一种中频磁控溅射电源防脱连接结构制造技术

技术编号:33048057 阅读:27 留言:0更新日期:2022-04-15 09:32
本实用新型专利技术属于磁控溅射技术领域,且公开了一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,包括中频电源本体,所述中频电源本体的一侧安装有连接座,所述连接座的一端固定有输送线,且连接座的另一端安装有插头,所述中频电源本体的侧壁开设有与插头相匹配的插口,所述插口的内部固定有导电柱,所述插头的端部开设有与导电柱相匹配的连接孔,所述中频电源本体的侧壁且位于连接座的两侧均铰接有卡板,本实用新型专利技术通过卡板、挡块、固定杆和弹簧等结构的配合,可使固定块抵住连接座,从而可将连接座压紧在中频电源本体上,不仅可使插头插紧在插口内,且能够有效的防止插头松动或脱落,大大提高了电性连接的稳定性和安全性。接的稳定性和安全性。接的稳定性和安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种中频磁控溅射电源防脱连接结构


[0001]本技术属于磁控溅射
,具体涉及一种中频磁控溅射电源防脱连接结构。

技术介绍

[0002]磁控溅射是物理气相沉积的一种,一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温和低损伤。
[0003]但是目前市场上的中频磁控溅射电源连接结构在应用时存在较多的缺陷,例如,输送线的插头难以插紧在插口内,且输送线受到拉拽时容易导致插头松动或脱落,从而大大影响了电性连接的稳定性,降低了使用时的安全性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,以解决上述
技术介绍
中提出的插头难以插紧在插口内,且易松动脱落的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,包括中频电源本体,所述中频电源本体的一侧安装有连接座,所述连接座的一端固定有输送线,且连接座的另一端安装有插头,所述中频电源本体的侧壁开设有与插头相匹配的插口,所述插口的内部固定有导电柱,所述插头的端部开设有与导电柱相匹配的连接孔,所述中频电源本体的侧壁且位于连接座的两侧均铰接有卡板,两个所述卡板远离中频电源本体的一端均贯穿有固定杆,所述固定杆靠近连接座的一端安装有固定块,且固定杆的另一端固定有挡块,所述固定杆的外壁位于固定块与卡板之间安装有弹簧。
[0006]优选的,所述连接座靠近插头的一侧两端对称安装有限位块,且连接座的另一侧开设有定位槽,所述中频电源本体的侧壁开设有与限位块相匹配的限位槽,所述固定块的侧壁安装有与定位槽相匹配的定位块。
[0007]优选的,所述定位槽的内壁安装有橡胶垫,且橡胶垫的外壁开设有防滑槽。
[0008]优选的,所述限位槽呈弧形结构,所述限位块呈T型结构。
[0009]优选的,所述弹簧的一端与卡板固定连接,且弹簧的另一端与固定块固定连接。
[0010]优选的,所述定位块的端部圆滑,所述卡板呈L型。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0012](1)本技术通过卡板、挡块、固定杆和弹簧等结构的配合,可使固定块抵住连接座,从而可将连接座压紧在中频电源本体上,不仅可使插头插紧在插口内,且能够有效的防止插头松动或脱落,大大提高了电性连接的稳定性和安全性。
[0013](2)本技术通过限位块与限位槽的配合,可对连接座进行限位加固,从而进一步防止了插头脱落,同时通过定位块与定位槽的配合,可大大增强固定块与连接座之间的紧固程度,从而防止了卡板旋转移动,大大提高了结构的稳定性。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图;
[0015]图2为图1中A部的放大图;
[0016]图3为图1中B部的放大图;
[0017]图中:1、中频电源本体;2、插口;3、导电柱;4、连接孔;5、插头;6、限位块;7、卡板;8、挡块;9、输送线;10、弹簧;11、连接座;12、定位槽;13、定位块;14、固定块;15、固定杆;16、限位槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

图3所示,本技术提供如下技术方案:一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,包括中频电源本体1,中频电源本体1的一侧安装有连接座11,连接座11的一端固定有输送线9,且连接座11的另一端安装有插头5,中频电源本体1的侧壁开设有与插头5相匹配的插口2,插口2的内部固定有导电柱3,插头5的端部开设有与导电柱3相匹配的连接孔4,中频电源本体1的侧壁且位于连接座11的两侧均铰接有卡板7,两个卡板7远离中频电源本体1的一端均贯穿有固定杆15,固定杆15靠近连接座11的一端安装有固定块14,且固定杆15的另一端固定有挡块8,固定杆15的外壁位于固定块14与卡板7之间安装有弹簧10。
[0020]具体,使用时,可先将插头5插入插口2内,使导电柱3嵌入连接孔4中,而后可转动卡板7,同时拉动挡块8带动固定杆15在卡板7上移动,而后固定块14靠近卡板7并挤压弹簧10,当卡板7移至连接座11处后,在弹簧10的弹性作用下,可使固定块14抵住连接座11,从而可将连接座11压紧在中频电源本体1上,进而使插头5插紧在插口2内,且能够有效的防止插头5松动或脱落,大大提高了电性连接的稳定性和安全性。
[0021]进一步的,连接座11靠近插头5的一侧两端对称安装有限位块6,且连接座11的另一侧开设有定位槽12,中频电源本体1的侧壁开设有与限位块6相匹配的限位槽16,固定块14的侧壁安装有与定位槽12相匹配的定位块13。
[0022]具体,通过限位块6与限位槽16相互旋转卡合,从而可对连接座11进行限位加固,进一步的防止了插头5脱落,同时通过定位块13与定位槽12相互插接,可大大增强固定块14与连接座11之间的紧固程度,从而防止了卡板7旋转移动,大大提高了结构的稳定性。
[0023]进一步的,定位槽12的内壁安装有橡胶垫,且橡胶垫的外壁开设有防滑槽。
[0024]具体,橡胶垫具有增固的作用。
[0025]进一步的,限位槽16呈弧形结构,限位块6呈T型结构。
[0026]具体,限位槽16具有限位的作用。
[0027]进一步的,弹簧10的一端与卡板7固定连接,且弹簧10的另一端与固定块14固定连接。
[0028]具体,弹簧10具有复位反弹的效果。
[0029]进一步的,定位块13的端部圆滑,卡板7呈L型。
[0030]需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0031]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,其特征在于:包括中频电源本体(1),所述中频电源本体(1)的一侧安装有连接座(11),所述连接座(11)的一端固定有输送线(9),且连接座(11)的另一端安装有插头(5),所述中频电源本体(1)的侧壁开设有与插头(5)相匹配的插口(2),所述插口(2)的内部固定有导电柱(3),所述插头(5)的端部开设有与导电柱(3)相匹配的连接孔(4),所述中频电源本体(1)的侧壁且位于连接座(11)的两侧均铰接有卡板(7),两个所述卡板(7)远离中频电源本体(1)的一端均贯穿有固定杆(15),所述固定杆(15)靠近连接座(11)的一端安装有固定块(14),且固定杆(15)的另一端固定有挡块(8),所述固定杆(15)的外壁位于固定块(14)与卡板(7)之间安装有弹簧(10)。2.根据权利要求1所述的一种中频磁控溅射电源防脱连接结构,其特征在于:所述连接座(11)靠...

【专利技术属性】
技术研发人员:张功智李娟
申请(专利权)人:深圳市深中瑞科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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