本实用新型专利技术提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于测试板上，测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器；传送装置，其用于承载测试板；黑体，其设置于传送装置上方，黑体内设置有辐射源，辐射源用于产生设定温度；当传送装置带动测试板依次使各列测试载具对准辐射源；电压测量电路，其与若干测试载具电性连接，其用于测量与辐射源对准的一列测试载具中的各个红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其基于电压测量电路测量到的红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。与现有技术相比，本实用新型专利技术可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试。的灵敏度测试。的灵敏度测试。
【技术实现步骤摘要】
红外热电堆传感器的量产测试装置
[0001]本技术涉及微机电系统器件的测试
，尤其涉及一种红外热电堆传感器的量产测试装置。
技术介绍
[0002]MEMS器件，是指具有微机电系统(Micro
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Electro
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Mechanical System，MEMS)，且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，MEMS器件应用领域相当广泛，常见的产品例如MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器、MEMS红外热电堆传感器。对于红外热电堆(IR)传感器，现有技术中一般在量产出货阶段只对红外热电堆的电阻值进行测量，而无法对灵敏度特性进行高精度的实时批量测量，电阻值只能反映出产品的电气连接特性，并不能完全保证FT(Final Test)测试阶段所有IR产品输出特性的良好一致性，良品率在客户产品终端无法保障，限制了终端产品的可靠应用。
[0003]因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的之一在于提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试。
[0005]根据本技术的一个方面，本技术提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于所述测试板上，所述测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器，当所述红外热电堆传感器插接在所述测试载具中时，所述红外热电堆传感器和所述测试板产生电连接；传送装置，其用于承载所述测试板，并将所述测试板沿传送方向运送；黑体，其设置于所述传送装置上方，所述黑体内设置有辐射源，所述辐射源用于产生设定温度Tset；当所述传送装置带动所述测试板沿传送方向移动并经过所述黑体下方时，依次使所述测试板上的各列测试载具对准所述黑体内的辐射源；电压测量电路，其与所述若干测试载具电性连接，其用于测量与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其与所述电压测量电路通信连接，其基于所述电压测量电路测量到的所述红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。
[0006]与现有技术相比，本技术提供的红外热电堆传感器的量产测试装置，其可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试，更好地保证出货良率，保障终端产品应用的可靠性。
【附图说明】
[0007]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要
使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0008]图1为本技术在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的结构示意图；
[0009]图2为本技术在一个实施例中如图1所示的PCB测试板的结构示意图；
[0010]图3为本技术在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的电路示意图。
【具体实施方式】
[0011]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0012]此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本技术至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。除非特别说明，本文中的连接、相连、相接的表示电性连接的词均表示直接或间接电性相连。
[0013]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0014]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”“耦接”等术语应做广义理解；例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0015]针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置。请参考图1所示，其为本技术在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的结构示意图；请参考图2所示，其为本技术在一个实施例中如图1所示的PCB测试板的结构示意图；请参考图3所示，其为本技术在一个实施例中的红外热电堆传感器的量产测试装置的电路示意图。
[0016]图1
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图3所示的红外热电堆传感器的量产测试装置包括传送装置1、PCB(Printed Circuit Board，即印制电路板)测试板2、黑体3、电压测量电路(未标识)和上位机5。
[0017]传送装置1用于承载PCB测试板2，并将PCB测试板2沿传送方向运送。在图1所示的实施例中，传送装置1为传送带，其电机可受控转动精确步长，驱动PCB测试板2在传送装置1表面的精确水平位移。
[0018]PCB测试板2上设置有若干测试载具21，每个所述测试载具21中可拆卸地竖立插接一个红外热电堆传感器(即IR传感器)211(具体请参见图1和图2所示)，当所述红外热电堆传感器211插接在测试载具21中时，所述红外热电堆传感器211和PCB测试板2产生电连接。
[0019]黑体3固定设置于所述传送装置1上方，黑体3内的中心设置有辐射源31，辐射源31在实施时用于产生设定温度Tset，例如50℃。当传送装置1带动PCB测试板2水平位置移动(或沿传送方向移动)并经过所述黑体3下方时，可依次使PCB测试板2上的各列测试载具21对准(或正对)黑体3内的辐射源31的中心，且黑体3内的辐射源31需要完全覆盖与辐射源31对准的一列测试载具21中的各个红外热电堆传感器211的FOV(视场角)，保证了测试系统的精度。优选地，黑体3在固定时距离PCB测试板2上与所述辐射源31对准的一列测试载具21中的各个红外热电堆传感器211的窗口表面的竖直距离为2～5cm，以充分覆盖红外热电堆传感器211的FOV。
[0020]电压测量电路(未标识)与PCB测试板2上设置的若干测试载具21电性连接，所述电压测量电路用于测量与所述辐射源31对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于所述测试板上，所述测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器，当所述红外热电堆传感器插接在所述测试载具中时，所述红外热电堆传感器和所述测试板产生电连接；传送装置，其用于承载所述测试板，并将所述测试板沿传送方向运送；黑体，其设置于所述传送装置上方，所述黑体内设置有辐射源，所述辐射源用于产生设定温度Tset；当所述传送装置带动所述测试板沿传送方向移动并经过所述黑体下方时，依次使所述测试板上的各列测试载具对准所述黑体内的辐射源；电压测量电路，其与所述若干测试载具电性连接，其用于测量与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其与所述电压测量电路通信连接，其基于所述电压测量电路测量到的所述红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。2.根据权利要求1所述的红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，所述上位机和所述传送装置通信连接，在实施时，所述上位机驱动传送装置先运送所述测试板在环境温度静置区停止预定时间，而后再将所述测试板向所述黑体方向运送。3.根据权利要求1所述的红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，所述黑体内的辐射源完全覆盖与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的视场角。4.根据权利要求3所述的红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，所述黑体距离所述测试板上与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的窗口表面的竖直距离为2～5cm。5.根据权利要求2所述的红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，所述电压测量电路包括：选通放大单元，其和所述若干测试载具电性连接，所述选通放大单元用于对与所述辐射源对准的一列测试载具中的各个所述红外热电堆传感器的输出信号进行多选一开关选择，并对被选择的所述红外热电堆传感器的输出信号进行放大；电压测量传输单元，其输入端与所述选通放大单元的输出端电相连，其输出端与所述上位机通信连接，所述电压测量传输单元基于所述选通放大单元输出的被放大的所述红外热电堆传感器的输出信号得到该红外热电堆传感器的输出电压。6.根据权利要求5所述的红外热电堆传感器的量产测试装置，其特征在于，所述选通放大单元包括多选一选通开关和放大器电路单元，所述多选一选通开关电性连接于所述若干测试载具和所述放...
【专利技术属性】
技术研发人员：林武，柯亮，李妍君，储莉玲，
申请(专利权)人：美新半导体天津有限公司，
类型：新型
国别省市：
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