一种水冷金属反射镜制造技术

一种水冷金属反射镜，属于激光技术与光学技术领域。有２只金属部件，金属部件的一面有同心圆沟槽，相互对称，其中１只金属部件的同心圆沟槽之间有直通槽连接沟通，另１只金属部件的同心圆沟槽之１有２个通孔分别连接进水口和出水口，２只金属部件在接触面处焊接而成为一体。构成多条冷却水道。冷却水由进水口进入，沿水道流动，从出水口流出。冷却效果是圆对称的，冷却水流经镜面中心处的水道路程最短，在镜面中心处的冷却效果最好，沿镜面边缘处的冷却效果递减。对金属反射镜可进行高效的冷却，使得金属镜面热变性大为减小，以保证传输的激光束质量。在大功率激光器和激光应用系统以及大功率激光器光束变换的光学系统中，具有较大的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种水冷金属反射镜，属于激光技术与光学

技术介绍
目前在大功率激光器和加工系统中广泛使用的金属反射镜，主要应用的水冷反射镜，在冷却效果和结构上，没有考虑到激光束能量分布的特点，如圆对称形，以及激光束能量分布是中心高，远离中心，能量逐渐降低。因此造成反射镜在大功率激光器和加工系统中，受热不均匀和对称，引起镜面形变较大，直接造成光束质量下降。例如图1图2图3所示，是一种现有的水冷反射镜结构，有左部件1和右部件3，冷却水从进水口5进入，通过通道2，6和7到达出水口4，冷却水流经中心通道7的路程最长，流经边缘通道2，6的路程最短，而激光束在中心处能量最大，边缘处能量最小，因此该结构，在中心处冷却效果最差。此外该结构冷却是非圆对称的，而大部分情况下，激光束能量分布是圆对称的。因此会造成从中心沿径向各方向的冷却不均匀性。
技术实现思路
为了克服现有技术结构的不足，本专利技术提供一种水冷金属反射镜。用于大功率激光器或激光加工系统。本专利技术针对激光束能量分布的特点，光束圆对称能量分布和中心处能量高边缘处能量低，因而本专利技术的水冷反射镜冷却效果是圆对称的，并且冷却水流经镜面中心处的路程最短，流经镜面边缘处的路程最长，以获得最佳的镜面冷却效果。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种水冷金属反射镜，有2只金属部件，金属部件的一面有同心圆沟槽，相互对称，其中1只金属部件的同心圆沟槽之间有直通槽连接沟通，另1只金属部件的同心圆沟槽之1有2个通孔分别连接进水口和出水口，2只金属部件的有同心圆沟槽的面焊接而成为一体。同心圆沟槽构成多条冷却水道。冷却水由进水口进入，沿水道流动，从出水口流出。冷却水流经镜面中心处的水道路程最短，流经镜面边缘处的水道路程递增。因此镜面中心处冷却效果最好，沿边缘处冷却效果递降。本专利技术的有益效果，在本专利技术是一种用于大功率激光器或激光加工系统的水冷金属反射镜。由于本专利技术针对激光束能量分布的特点，光束圆对称能量分布和中心处能量高边缘处能量低，因而本专利技术的水冷反射镜冷却效果是圆对称的，在镜面中心处的冷却效果最好，沿镜面边缘处的冷却效果递减。对金属反射镜可进行高效的冷却，使得金属镜面热变性大为减小，以保证传输的激光束质量。在大功率激光器和激光应用系统以及大功率激光器光束变换的光学系统中，具有较大的应用前景。附图说明图1、图2、图3为一种已有的水冷金属反射镜结构示意图；图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10、图11为本专利技术水冷金属反射镜结构示意图；下面结合附图和实施例对专利技术进一步说明。具体实施例方式实施例1一种水冷金属反射镜结构由图4、图5、图6和图9所示，有2只金属部件8、9，金属部件8、9的一面有同心圆沟槽23、24，相互对称，其中1只金属部件8的同心圆沟槽10、11、12之间有直通槽13连接沟通，另1只金属部件9的同心圆沟槽15、16、17之16有2个通孔19、20分别连接进水口21和出水口22，2只金属部件8、9的有同心圆沟槽的面焊接而成为一体。金属部件的中心有分流圆14、18。金属部件1的另一面为金属反射镜反射面25，金属反射镜反射面25为曲面包括圆弧面、组合弧面。同心圆沟槽为冷却水道。冷却水由进水口21进入，沿水道10、11、12、13和15、16、17流动，从出水口22流出。冷却水流经镜面中心处的水道12、17路程最短，流经镜面边缘处的水道路程递增。中心分流圆14、18的直径为0-10mm，因此镜面中心处冷却效果最好，沿边缘处冷却效果递降。为保证冷却水在金属镜内可充满各个水道，金属镜内6个水冷通道的横截面面积之和与进水口和出水口横截面面积的关系由下式确定Sc＝Sj≥S4+S5+S6+...(1)上式中，Sc为出水口横截面面积，Sj为进水口横截面面积，S4为水道12、17的横截面面积，S5为水道11、16的横截面面积，S6为水道10、15的横截面面积。即进水口横截面面积与出水口横截面面积相等，进水口横截面面积大于或等于各个镜内水道横截面面积之和。实施例2如图7所示，是一种用于大功率激光加工系统的水冷金属反射镜结构示意。2只金属部件8、9，金属部件8的一面有同心圆沟槽23，同心圆沟槽23之间有直通槽连接沟通，另1只金属部件9的没有同心圆沟槽。其他结构同实施例1。水冷金属反射镜两部分在非流水通道的接触面处均用低温金属焊料封接，构成一个整体如图7所示。镜面外径为70mm，金属镜高度为25mm，金属镜内部水道高为1.5mm，水道宽为3mm，相邻水道间距为9mm，中心分流圆直径为6mm。共三种六个水道。进水口和出水口横截面直径为6mm。金属镜内通水道横截面面积之和＝6×1.5×3＝27mm2进水口或出水口横截面面积＝3.141596×3×3＝28.3mm2进水口或出水口横截面面积＞金属镜内通水道横截面面积之和，满足公式(1)的要求，在金属镜内冷却水可充满各个水道。实施例3如图8所示，2只金属部件8、9，金属部件9的一面有同心圆沟槽24，同心圆沟槽24之间有直通槽连接沟通，另1只金属部件8的没有同心圆沟槽。其他结构同实施例1。实施例4如图10所示，2只金属部件8、9，金属部件9的一面有同心圆凸槽25，另1只金属部件8的一面有同心圆沟槽23，同心圆沟槽23之间有直通槽连接沟通，同心圆沟槽23、同心圆凸槽25之间镶嵌配合，留有空间，面积满足上述公式。实施例5只金属部件8、9，金属部件8的一面有同心圆凸槽26，另1只金属部件9的一面有同心圆沟槽24，同心圆沟槽24之间有直通槽连接沟通，同心圆沟槽24、同心圆凸槽26之间镶嵌配合，留有空间，面积满足上述公式(1)要求。实施例62只金属部件8、9，金属部件8、9的同心圆凸槽25、26、沟槽23、24为4条或5条或6条或7条或8条，沟槽和凸凹配合留下的空间满足上述公式(1)要求。权利要求1.一种水冷金属反射镜，其特征是有2只金属部件，金属部件的一面有同心圆沟槽，相互对称，其中1只金属部件的同心圆沟槽之间有直通槽连接沟通，另1只金属部件的同心圆沟槽之1有2个通孔分别连接进水口和出水口，2只金属部件的有同心圆沟槽的面焊接而成为一体。2.根n据权利要求1所述的一种水冷金属反射镜，其特征是同心圆沟槽构成多条冷却水道，金属部件的另一面为金属反射镜反射面，为曲面。3.根据权利要求1或2所述的一种水冷金属反射镜，其特征是金属部件的中心有分流圆。4.根据权利要求1或2所述的一种水冷金属反射镜，其特征是中心分流圆16的直径为0-10mm，外径为70mm，高度为25mm，内部水道高为1。5mm，水道宽为3mm，相邻水道间距为9mm，进水口和出水口横截面直径为6mm。。5.根据权利要求1或2所述的一种水冷金属反射镜，其特征是其中1只金属部件的没有同心圆沟槽。6.根据权利要求1或2所述的一种水冷金属反射镜，其特征是金属部件的一面有同心圆凸槽，另1只金属部件的一面有同心圆沟槽，同心圆沟槽之间有直通槽连接沟通，同心圆沟槽、同心圆凸槽之间镶嵌配合，留有空间。7.根据权利要求1或2所述的一种水冷金属反射镜，其特征是水冷金属反射镜两部分在非流水通道的接触面处用低温金属焊料封接，构成一个整体。8.根据权利要求6所述的一种水冷金属反射镜，其特征是水冷金属反射镜两部分在非流水通道的接触本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水冷金属反射镜，其特征是：有２只金属部件，金属部件的一面有同心圆沟槽，相互对称，其中１只金属部件的同心圆沟槽之间有直通槽连接沟通，另１只金属部件的同心圆沟槽之１有２个通孔分别连接进水口和出水口，２只金属部件的有同心圆沟槽的面焊接而成为一体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辛建国，邬江兴，张志远，王伟平，
申请(专利权)人：深圳新辉达激光科技有限公司，北京礴德恒激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]