涂层检测设备及涂层检测方法技术

本申请提供一种涂层检测设备及涂层检测方法，用于实现对涂层的全自动检测，提高检测速率及精度。涂层检测设备中，第一上料机构包括承载组件和转运手臂，承载组件用于承载涂层产品，转运手臂用于涂层产品搬运至第二上料机构。外观检测机构位于承载组件的一侧，在转运手臂将涂层产品搬运至第二上料机构的过程中，外观检测机构用于检测涂层的外观。第二上料机构位于外观检测机构背离承载组件的一侧，第二上料机构包括承载板和传动机构，承载板用于承载涂层产品，传动机构用于将涂层产品搬运至复合检测机构。复合检测机构包括承载台和多功能检测装置，承载台用于承载涂层产品，多功能检测装置用于检测涂层的位置精度和膜层厚度。测装置用于检测涂层的位置精度和膜层厚度。测装置用于检测涂层的位置精度和膜层厚度。

【技术实现步骤摘要】
涂层检测设备及涂层检测方法


[0001]本申请涉及检测设备
，尤其涉及涂层检测设备及涂层检测方法。

技术介绍

[0002]在电子行业中，人们通常在半导体芯片的玻璃基板上涂布一层导电银浆。在具体生产工序中，为了避免涂布不良的产品流入下一生产工序，需要对涂层的外观、精度和厚度进行检测。而现有的技术多由人工操作，从而致使检测速率及精度降低。

技术实现思路

[0003]本申请提供一种涂层检测设备及涂层检测方法，用于实现对涂层的全自动检测，提高检测速率及精度。
[0004]本申请提供一种涂层检测设备，用于检测涂层产品中涂层的质量，所述涂层产品包括涂层和基板，所述涂层位于所述基板的表面。所述涂层检测设备包括：第一上料机构、外观检测机构、第二上料机构和复合检测机构；
[0005]所述第一上料机构包括承载组件和转运手臂，所述承载组件用于承载所述涂层产品，所述转运手臂用于将承载于所述承载组件的所述涂层产品搬运至所述第二上料机构；
[0006]所述外观检测机构位于所述承载组件的一侧，在所述转运手臂将所述承载于所述承载组件的涂层产品搬运至所述第二上料机构的过程中，所述外观检测机构用于检测所述涂层的外观；
[0007]所述第二上料机构位于所述外观检测机构背离所述承载组件的一侧，所述第二上料机构包括承载板和传动机构，所述承载板用于承载所述涂层产品，所述传动机构用于将承载于所述承载板的所述涂层产品搬运至所述复合检测机构；
[0008]所述复合检测机构包括承载台和多功能检测装置，所述承载台用于承载所述涂层产品，所述多功能检测装置用于检测所述涂层的位置精度和膜层厚度。
[0009]其中，所述外观检测机构包括第一相机组和第二相机组，所述第一相机组位于所述第二相机组背离所述复合检测机构的一侧，且用于检测所述涂层的第一种外观缺陷，所述第二相机组用于检测所述涂层的第二种外观缺陷，所述第二种外观缺陷与所述第一种外观缺陷的缺陷类型不同。
[0010]其中，所述外观检测机构还包括第一同轴光源和第二同轴光源，所述第一同轴光源位于所述第一相机组的底侧，用于为所述第一相机组提供同轴光源，所述第二同轴光源位于所述第二相机组的底侧，用于为所述第二相机组提供同轴光源。
[0011]其中，所述第一上料机构还包括第一滑轨，所述转运手臂滑动安装于所述第一滑轨，所述第一相机组和所述第二相机组均位于所述第一滑轨的顶侧，所述第一同轴光源位于所述第一相机组与所述第一滑轨之间，所述第二同轴光源位于所述第二相机组与所述第一滑轨之间。
[0012]其中，所述复合检测机构包括旋转调节装置，所述旋转调节装置位于所述承载台
的底侧，且用于调整所述承载台的位置。
[0013]其中，所述复合检测机构还包括气浮减震平台，所述气浮减震平台位于所述承载台的底侧。
[0014]其中，所述多功能检测装置包括彼此间隔的精度检测组件和膜厚测量组件，所述精度检测组件用于检测所述涂层的位置精度，所述膜厚测量组件用于检测所述涂层的膜层厚度。
[0015]其中，所述精度检测组件包括面阵相机和环形光源，所述面阵相机用于对所述涂层产品进行拍照，所述环形光源用于为所述面阵相机提供光源。
[0016]其中，所述膜厚测量组件包括非接触式激光干涉仪，所述非接触式激光干涉仪用于检测所述涂层的膜层厚度。
[0017]其中，所述第二上料机构还包括扫码仪，所述扫码仪用于获取所述涂层产品的产品信息。
[0018]其中，所述涂层检测设备还包括：出料机构、搬运机构、缓存机构、复判机构和下料机构；
[0019]所述出料机构位于所述复合检测机构的一侧，所述出料机构包括出料台和出料驱动件，所述出料台用于承载所述涂层产品，所述出料驱动件用于驱动所述出料台移动至所述缓存机构或所述下料机构；
[0020]所述搬运机构用于将位于所述承载台的所述涂层产品搬运至所述出料台或所述复判机构，还用于将位于所述出料台的所述涂层产品搬运至所述复判机构，并用于将位于所述复判机构的所述涂层产品搬运至所述出料台；
[0021]所述缓存机构用于缓存所述涂层产品；
[0022]所述复判机构用于对所述涂层产品的所述涂层进行二次检测；
[0023]所述下料机构位于所述缓存机构的一侧，所述下料机构包括下料承载件，所述下料承载件用于承载所述涂层产品。
[0024]其中，所述涂层检测设备还包括处理器，所述处理器电连接所述转运手臂、所述外观检测机构、所述传动机构和所述多功能检测装置，且用于控制所述转运手臂、所述外观检测机构、所述传动机构和所述多功能检测装置工作，并获取所述外观检测机构和所述多功能检测装置的检测数据。
[0025]本申请还提供一种涂层检测方法，采用上述涂层检测设备实现，包括：
[0026]将所述涂层产品放置于所述承载组件，其中，所述涂层位于所述基板背离所述承载组件的一侧；
[0027]所述转运手臂将承载于所述承载组件的所述涂层产品搬运至所述第二上料机构，同时，所述外观检测机构检测所述涂层的外观；
[0028]所述传动机构将承载于所述承载板的所述涂层产品搬运至所述承载台，其中，所述涂层位于所述基板背离所述承载台的一侧；
[0029]所述多功能检测装置检测所述涂层的位置精度和膜层厚度。
[0030]其中，所述外观检测机构检测所述涂层的外观缺陷的步骤中，包括：
[0031]第一相机组检测所述涂层的第一种外观缺陷；
[0032]第二相机组检测所述涂层的第二种外观缺陷，其中，所述第二种外观缺陷与所述
第一种外观缺陷的缺陷类型不同。
[0033]其中，在所述第一相机组检测所述涂层的第一种外观缺陷的步骤中，第一同轴光源为所述第一相机组提供同轴光源；
[0034]在所述第二相机组检测所述涂层的第二种外观缺陷的步骤中，第二同轴光源为所述第二相机组提供同轴光源。
[0035]其中，在所述传动机构将承载于所述承载板的所述涂层产品搬运至所述承载台的步骤之后，且在所述多功能检测装置检测所述涂层的位置精度和膜层厚度的步骤之前，所述涂层的检测方法还包括：旋转调节装置调整所述承载台的位置。
[0036]其中，在所述多功能检测装置检测所述涂层的位置精度和膜层厚度的步骤中，包括：
[0037]精度检测组件检测所述涂层的位置精度；
[0038]膜厚测量组件检测所述涂层的膜层厚度。
[0039]其中，在精度检测组件检测所述涂层的位置精度的步骤中，包括：
[0040]环形光源为面阵相机提供光源；
[0041]面阵相机对所述涂层产品进行拍照。
[0042]其中，在膜厚测量组件检测所述涂层的膜层厚度的步骤中，包括：非接触式激光干涉仪检测所述涂层的膜层厚度。
[0043]其中，所述涂层检测方法还包括：
[0044]当所述外观检测机构检测到所述涂层产品的所述涂层的外观检测结果合格时，搬运机构将承载于所述承载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂层检测设备，用于检测涂层产品中涂层的质量，所述涂层产品包括涂层和基板，所述涂层位于所述基板的表面，其特征在于，所述涂层检测设备包括：第一上料机构、外观检测机构、第二上料机构和复合检测机构；所述第一上料机构包括承载组件和转运手臂，所述承载组件用于承载所述涂层产品，所述转运手臂用于将承载于所述承载组件的所述涂层产品搬运至所述第二上料机构；所述外观检测机构位于所述承载组件的一侧，在所述转运手臂将所述承载于所述承载组件的涂层产品搬运至所述第二上料机构的过程中，所述外观检测机构用于检测所述涂层的外观；所述第二上料机构位于所述外观检测机构背离所述承载组件的一侧，所述第二上料机构包括承载板和传动机构，所述承载板用于承载所述涂层产品，所述传动机构用于将承载于所述承载板的所述涂层产品搬运至所述复合检测机构；所述复合检测机构包括承载台和多功能检测装置，所述承载台用于承载所述涂层产品，所述多功能检测装置用于检测所述涂层的位置精度和膜层厚度。2.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述外观检测机构包括第一相机组和第二相机组，所述第一相机组位于所述第二相机组背离所述复合检测机构的一侧，且用于检测所述涂层的第一种外观缺陷，所述第二相机组用于检测所述涂层的第二种外观缺陷，所述第二种外观缺陷与所述第一种外观缺陷的缺陷类型不同。3.根据权利要求2所述的涂层检测设备，其特征在于，所述外观检测机构还包括第一同轴光源和第二同轴光源，所述第一同轴光源位于所述第一相机组的底侧，用于为所述第一相机组提供同轴光源，所述第二同轴光源位于所述第二相机组的底侧，用于为所述第二相机组提供同轴光源。4.根据权利要求3所述的涂层检测设备，其特征在于，所述第一上料机构还包括第一滑轨，所述转运手臂滑动安装于所述第一滑轨，所述第一相机组和所述第二相机组均位于所述第一滑轨的顶侧，所述第一同轴光源位于所述第一相机组与所述第一滑轨之间，所述第二同轴光源位于所述第二相机组与所述第一滑轨之间。5.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述复合检测机构包括旋转调节装置，所述旋转调节装置位于所述承载台的底侧，且用于调整所述承载台的位置。6.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述复合检测机构还包括气浮减震平台，所述气浮减震平台位于所述承载台的底侧。7.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述多功能检测装置包括彼此间隔的精度检测组件和膜厚测量组件，所述精度检测组件用于检测所述涂层的位置精度，所述膜厚测量组件用于检测所述涂层的膜层厚度。8.根据权利要求7所述的涂层检测设备，其特征在于，所述精度检测组件包括面阵相机和环形光源，所述面阵相机用于对所述涂层产品进行拍照，所述环形光源用于为所述面阵相机提供光源。9.根据权利要求7所述的涂层检测设备，其特征在于，所述膜厚测量组件包括非接触式激光干涉仪，所述非接触式激光干涉仪用于检测所述涂层的膜层厚度。10.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述第二上料机构还包括扫码仪，所述扫码仪用于获取所述涂层产品的产品信息。
11.根据权利要求1所述的涂层检测设备，其特征在于，所述涂层检测设备还包括：出料机构、搬运机构、缓存机构、复判机构和下料机构；所述出料机构位于所述复合检测机构的一侧，所述出料机构包括出料台和出料驱动件，所述出料台用于承载所述涂层产品，所述出料驱动件用于驱动所述出料台至所述缓存机构或所述下料机构；所述搬运机构用于将位于所述承载台的所述涂层产品搬运至所述出料台或所述复判机构，还用于将位于所述出料台的所述涂层产品搬运至所述复判机构，并用于将位于所述复判机构的所述涂层产品搬运至所述出料台；所述缓存机构用于缓存所述涂层产品；所述复判机构用于对所述涂层产品的所述涂层进行二次检测；所述下料机构位于所述缓存机构的一侧，所述下料机构包括下料承载件，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄奕宏，韩宁宁，秦超，尹国伟，王东东，陈军，张新明，
申请(专利权)人：深圳市深科达智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：