槽进行优化，改变硅片和花篮在烘干槽内的状态，使硅片和花篮之间的水分更容易烘干。具体地，改进槽体的花篮支架，由原来静止不动的花篮支架，通过为花篮支架增加升降机构，使其在烘干过程中缓慢进行升降，使花篮在烘干时存在一定倾斜角度，利用重力和烘干时通入的热氮气流，使各个硅片在花篮内的相邻两个花篮齿之间移动，从而避免硅片和花篮因水的表面张力而吸附在一起，改善因硅片与花篮的接触引起的烘干困难的情况。本发明专利技术降低了硅片烘干工艺的温度，缩短了烘干工艺时间，可有效降级能耗，节约成本；同时可减少烘干后带液片的数量，提高产品良率。良率。良率。

【技术实现步骤摘要】
一种改善单晶硅片烘干的方法


[0001]本专利技术属于单晶电池片
，具体涉及一种改善单晶硅片烘干的方法。

技术介绍

[0002]目前常规单晶电池片生产过程为：制绒
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扩散
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碱抛
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退火
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SiNx镀膜
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丝网印刷
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烧结
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分选
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检测。制绒和槽式碱抛都涉及到工艺完成后对硅片的脱水烘干。
[0003]在制绒和槽式碱抛完成后通过HF与HCl混酸清洗增加硅片表面的疏水性，再经过慢提拉槽后对硅片进行预脱水，最后使用热氮气对硅片进行烘干去除硅片表面的水。在烘干过程中因为硅片与承载花篮的接触，造成硅片与花篮接触位置的水分不容易被烘干，为达到烘干效果就需要提高烘干气体的温度和延长烘干的时间。更高的烘干温度以及更长的烘干时间带来更大的能耗和烘干气体的消耗，不利与生产成本的控制；另外，目前烘干槽在工作时，承载硅片的花篮被固定在槽体内，硅片和花篮接触时因为水的表面张力容易吸附在一起，不利于热氮气对硅片表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善单晶硅片烘干的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.将花篮(1)放入烘干槽(8)，并保持花篮支架升降机构A(2)与花篮支架升降机构B(3)处于水平对齐的位置，此时所述花篮(1)中的硅片(4)处于杂乱无序的状态；S2.控制花篮支架升降机构A(2)在与水平面垂直的方向上缓慢下降，同时，控制花篮支架升降机构B(3)在与水平面垂直的方向上缓慢上升，在此过程中，所述花篮(1)中的硅片(4)受重力和热氮气的气流影响，一致靠向位置较低的花篮方向a(5)，花篮方向b(6)上没有接触花篮齿(7)的硅片(4)的一面被烘干；S3.控制花篮支架升降机构A(2)在与水平面垂直的方向上缓慢上升，同时，控制花篮支架升降机构B(3)在与水平面垂直的方向上缓慢下降，在此过程中，所述花篮(1)中的硅片(4)受重力和热氮气的气流影响，一致靠向位置较低的花篮方向b(6)，花篮方向a(5)上没有接触花篮齿(7)的硅片(4)的一面被烘干；S4.控制花篮支架...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡昌顺，邹敏凤，谢耀辉，张鹏，曹其伟，
申请(专利权)人：江西中弘晶能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：