一种微电子器件生产用干燥装置制造方法及图纸

技术编号:33098578 阅读:12 留言:0更新日期:2022-04-16 23:34
本实用新型专利技术公开了一种微电子器件生产用干燥装置,属于微电子器械干燥装置领域,包括底座和电磁阀,所述底座的顶部左侧安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端安装有横板,所述横板的底部安装有框架,所述框架的内侧壁顶部安装有电机,所述电机的输出端安装有扇叶,所述框架的底部安装有加热丝,所述底座的顶部安装有支架。本实用新型专利技术通过支架、输送履带、电动伸缩杆、横板、框架、电机、扇叶和加热丝的相互配合,从而能够快速的对微电子器械进行烘干增加装置的实用性,在通过承载台、旋转气缸、轴承、夹板和弹簧杆的相互配合,从而能够对微电子进行旋转烘干增加烘干效果,适合被广泛推广和使用。推广和使用。推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种微电子器件生产用干燥装置


[0001]本技术涉及微电子器械干燥装置
,尤其涉及一种微电子器件生产用干燥装置。

技术介绍

[0002]半导体行业中,微电子元件在生产过程中都是集中在框架上的,在最终成品时需要对微电子元件框架表面进行电镀处理,微电子元件框架的总体形状为长方形薄片状,其包括铝基散热体,环氧封装体和引脚,环氧封装体两端分别连接有铝基散热体和引脚,在使用之前,需进行表面电镀处理。而在电镀之前,电子元件在电镀前需要水刀机设备用高压水冲去导电引脚上的环氧溢胶,经冲洗后的元件必须干燥后,再流入电镀工序。常用的干燥流程依次为:多级压缩空气风刀吹干、多级热风风刀吹干、冷却。在实际使用的过程中,干燥效率较低,同时需要消耗大量电能转化为热能,能量利用率较低。
[0003]专利号CN201811008642公布了一种微电子元件框架干燥装置,包括干燥室以及设置在干燥室内部的第一干燥器与第二干燥器,第一干燥器位于干燥室的顶部而第二干燥器位于干燥室的底部,同时在干燥室的中部位置留有开口,在开口处安装有传送带,传送带通过支架固定在地面上,在干燥室的顶部左端设置有风机,风机的一端连接至回流管而另一端连接至输送管,输送管的末端为进气管,而回流管的末端为吸风口,吸风口直接置于干燥室内部,该种微电子元件框架干燥装置,第一干燥器以及第二干燥器均设置有风机以及输送管和回流管,风机可以将空气吹入干燥器内部,经过加热直接吹向元件框架,同时热流可以被回流管吸收,实现了热量的循环使用,能量利用率大大提高。
[0004]目前,在技术上存在一定不足:1、该装置对微电子器械烘干速度较低导致装置的实用性降低;2、该装置不能对微电子进行旋转烘干导致微电子器械烘干效果降低。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种微电子器件生产用干燥装置,通过支架、输送履带、电动伸缩杆、横板、框架、电机、扇叶和加热丝的相互配合,从而能够快速的对微电子器械进行烘干增加装置的实用性,在通过承载台、旋转气缸、轴承、夹板和弹簧杆的相互配合,从而能够对微电子进行旋转烘干增加烘干效果,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]本技术提供的具体技术方案如下:
[0007]本技术提供的一种微电子器件生产用干燥装置,包括底座和电磁阀,所述底座的顶部左侧安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端安装有横板,所述横板的底部安装有框架,所述框架的内侧壁顶部安装有电机,所述电机的输出端安装有扇叶,所述框架的底部安装有加热丝,所述底座的顶部安装有支架,所述支架的顶部安装有输送履带,所述输送履带的顶部安装有承载台,所述承载台的内侧壁左侧安装有轴承,所述承载台的外侧壁右侧安装有旋转气缸,所述轴承的内侧壁安装有弹簧杆,所述弹簧杆有两组呈对称安装在旋转气缸的输出端,所述弹簧杆的另一端安装有夹板。
[0008]可选的,所述底座的外侧壁安装有控制面板。
[0009]可选的,所述底座的外侧壁右侧安装有电磁阀,所述电磁阀的输出端与旋转气缸的输入端气动连接。
[0010]可选的,所述电磁阀的输入端、电机的输入端和加热丝的输入端均与控制面板的输出端电性连接。
[0011]可选的,所述控制面板的输入端与外部电源的输出端电性连接。
[0012]本技术的有益效果如下:
[0013]1、本技术实用,操作方便且使用效果好,底座的顶部左侧安装有电动伸缩杆,电动伸缩杆的输出端安装有横板,从而电动伸缩杆能够带动横板能够上下移动,横板的底部安装有框架,框架的内侧壁安装有电机,电机的输出端安装有扇叶,控制面板的输出端与电机的输入端电性连接,从而打开控制面板后,电机带动扇叶进行转动,框架的底部安装有加热丝,加热丝对周围空气进行加热,底座的顶部安装有支架,支架的顶部安装有输送履带,输送履带的外侧壁安装有承载台,承载台用来固定微电子器件,从而输送履带对电子器件进行输送,扇叶与加热丝对电子器件进行烘干,从而能够增加烘干速度。
[0014]2、本技术中,承载台的内侧壁左侧安装有轴承,轴承的内侧壁安装有弹簧杆,承载台的外侧壁右侧安装有旋转气缸,旋转气缸的输出端也安装有弹簧杆,弹簧杆的另一端安装有夹板,从而将微电子器件放置在两夹板间,弹簧杆受到挤压施加一组相反的作用力,从而将微电子器件固定,电磁阀的输出端与旋转气缸的输入端气动连接,控制面板的输出端与电磁阀的输入端电性连接,从而打开控制面板后,电磁阀打开阀芯,外部气源通过阀芯进入到旋转气缸内,旋转气缸转动,从而带动微电子器件转动,能够增加微电子器件的烘干效果。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术实施例的一种微电子器件生产用干燥装置的整体结构示意图;
[0017]图2为本技术实施例的一种微电子器件生产用干燥装置的承载台结构示意图。
[0018]图中:1、底座;2、电动伸缩杆;3、横板;4、支架;5、电机;6、输送履带;7、承载台;8、控制面板;9、电磁阀;10、扇叶;11、框架;12、加热丝;13、轴承;14、弹簧杆;15、夹板;16、旋转气缸。
具体实施方式
[0019]为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]下面将结合图1~图2,对本技术实施例的一种微电子器件生产用干燥装置进行详细的说明。
[0021]如图1

2所示,一种微电子器件生产用干燥装置,包括底座1和电磁阀9,所述底座1的顶部左侧安装有电动伸缩杆2,所述电动伸缩杆2的输出端安装有横板3,所述横板3的底部安装有框架11,所述框架11的内侧壁顶部安装有电机5,所述电机5的输出端安装有扇叶10,所述框架11的底部安装有加热丝12,所述底座1的顶部安装有支架4,所述支架4的顶部安装有输送履带6,所述输送履带6的顶部安装有承载台7,所述承载台7的内侧壁左侧安装有轴承13,所述承载台7的外侧壁右侧安装有旋转气缸16,所述轴承13的内侧壁安装有弹簧杆14,所述弹簧杆14有两组呈对称安装在旋转气缸16的输出端,所述弹簧杆14的另一端安装有夹板15。其中,通过支架4、输送履带6、电动伸缩杆2、横板3、框架11、电机5、扇叶10和加热丝12的相互配合,从而能够快速的对微电子器械进行烘干增加装置的实用性,在通过承载台7、旋转气缸16、轴承 13、夹板15和弹簧杆14的相互配合,从而能够对微电子进行旋转烘干增加烘干效果。
[0022]本实施例中如图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微电子器件生产用干燥装置,包括底座(1)和电磁阀(9),其特征在于,所述底座(1)的顶部左侧安装有电动伸缩杆(2),所述电动伸缩杆(2)的输出端安装有横板(3),所述横板(3)的底部安装有框架(11),所述框架(11)的内侧壁顶部安装有电机(5),所述电机(5)的输出端安装有扇叶(10),所述框架(11)的底部安装有加热丝(12),所述底座(1)的顶部安装有支架(4),所述支架(4)的顶部安装有输送履带(6),所述输送履带(6)的顶部安装有承载台(7),所述承载台(7)的内侧壁左侧安装有轴承(13),所述承载台(7)的外侧壁右侧安装有旋转气缸(16),所述轴承(13)的内侧壁安装有弹簧杆(14),所述弹簧杆(14)有两组呈对称安装在旋转气...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘翠翠
申请(专利权)人:海安绒克纺织有限公司
类型:新型
国别省市:

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