直流磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术属于机电设备技术领域，公开了直流磁控溅射电源，包括机体，所述机体的表壁设置有前面板，且前面板表壁的两端均安装固定底片，且固定底片的上方设置有空管，所述空管的内部开设有内槽，且空管的上方设置有把手，所述把手的两端均设置有限位环，且限位环位于内槽的内部，本实用新型专利技术在把把手的下方设置了限位环，且把手的外部设置了空管，空管的内部开设了内槽，把手端部的限位环位于内槽中，以此形成伸缩结构，使用时，当工作人员握持把手移动直流磁控溅射电源时，把手会从空管内部移出一部分，以此扩大把手的有效握持范围，增加了把手的实用性，避免了把手握持部分过下无法使用的情况。使用的情况。使用的情况。

【技术实现步骤摘要】
直流磁控溅射电源


[0001]本技术属于机电设备
，具体涉及直流磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]在机电设备中经常会需要高频变换的模式进行直流输出，而此时需要使用直流磁控溅射电源，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现，且电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。
[0003]直流磁控溅射电源在安装和拆卸时，工作人员需要依靠直流磁控溅射电源表壁的把手来移动直流磁控溅射电源，但是受限于直流磁控溅射电源的体积，把手通常较小，实际应用时，工作人员很难通过把手对直流磁控溅射电源进行移动，且直流磁控溅射电源需要借助边缘突出的安装槽进行固定，但是安装槽处的前面板长于机体本身，其本身强度不够，在运输时容易因为受到碰撞而变形。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供直流磁控溅射电源，以解决现有的直流磁控溅射电源把手较小实用性差和安装槽处强度较低受碰撞后容易出现形变的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：直流磁控溅射电源，包括机体，所述机体的表壁设置有前面板，且前面板表壁的两端均安装固定底片，且固定底片的上方设置有空管，所述空管的内部开设有内槽，且空管的上方设置有把手，所述把手的两端均设置有限位环，且限位环位于内槽的内部。
[0006]优选的，所述前面板的表壁安装有显示模块，且显示模块的底部安装有按钮，所述前面板表壁位于显示模块的一侧安装有开关。
[0007]优选的，所述前面板的两侧均开设有安装槽，且安装槽的内部设置有支撑件。
[0008]优选的，所述支撑件包括支撑板、内板和外板，且内板呈L型，所述支撑板位于支撑件的内壁，所述外板位于内板远离支撑板的一侧。
[0009]优选的，所述内板和外板之间安装有连接块，且连接块和安装槽相匹配。
[0010]优选的，所述连接块的外部开设有卡槽，所述卡槽的厚度和前面板的厚度相同。
[0011]本技术与现有技术相比，具有以下有益效果：
[0012](1)本技术在把把手的下方设置了限位环，且把手的外部设置了空管，空管的内部开设了内槽，把手端部的限位环位于内槽中，以此形成伸缩结构，使用时，当工作人员握持把手移动直流磁控溅射电源时，把手会从空管内部移出一部分，以此扩大把手的有效握持范围，增加了把手的实用性，避免了把手无用的情况。
[0013](2)本技术在安装槽处设置了支撑件，支撑件包括内板、外板和支撑板，且内板和外板之间通过连接块进行连接，内板和外板之间开设了卡槽，使用时，将卡槽出对准安装槽，以此将支撑件卡入安装槽中使得内板的内部和机体接触，以此和支撑板形成三角状的支撑结构，增加了安装槽部位的稳定性，避免了安装槽处因为受到撞击后而形变。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的俯视图；
[0016]图3为本技术把手和空管的截面图；
[0017]图4为本技术支撑件的侧视图；
[0018]图5为本技术支撑件的俯视图；
[0019]图中：1、安装槽；2、把手；3、机体；4、显示模块；5、开关；6、固定底片；7、前面板；8、按钮；9、支撑板；10、空管；11、支撑件；12、限位环；13、连接块；14、内槽；15、卡槽；16、外板；17、内板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图5所示，本技术提供如下技术方案：直流磁控溅射电源，包括机体3，其特征在于：机体3的表壁设置有前面板7，且前面板7表壁的两端均安装固定底片6，底片6和空管10之间相互固定，且固定底片6的上方设置有空管10，空管10的内部开设有内槽14，且空管10的上方设置有把手2，把手2的两端均设置有限位环12，且限位环12位于内槽14的内部，把手2在限位环12地作用下无法脱离空管10，且可以在空管10内进行一定幅度地移动，其可扩展的结构可以增加把手2地握持区，使得工作人员可以充分借助把手2将直流磁控溅射电源进行搬运。
[0022]进一步的，前面板7的表壁安装有显示模块4，且显示模块4的底部安装有按钮8，按钮8用于修改直流磁控溅射电源的参数，其参数信息通过显示模块4进行显视，前面板7表壁位于显示模块4的一侧安装有开关5。
[0023]更进一步的，前面板7的两侧均开设有安装槽1，在安装直流磁控溅射电源时，将螺栓穿过安装槽1和是设备的安装位置进行旋合，以此将直流磁控溅射电源进行固定，且安装槽1的内部设置有支撑件11。
[0024]具体的，支撑件11包括支撑板9、内板17和外板16，且内板17呈L型，内板17的一侧和机体3的侧壁接触，配合支撑板9形成三角支撑结构，增加安装槽1处的结构稳定性，支撑板9位于支撑件11的内壁，外板16位于内板17远离支撑板9的一侧。
[0025]值得说明的是，内板17和外板16之间安装有连接块13，连接块13将内板17和外板16之间进行固定连接，使用时直接将连接块13处卡入安装槽1中，且连接块13和安装槽1相匹配。
[0026]进一步的，连接块13的外部开设有卡槽15，安装支撑件11时，卡槽15卡入前面板7将支撑件进行固定，避免其脱落，卡槽15的厚度和前面板7的厚度相同。
[0027]本技术的工作原理及使用流程：使用本技术时，工作人员握持把手2将其向外拽出，通过把手2端部的限位环12对把手2的位置进行限定，由于限位环12和空管10及其内部的内槽14形成的伸缩结构，使得把手2可以向外扩展一部分，以此增加了把手2的握
持空隙，提高了把手2的实用性，在运输直流磁控溅射电源时，在安装槽1的内部安装支撑件11，借助支撑件11中的外板16和内板17从安装槽1的两侧对其进行夹持，借助连接块13对安装槽1进行填充，安装支撑件11后，安装槽1和机体3的侧壁接触，借助支撑板9所形成的三角支撑结构增加安装槽1处的结构强度，避免了在运输过程中安装槽1处受撞击而发生形变。
[0028]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.直流磁控溅射电源，包括机体(3)，其特征在于：所述机体(3)的表壁设置有前面板(7)，且前面板(7)表壁的两端均安装固定底片(6)，且固定底片(6)的上方设置有空管(10)，所述空管(10)的内部开设有内槽(14)，且空管(10)的上方设置有把手(2)，所述把手(2)的两端均设置有限位环(12)，且限位环(12)位于内槽(14)的内部。2.根据权利要求1所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述前面板(7)的表壁安装有显示模块(4)，且显示模块(4)的底部安装有按钮(8)，所述前面板(7)表壁位于显示模块(4)的一侧安装有开关(5)。3.根据权利要求2所述的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述前面板(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张功智，李娟，
申请(专利权)人：深圳市深中瑞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：