一种用于半导体器件老化测试的机台制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体器件老化测试的机台，包括底座，底座上固定有转动座，转动座内转动安装有转盘，转盘上固定有螺纹杆，螺纹杆上设置有螺纹筒，螺纹筒上固定有台面，台面上固定有限位筒，限位筒内滑动套设有与底座固定的限位杆，台面上固定有置物座，置物座上放置有半导体本体。本发明专利技术通过对处理器匹配的面板进行设定控制，使物料平稳的上升下降，抬升高度通过传感器来控制，不需要人工操作，降低工人劳动强度，节约了时间与人工并极大地提高了生产效率，通过更换叉脚，可以兼容不同的物料，实现多种产品情况的通用性。实现多种产品情况的通用性。实现多种产品情况的通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体器件老化测试的机台


[0001]本专利技术涉及半导体器件老化测试
，具体为一种用于半导体器件老化测试的机台。

技术介绍

[0002]随着半导体产业的飞速发展，国内半导体器件从低端逐步向中高端升级，在航天航空，工控，汽车，医疗等领域，对于半导体器件的高品质，高可靠性的要求，需要可以用于批量生产的半导体老化测试设备。
[0003]半导体的老化检测主要通过恒温恒湿箱体进行环境模拟，对半导体进行老化破坏，然后通过万用表等电性设备进行接触测试，从而获得数据，然后与正常数据对比，获得老化信息。
[0004]测试时，主要将老化后的半导体摆放在可升降台的台面上，然后缸体推动，使得升降台上下移动，从而使得半导体与安装在正上方的万用表探针进行接触，实现测量，但常规的升降缸体需要人工反复不断的按压，费时费力，且距离把控过大，对探针容易出现碰撞挤压损伤。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于半导体器件老化测试的机台，以解决对升降台操作的问题的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于半导体器件老化测试的机台，包括底座，所述底座上固定有转动座，所述转动座内转动安装有转盘，所述转盘上固定有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有螺纹筒，所述螺纹筒上固定有台面，所述台面上固定有限位筒，所述限位筒内滑动套设有与底座固定的限位杆，所述台面上固定有置物座，所述置物座上放置有半导体本体。
[0007]优选的，所述底座上固定有电机，电机的转轴上固定有驱动带轮，电机为伺服电机，可与处理器配合进行转动参数以及开闭的设定。
[0008]优选的，所述螺纹杆上固定套接有联动带轮，联动带轮与驱动带轮采用皮带传动，起到一个传动效果，对电机的转轴进行保护。
[0009]优选的，所述底座上固定有机架，机架上固定有电子万用表，电子万用表上固定有针座，针座内插入有探针，能够与半导体本体接触进行电性测试。
[0010]优选的，所述针座上设置有定位孔，定位孔内滑动套设有定位销，便于和定位槽搭配进行手动安拆。
[0011]优选的，所述定位销上缠绕有弹簧，弹簧的两端分别与定位销与针座固定连接，保证定位销的伸缩复位稳定。
[0012]优选的，所述探针的壳体上设置有定位槽，所述定位销与定位槽插入设置，便于探针与针座的安装和拆卸。
[0013]优选的，所述台面上设置有过孔，过孔内滑动贯穿有距离传感器，距离传感器的型号为CS
‑
3L。
[0014]优选的，所述距离传感器的壳体上固定有弹性卡，所述台面上设置有与弹性卡卡接设置的卡槽，弹性卡的形状和卡槽的槽内形状均为正六边形，且弹性卡由橡胶材料制成。
[0015]优选的，所述螺纹筒上固定处理器，处理器分别与距离传感器、电子万用表和电机通过导线相互连接，电子万用表的型号为F15B。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]1.本专利技术通过对处理器匹配的面板进行设定控制，使物料平稳的上升下降，抬升高度通过传感器来控制，不需要人工操作，降低工人劳动强度，节约了时间与人工并极大地提高了生产效率。
[0018]2.本专利技术通过更换叉脚，可以兼容不同的物料，实现多种产品情况的通用性。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本专利技术的a处放大示意图；
[0021]图3为本专利技术的距离传感器局部放大示意图；
[0022]图4为本专利技术的处理器与各器件原理图。
[0023]图中：1、底座；11、转动座；12、转盘；13、螺纹杆；14、螺纹筒；15、台面；16、置物座；17、半导体本体；18、限位筒；19、限位杆；2、电机；21、驱动带轮；22、联动带轮；23、皮带；3、机架；31、电子万用表；32、针座；33、探针；4、定位孔；41、定位销；42、弹簧；43、定位槽；5、过孔；51、距离传感器；52、弹性卡；53、卡槽；54、处理器。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]实施例Ⅰ[0026]请参阅图1，一种用于半导体器件老化测试的机台，包括底座1，底座1上固定有转动座11，转动座11内转动安装有转盘12，转盘12上固定有螺纹杆13，螺纹杆13上设置有螺纹筒14，螺纹筒14上固定有台面15，台面15上固定有限位筒18，限位筒18内滑动套设有与底座1固定的限位杆19，台面15上固定有置物座16，置物座16上放置有半导体本体17。
[0027]请参阅图1，底座1上固定有电机2，电机2的转轴上固定有驱动带轮21，电机2为伺服电机，可与处理器54配合进行转动参数以及开闭的设定。
[0028]请参阅图1，螺纹杆13上固定套接有联动带轮22，联动带轮22与驱动带轮21采用皮带23传动，起到一个传动效果，对电机2的转轴进行保护。
[0029]本实施例在使用时：当需要进行台面15的升降时，通过处理器54设定的参数以及控制，使得电机2能够按照规定进行正转或反转，配合皮带23的传动，带动螺纹杆13转动，从而使得螺纹筒14联动，通过限位筒18在限位杆19上滑动，使得台面15能够上下移动，从而完
成台面15的升降。
[0030]实施例Ⅱ[0031]请参阅图1，本实施方式对于实施例1进一步说明，一种用于半导体器件老化测试的机台，包括底座1，底座1上固定有转动座11，转动座11内转动安装有转盘12，转盘12上固定有螺纹杆13，螺纹杆13上设置有螺纹筒14，螺纹筒14上固定有台面15，台面15上固定有限位筒18，限位筒18内滑动套设有与底座1固定的限位杆19，台面15上固定有置物座16，置物座16上放置有半导体本体17。
[0032]请参阅图1，底座1上固定有机架3，机架3上固定有电子万用表31，电子万用表31上固定有针座32，针座32内插入有探针33，能够与半导体本体17接触进行电性测试。
[0033]请参阅图1和图2，针座32上设置有定位孔4，定位孔4内滑动套设有定位销41，便于和定位槽43搭配进行手动安拆。
[0034]请参阅图1和图2，定位销41上缠绕有弹簧42，弹簧42的两端分别与定位销41与针座32固定连接，保证定位销41的伸缩复位稳定。
[0035]请参阅图1和图2，探针33的壳体上设置有定位槽43，定位销41与定位槽43插入设置，便于探针33与针座32的安装和拆卸。
[0036]本实施例在使用时：当需要更换探针33时，先将探针33与电子万用表31连接的线路分离，然后向外拉动定位销41，通过弹簧42的拉伸效果，使得定位销41与定位槽43分离，从而使得探针33与针座3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体器件老化测试的机台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定有转动座(11)，所述转动座(11)内转动安装有转盘(12)，所述转盘(12)上固定有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)上设置有螺纹筒(14)，所述螺纹筒(14)上固定有台面(15)，所述台面(15)上固定有限位筒(18)，所述限位筒(18)内滑动套设有与底座(1)固定的限位杆(19)，所述台面(15)上固定有置物座(16)，所述置物座(16)上放置有半导体本体(17)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件老化测试的机台，其特征在于：所述底座(1)上固定有电机(2)，电机(2)的转轴上固定有驱动带轮(21)。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体器件老化测试的机台，其特征在于：所述螺纹杆(13)上固定套接有联动带轮(22)，联动带轮(22)与驱动带轮(21)采用皮带(23)传动。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体器件老化测试的机台，其特征在于：所述底座(1)上固定有机架(3)，机架(3)上固定有电子万用表(31)，电子万用表(31)上固定有针座(32)，针座(32)内插入有探针(33)。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈冬兵，
申请(专利权)人：苏州欣华锐电子有限公司，
类型：发明
国别省市：